Станок для ультразвукового шлифования

Станок для ультразвукового шлифования

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Н.В.Голиков, В.И.Голиков и В.М.Кучйн .

1

Московский институт электронной тЬхникй (72) Авторы изобретения (71) Заявитель. (54) СТАНОК ДЛЯ УЛЬТРАЗВУКОВОГО

ШЛИФОВАНИЯ

Изобретение относится к ультразвуковой обработке, а именно к шлифованию и разделению пластин, например, полупроводниковых материалов и может быть применено в различных отраслях приборостроения.

Известен станок для разрезания алмазов, в котором алмаз крепится к торцу концентратора ультразвуковых колебаний, а инструмент-диск имеет принудительное вращение.

Однако такой станок не обеспечивает качественной разрезки из-за недостаточной надежности и больших от" ходов материала.

Известно также устройство для резки твердых и хрупких материалов дисковым инструментом с внутренней режущей кромкой, снабженное преобразователем, соединенным с волноводом изгибных колебаний, на котором установлена обрабатываемая деталь.

Недостатком этого устройства является то, что схема обработки не обеспечивает сохранение качественной поверхности обеих сторон детали.

Цель изобретения — повышение производительности обработки при сохра" некии качества лицевой стороны обрабатываемой детали.

Указанная цель достигается тем, что на координатный стол устанавливают подложкодержатель, выполненный

10 в. виде перевернутого стакана с окнами по боковым поверхностям, через которые вводится волновод изгибных колебаний, прижимаемый к внутреннему торцу стакана с возможностью

15, скольжения.

На чертеже показана конструктивная схема предлагаемого станка.

Станок содержит координатный стол

1, станину 2, закрепленный на шпинделе 3 дисковый инструмент 4. К столу присоединен подложкодержатель

5, выполненный в виде полого тонкостенного стакана с окнами по боковым

3 85 поверхностям. На торце подложкодержателя закреплена обрабатываемая деталь 6. Ультразвуковой преобразователь 7 с концентратором крепится к станине 2 с помощью фланца 8. К концентратору присоединен волновод

9 иэгибных колебаний с выступающей вверх на свободном конце опорой 10 скольжения.

Для контакта с внутренним торцом

I1 подложкодержателя 5 волновод 9 вводится в подложкодержатель через одно иэ его боковых окон. При этом волновод 9 имеет резьбовое отверстие

l2 в узле иэгибных колебаний, в которое входиз винт 13, ввернутый в станину 2, который служит для регулировки усилия прижима опоры волновода 9 к подложкодержателю. Гайка

l4 и шайба 15 установлены для предотвращения самопроизвольного отвинчивания винта 13 поц действием вибрации.

Предлагаемый станок работает следующим образом.

Координатный стол I введен иэ эоны обработки вправо, его положение по высоте задает глубину реза. Винтом

13 задают положение опоры скольженияволновода 9 по высоте. Включают вращение шпинделя 3 и подают ультразвуковые колебания на деталь 6. Пере-. мещение координатного стола задают влево. Подложкодержатель 5 отжимает нолновод 9 вниз благодаря наличию у последнего эаходной части, чем обеспечивается необходимое усилие

6757 4 прижима волновода 9 к подложкодержателю 5. Отрезной диск 4 разрезает перемещающуюся на него деталь 6.

При перемещении стола 1 опора 10 волновода 9 скользит по внутреннему торцу 11 подложкодержателя 5, а если она выполнена в виде подшипника, то катится по нему.

Конструкция предлагаемого станка

1р позволяет повысить производительност обработки и предохранить обе стороны пластины от непосредственного контакте с опорой волновода. При разделении пластин наиболее важно предохранить лицевую сторону детали.

Формула изобретения

Станок для ультразвукового шлифо20 вания или разделения пластин посредством дискового инструмента, закрепленного на шпинделе, снабженный, соединенной с изгибно колеблющимся волноводом колебательной системой, 25 установленной на станине, и координатным столом с подложкодержателем, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности обработки при сохранении качества

30 лицевой стороны обрабатываемой детали, подложкодержатель выполнен в вице перевернутого стакана, на боковой поверхности которого выполнены окна для ввода волновода изгибных коле35 баний, поджимаемого к внутреннему торцу стакана с возможностью скольжения .

856757

Составитель В.Дрожалова

Редактор С.Родикова Техред С.МигуноваКорректор Г. Базарова

Заказ 7079/18 Тираж 915 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4