Устройство для фокусировки

Устройство для фокусировки

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИ ВИЛЬСТВУ

CoIo3 Советских

Социалистических

Республик (щ859989 (6f) Дополнительное к авт. санд-ву(22) Эаявлено 280679 (23) 2768158/18-10 с присоединением заявки М(23) ПриоритетОпублнковано 3 0088 1. бюллетень Йх3 2

Дата опубликования описания 300881 р1)м. к,.

G 03 В 3/00

Гвсударствеиимй комитет

СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 535.88 (088. 8) (72) Авторы изобретения

Р.Е.Пятецкий и В.И.Грудинский! !

1 (/3) Заявитель

4 (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ФОКУСИРОВКИ

Изобретение относится к проеиционной фотолитографии и может быть использовано при изготовлении полупроводниковых приборов и интегральных схем.

Известно проекционное устройство с автоматической фокусировкой, в ко.тором для формирования раэностного сигнала .фокусировки используется вращающийся двухтолщинный прозрачный диск, сканирующий по глубине иэобракения штрихового растра, которое строится вблизи плоскости изображения проекционного объектива (1). !5

Однако при фокусировании непрерывно перемещактцейся подложки быстродействие ограничивается относительно невысокой скоростью вращения диска.20

Известно устройство для фокусировки, содержащее источник линейно-поляризованного света, светоделитель, штриховой растр, объектив, коллектив, фотоприемник и плоскопараллельную 25 пластину из оптически одноосного кристалла с оптической осью, параллельной плоскости пластины (2).

Однако известное устройство имеет недостаточную точность. 30

Цель изобретения — повьааение точности фокусировки и упрощение конструкции устройства.

Указанная цель достигается тем, что в устройство дополнительно введен переключатель поляризации, имеющий исходное направление вектора поляризации параллельное или перпендикулярное оптической оси плоскопараллельной пластины и расположенный между источником линейно-поляризованного света и штриховым растром.

На чертеже представлена схема устройства.

Устройство для фокусировки содержит источник 1 линейно-поляризованного света, переключатель 2 поляризации, светоделитель 3, штриховой растр 4, плоскопараллельную пластину из одноосного кристалла 5, объектив б, подложку 7, коллектив 8.и фотоприемник 9.

Устройство работает следующим образом.

Свет от источника 1, пройдя перЮключатель 2 поляризации, меняет направление вектора поляризации на

90, если переключатель включен, сохраняет его направление, или не включен. Оптическая ocb плоскопараллель859989

Формула изобретения

Составитель л.мухина

Редактор М.Лысогорова Техред А. Бабинец

Корректор С. Корниенко

Заказ 7544/70 Тираж 506 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035 Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5 филиал ППП Патент, г.ужгород, ул.Проектная, 4 ной пластины из одноосного кристалла

5 ориентирована так, что она лежит в плоскости пластины и параллельна или перпендикулярна исходному направлению вектора поляризации света.Поэтому в зависимости от положения вектора поляризации света через кристаллическую пластину 5 будут распространяться обыкновенная волна о (вектор поляризации света перпендикулярен оптической оси кристалла), или необыкновенная волна е (вектор поля- 10 ризации света параллелен оптической оси кристалла). Соответственно, Растр

4 изображается поочередно объективом

6 в двух положениях, разнесенных по глубине, вблизи плоскости изоб- 35 ражения объектива. штриховой растр

4 устанавливают так, что в случае идеальной фокусировки его автоколлимационные иэображения 10 при одном направлении вектора поляризации и Я

11 — при другом положении находятся на одинаковом расстоянии и по разные стороны от него самого. Отраженный от подложки 7 световой поток светоделителем 3 и коллективом 8 направляет- ся на фотоприемник 9, с которого снимается раэностный сигнал дефокусировки. Если подложка 7 дефокусирована в ту или другую сторону, то в одном случае больше сигнал, соответствующий о-волне, а в другом случае больше сигнал, соответствующий е-волне. В положении идеальной фокусировки разностный сигнал переменной составляющей не имеет.

Предлагаемое устройство позволяет работать с переменным раэностным сигналом высокой частоты и испольэовать одноплощадочный фотоприемник. Это в несколько раэ повышает точность фокусировки.

Устройство для фокусировки, содержащее источник линейно-поляризованного света, светоделитель, штриховой растр, объектив, коллектив, фотоприемник и плоскопараллельную пластину из оптически одноосного кристалла с оптической осью, параллельной плоскости пластины, о .т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности фокусировки и упрощения конструкции, в него введен переключатель поляризации, имеющий исходное направление вектора поляризации параллельное или перпендикулярное оптической оси плоскопараллельной пластины и расположенный между источником линейно-поляризованного света и штриховым растром.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

9 406182, кл. G 03 В 3/00, 27.12,71.

2. Авторское свидетельство СССР по заявке Р 2656481/18-10, кл. G 03 G 3/00, 17,08.78 (прототип).