Насос для откачки водорода
Иллюстрации
Показать всеРеферат
Союз Советских
Социалистических
Республик
{ii>861723
{61) Дополнительное к авт. сеид-ву(22) Заявлено 27.1279 (21) 2859558/25-06 с присоединением заявки Н» (23) Приоритет
Опубликовано 070981.6юллэтвиь @ 33
Дата опубликования описания 070981. (1 Р г 3
F 04 В 37/02
Гоеуаврствеиннй комитет
СССР яо аелам изобретеннй н открнтнй (53) УДК 621.528.3 (088.8) (72) Авторы изобретения
В.Б. Юферов, Г.П. Глазунов н Н. (71) Заявитель (54) НАСОС ДЛЯ ОТКАЧКИ ВОДОРОДА
Изобретение относится к области вакуумной техники.
Известен насос для откачки водо-, рода, содержащий корпус, закрепленную в нем палладиевую мембрану и нагреватель flJ.
Из-за недостаточной механической прочности мембраны, насос обладает малой надежностью, недостаточным сроком службы.
Целью изобретения является повышение надежности.
Указанная цель достигается тем, . что на мембране со стороны откачиваемого объема закреплена диафрагма, 15 выполненная из пористого металла.
На чертеже схематично изображен описываеьый насос.
Насос для откачки водорода содержит корпус 1, закрепленную в нем 20 палладиевую мембрану 2 и нагреватель
3. На мембране 2 со стороны откачнваемого объема закреплена диафрагма 4, выполненная из пористого металла.
Насос работает следукиаим образом.
После подсоединения к откачиваемому объему с парциальным давлением водорода10- торр., палладиевую мембрану 2 нагревают при помощи иаг» ревателя 3 до температуры 400-500оС. 30
Водород проникает через нагретый металл и на обратной стороне связывается кислородом воздуха. Благодаря наличию механически прочной диафрагмы 4 на палладиевой мембране 2 не наблюдается заметных прогибов и деформаций при температуре мембраны
2-500 С и перепаде давлений атмосфе» ра - вакуум.
Таким образом, предлагаемая конструкция обеспечивает существенное увеличение механической прочности мембраны, что повьваает срок службы насоса и его надежность. Существенным является тот факт, что положительный эффект достигается при сохранении быстроты откачки насоса.
Формула изобретения
Насос для откачки водорода, содержащий корпус, закрепленную в нем палладиевую мембрану и нагреватель, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности, на мембране со стороны откачиваемого объема закреплена диафрагма, выполненная нз пористого металла.
Нсточники информации, принятые во внимание при экспертизе
3. Патент Великобритании 9 905405 кл Р 1 К ЗА опубл. 1962.
861723 Уираж 712 Подписное
ВНИНИИ Государственного комитета СССР по делам ивобретений и открытий.113935, Иосмва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5. Заказ 6497/23 филиал ШЮ ° Патент, г. Уигород, ул. Проектная 4
Составитель 0 Тишина
Редамтор Н. Коляда Темред М. Голинка Корректор у, Пономаренко