Форвакуумная ловушка

Форвакуумная ловушка

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТ©РСКОМУ Сви ЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Распубйнк

«>861761 (бт) Дополнительное к авт. свид-ву Р 773307 (51)М. Кл.з (22) Заявлено 261279 (21) 2859483/25-06

F F 9/06 с присоединением заявки t49— (23)Приоритет—

Государственный комитет

СССР но делам изобретений и открытий

Опубликовано 0709.81. бюллетень Й9 33

Дата опубликования описания 0709,81 (53) УДК 621 528.. 1 (088. 8) (12) Автор изобретения

О.Д. Пронин с! !

Институт ядерных исследований АН-СССР о (73) Заявитель (54 ) ФОРВАКУУИНАЯ ЛОВУШКА

Изобретение относится к области вакуумной техники.

Из основного авт. св. Р 773307 известна форвакуумная ловушка, содер" жащая корпус с входным и выходным патрубками, расположенный в нем по оси подвижный шток .С д!!!скамн, один из которых установлен неподвижно, а второй с возможностью осевого перемещения, о и расположенную между дисками сорбционную кассету, при этом на штоке уста. новлен дополнительный неподвижный диск, снабженный со стороны входного патрубка уплотнительным элементом и соединенный с подвижным диском посредством сильфона, а в корпусе между кассетой и подвижным диском установлена кольцевая диафрагма с уплотнителем, взаимодействующим с последним, и корпус снабжен обводным.трубопроводом, один конец которого подсое-. динен к выходному патрубку, а другой — введен внутрь корпуса н взаимо-действует с уплотнительным элементом $1) .

При xopcemx защитных свойствах ловушка имеет достаточно сложную конструкцию.

Целью изобретения является упрощение конструкции.

Укаэанная цель достигается тем, что шток. выполнен полым и служит обводным трубопроводом, а Уплотнительный элемент выполнен в виде направляющей втулки с пазом, имеющим пере= менную ширину, увеличивающуюся от выходного патрубка к входному и установленного на втулке-поршня, снабженного ограничителем хода, На чертеже изображен продольный разрез предлагаемой ловушки.

Форвакуумная ловушка содержит корffJJ c 1 с входным и выходным патрубками. 2 и 3, расположенный в нем по оси подвижный шток 4 с дисками 5 и 6, первый из которых 5 установлен неподвижно, а второй 6 - с возможностью осевого перемещения, и расположенную между дисками 5 и 6 сорбционную кассету 7, при этом не штоке 4 установлен дойолнительный неподвижный диск 8, снабженный со стороны входного патрубка 2 уплотнительным элементом 9 и соединенный с подвижным диском б посредством силь@она 10, а в корпусе 1 между кассетой 7 н подвижным диском 6 установлена кольцевая диафрагма 11 с уплотнителем 12, взаимо действукщим с последним, и корпус 1 снабжен обводным трубопроводом 13, 8617б1 один конец которого подсоединен к выжщноиу патрубку 3 а дпугой введен внутрь корпуса 1 и взаимодействует с уплотнительным элементом 9. Шток 4 выполнен полым и служит обводным трубопроводом 13, а уплотнительный элемент 9 выполнен в виде направляющей втулки с пазом 14, имеющим переменную аарину, увеличивакщуюся от выкодчого аатрубка 3 к входному 2 и установленного на втулке поршня 15, снабженного ограничителем хода 1б.

Описываемая форвакуумная ловушка работает следукщим образом.

В начальный период откачки сосуд а гаэ движется по магистралям вакуумной системы с высокой скоростью и, во дя и в корпус 1 ловушки, воздейстк 4. вует на диск 8, перемещая шток

Диск 6 перекрывает входное отверстие в диафрагме 11 при помощи уплотнителя 12. При этом перемещается пор- . шень 14, который открывает часть паза 14, и газ по обводноМу трубопроводу 13 проходит в форвакуумный насос через выходной патрубок 3 ловушки.

В связи с тем, что паэ 14 имеет малую ю пропускную способность, между ко са 1 верхней и нижней частями корпу ловушки, разделенными диафрагмой 11, возникает перепад давления, сильон 10 сжимается, шток 4 перемещается и диск 5 перекрывает вход в выходной патрубок 3, окончательно от откачивагерметиэируя кассету 7 о емого газа. По мере понижения давления в откачиваемом сосуде поршень

15, продолжает перемещаться и продолжает открывать паз 14, что обеспечивает оптимальное давление на входе в форвакуумный насос и сок ращает время откачки сосуда. Ko|äà давление в откачиваемом сосуде понижается и перепад давления на ловушке исчезает, шток 4 возвращается в первоначальное. положение.

® Таким образом, в предлагаемой

Л у овушке достигнуто упрощение конструкции при сохранении защитны х свойств.

Формула изобретения

Форвакуумная ловушка по авт.св.

9 777733330077, отличающаяся

Щ тем, что, с целью упрощения ее конструкции, шток выполнен полым и слу жит обводным трубопроводом, а уплотнительный элемент выполнен в виде направляющей втулки с пазом, имеющим переменную ширину увеличивающуюся от выходного патрубка к входному, и установленного на втулке поршня, снабженного ограничителем хода..

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

Р 773307, кл. F 04 F 9/06, 1978.

ВНИИПИ Заказ 6499/25

Тираж 712 Подписное

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4