Устройство для изготовления рентгеновского электронно- оптического преобразователя

Устройство для изготовления рентгеновского электронно- оптического преобразователя

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОЛ ИСАЙИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

И АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советскик

Социапистичэскии

Ресттублик

<11 860l69 (6l ) Дополнительное к авт. санд-ву

{22) а»ле«10.12.79 (21) 2848884/18-25 с присоединением заявки ¹â€” (23) Приоритет

Опубликовано 30.08.81. Бюллетень № 32

3ата опублмковання описания 30 .08 .81 (5! )М. Кл.

Н 01 3 9/42

Гееударотееиньй комитет на делам изобретений и открытий (53 УДЫ 621,383..002.54

{088.8) (72) Авторы изобретения

С. И. Бродский, Л. Л, Хаскович и А. Ф. Колосов (71) заявители

{54) УСТРОЙСТВО ПЛЯ ИЗГОТОИ1ЕНИЯ РЕНТГЕНОВСКОГО

ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКОГО ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ

Изобретение относится к электрическим газоразрядным и вакуумным электронным приборам и предназначено для технологического оборудования при производстве рентгеновских электроннооптических преобразователей и может быть использовано для изготовления других фотоэлектронных приборов.

Известны устройства для изготовления катодов электронно-оптических преобразователей, содержащие блок напы!

О пения металла на стеклянную подложку, печь обезгаживания стекла, блок задания и регулирования температуры печи, блок распыления гаэопоглотителей, т5 печь возгонки активирующего металла и блок контроля вакуума 11 1.

Однако в данном устройстве не ведется измерение чувствительности формируемого фотокатода, а при задании

20 величины тока печи активировки катода не учитывается скорость роста фото» тока. После изготовления фотокатода не ведется тренировка прибора. Все это не позволяет автоматизировать технологический процесс и отрицательно влияет на качество преобразователя, Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является устройство для изготовления рентгеновских электронно-оптических преобразователен, которое содержит блок напыления металла на стеклянную подложку катода, печь обезгаживания и обработки поверхности напыленной пленки с блоком задания и регулирования температуры .печи обезгаживання, блок измерения чувствительности формируемого катода, блок контроля вакуума, соединенный с электронно-оптическим преобразователем, печь возгонки активпрующего металла с блоком регулирования тока, блок контроля скорости роста тока катода, блок распыления газопоглотителей, соединенный с распылителем преобразователя (2 ).

Однако при проведении операции обеэгажнвания происходит изменение ваку8601 ума в преобразователе, которое в известном устройстве регистрируется визуально по прибору, расположенному в блоке контроля вакуума, после чего вручную дается поправка на изменение температуры, которое пропорционально значению вакуума. Кроме того, при распылении газопоглотителей напряжение на нити накала каждой из трех спиралеи подается поочередно вручную, Величина напряжения при этом не учитывает значение вакуума преобразователя. В известном устройстве не предусмотрен блок тренировки. Все это отрицательно влияет на качество формируемого фотокатода преобразователя и не поэволяет автоматизировать технологический процесс изготовления преобразователя, Цель изобретения — автоматизация технологического процесса изготовле- . ния рентгеновского электронно-оптического преобразователя и повышение его качества.

Поставленная цель достигается тем, что в устройство для изготовления рент- 5 геновского электронно-оптического преобразователя, содержащее блок напыления металла на стеклянную подложку катода, печь обезгаживания и обработки поверхности напыленной пленки с блоком задания и регулирования температуры печи обеэгаживания, блок измерения чувствительности катода, блок контроля вакуума, печь возгонки активирующего металла с блоком регулирования тока печи возгонки, блок контроля скорости роста тока катода, блок рас- пыления газопоглотителей, соединенный с распылителями преобразователя, введен блок тренировки, содержащий высоковольтный источник напряжения, подключенный к входу стабилизатора тока тренировки, выход которого подключен к делителю напряжения, соединенному с анодами преобразовагеля, а вход высоковольтного источника напряжения подключен через переключатель к выходу блока измерения чувствительности катода, соединенного этим же выходом через переключатель с входом блока контроля роста тока катода, а выход последнего соединен с входом блока регулирования тока печи возгонки, кроме того, блок распыления газопоглотителей содержит узел поочередной коммутации, имеющий три выхода, соединенных с распыпителями преобразователя, и узел автоматического программирования, соединенный с первым входом уз35

69 4 ла поочередной коммугации, второй вход последнего соединен с первым выходом блока контроля вакуума, второй выход которого соединен с входом блока задания и регулирования температуры печи обезгаживания.

Причем узел автоматического программирования содержит задающий гекератор, соединенный выходом с мультивибратором и.делителем частоты, каждый из которых соответственно соединен с первым и вторым входами переключающего каскада.

На фиг. l представлена блок-схема предлагаемого устройства для изготовления рентгеновского электронно-оптического преобразователя; на фиг.2блок-схема узла автоматического программирования.

Устройство содержит блок 1 напыления металла на стеклянную подложку преобразователя 2, печь 3 обеэгаживания и обработки поверхности напыления пленки с блоком 4 задания и регулирования температуры печи о.езгаживания, блок 5 измерения чувствительности катода, блок 6 контроля вакуума в изделии, печь У возгонки активирующего металла с блоком 8 регулирования тока печи возгонки, блок 9 контроля скорости роста тока катода, блок 10 распыления гаэопоглотителей, содержащий узел 11 поочередной коммутации, подключенный к трем спиралям !2 гаэопоглотителей в преобразователе, и узел

13 автоматического программирования, блок 14 тренировки, содержащий высоковольтный источник 15 напряжения с делителем 16, подключенным к анодам

17 преобразователя, и стабилизатор

18 заданного значения тока тренировки, вход которого через высоковольтный источник подключен к переключателю 19 °

Узел 13 автоматического программирования содержнт задающий генератор

20, делитель 21 частоты, ждущий мультивибратор 22 и переключающий каскад 23 в

Для нагрева и обезгаживания преобразователя 2 предназначена печь 3.

Задание температуры и ее регулирование осуществляется блоком 4,. При нагреве преобразователя происходит выделение. газов, поэтому вакуум в нем резко ухудшается. Если ухудшение вакуума достигает определенной границы, то возникает необходимость приостано-. вить рост температуры или понизить ее.

5 86

Поэтому в устройство заведена обратная связь с блока 6 контроля вакуума на вход блока 4 задания и регулирования температуры. Сигнал, пропорциональный значению вакуума„ автоматически устанавливает определенное значение температуры в зависимости от состояния вакуума в преобразователе. Для проведения возгонки активирующего металла в преобразователе предназначена печь

7 возгонки, ток на которую подается с блока 8. Величина тока возгонки задается в определенной зависимости от скорости нарастания тока катода. Для этого на вход блока 8 регулирования тока печи возгонки подается сигнал с блока 9 контроля скорости роста тока катода. Измерение величины фототока катода ведется блоком 5„ который подключается с помощью переключателя 19 к выходу блока 9 или к входу блока 14 тренировки катодов.

Для проведения распыления газопоглотнтелей в преобразователе предназначен блок 10, состоящий из узлов поочередной коммутации 11 и автоматического . программирования 13. Узел поочередной коммутации автоматически получает на каждую иэ трех спиралей 12 газопоглотителей постоянный ток силой до

10 А длительностью 10-15 с, При рас10 пылении газопоглотителей происходит изменение вакуума в преобразователе, поэтому скорость распыления газопоглотителей, зависимая от силы тока, проходящего через спирали, должна изме- 35 няться, С этой целью на вход узла 1I поочередной коммутации подключается сигнал с блока 6 контроля вакуума, пропорциональный значению вакуума в преобразователе. Длительность импульса тока и частота подключения каждого гаэоаоглотителя к узлу ll поочередной коммутации задается узлом 13 автоматического программирования.

Узел автоматического программиро- 45 вания (фиг. 2) работает следующим образом.

0169 6. шению к входному импульсу смещен на

0,5 с, с целью создания паузы при поочередном прохождении тока через спирали газопоглотителя. Переключающий

Формула изобретения

Задающий генератор 20 генерирует кратковременные импульсы с частотой

Р 10-15 с, которые поступают на делитель 21 частоты н ждущий мультивибратор 22. Делитель 21 частоты работает таким образом, что на каждом из трех его выходов при приходе на его вход импульса поочередно устанавливается высокий потенциал. Ждущий мультивибратор работает таким образом, что на его выходе высокий потенциал по отнокаскад 23 дает команду на поочередное подключение тока распыления на одну из трех спиралей газопоглотителей, Это достигается при совпадении положительных потенциалов с выходов делители 21 частоты и мультивибратора 22.

Для проведения тренировки изделия в устройстве предусмотрен блок 14 тренировки, состоящий из высоковольт— ного источника 15, делителя 16 высоковольтного напряжения, подключенного к анодам !7 преобразователя и стабилизатора 18 заданного значения тока тренировки. Тренировка изделия ведется после вакуумной обработки. С целью автоматического изменения тока тренировки к входу блока стабилизации заданного значения через переключатель

l9 подключен блок 5 измерения чувствительности фотокатода. При увеличении сигнала, снимаемого с блока 5, напряжение тренировки уменьшается до допустимого, определяемого технологией изготовления преобразователя. Использование делителя )6 напряжения, подключенного к двум анодам преобразователя, позволяет использовать один источник питания.

Использование в предлагаемом устройстве блока тренировки, автоматического распыления и двух обратных связей по вакууму позволяет автоматизировать технологический процесс изготовления фотокатода, уменьшить количество обслуяжвающего персонала и повысить качество обрабатываемого изделия эа счет автоматизированного процесса обезгаживания, активировки и тренировки преобразователя, 1. Устройство для изготовления рентгеновского электронно-оптического преобразователя, содержащее блок напыления металла на стеклянную подложку катода, печь обезгаживания и обработки поверхности напыленной пленки с блоком задания и регулирования температур ры печи обезгаживания, блок измерения чувствительности катода, блок контроля вакуума, соединенный с преобразователем, печь возгонки активирующего металла с блоком регулирования тока, 7 860 блок контроля скорости роста тока катода, блок распыления газопоглотителей, соединенный с распылителями преобразователя, о т л и ч а ю щ е— е с я тем, что, с целью автоматиэащщ технологического процесса изготовления преобразователя и повышения его качества, в него введен блок тренировки, который содержит высоковольтный источник напряжения, подкЛюченный 1р к входу стабилизатора тока тренировки, выход которого подключен к делителю напряжения, соединенному с анодами преобразователя, а вход высоковольтного источника напряжения подключен через переключатель к выходу блока измерения чувствительности катода, соединенного этим же выходом через переключатель с входом блока контроля скорости роста тока катода, а выход последнего соединен с входом блока регулирования тока печи возгонки, причем блок распыления гаэопоглотителей, выполнен из узла гоочередной коммутации, имеющего три выхода, соединенных

169 8 с распылителями преобразователя, и узла автоматического программирования, соединенного с первым входом узла поочередной коммутации, второй вход последнего соединен с первым выходом блока контроля вакуума, второй выход которого соединен с входом блока задания и регулирования температуры печи обезгаживания.

2. Устройство по и. I, о т л ич а ю щ е е с я тем, что узел автоматического программирования содержит задающий генератор, соединенный выходом с мультивибратором и делителем частоты, каждый иэ которых соответственно соединен с первым и вторым входами переключающего каскада.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент Японии Ф 487668, кл. 99 D 13, опублик. 1973.

2. Авторское свидетельство СССР

N 475683, кл..Н 01 К 9/42, 1962 (прототип).

860169

Ю.

Заказ 7562/32

Тираж 784, . Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раущская наб., д. 4/5

° а филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Составитель А. Сенчихин

Редактор Л. Филь Техред А.Бабинец Корректор Л. Иван