Способ нанесения ниобия на подложку звукопровода

Способ нанесения ниобия на подложку звукопровода

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Совэ Соавтсннн

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (6l ) Дополнительное к авт. санд-ау (22) Заявлено 30.1 1,79 (21) 2845385/18-10 с присоединением заявки М (23) Приоритет

Опубликовано 15.09.81. Бюллетень Рй 34 (53)M. Кл.

H 04 R 23/00

Гееударетвснный квинтет

СССР не делам нэебретеннй н еткрытнй (53) УДК 534.213 (088.8) Ф

Дата опубликования описания 17.09.81 (72) Авторы изобретения

B. Ф. Корэо, В. H. Черняев, Т, А. Кологривова,, В."G-.дектаеа и А. А. Кондрашин . - 7

f (Московский авиационный технологический инс итут

° К. 3. Биолковского (71) Заявитель (54) СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ НИОБИЯ НА ПОДЛОЖКУ

ЗВУКОПРОВОДА

Известен также способ нанебения ниобия на подложку звукопровода путем конденсации ниобия на подложку эвукопровода в парах реагента ниобия в реакционн6м объеме, которые облучают ультрафиолетовым активирующим излучением. Этот спо20 соб обеспечивает относительно высокую скорость процесса нанесения ннобия на подложку звукопровода (2 ).

Изобретение относится к электричес« кой связи, а именно к способам нанесения ниобия на подложку эвукопровода.

Известен способ нанесения ниобия на подложку эвукопровода путем конденсации ниобия на подложку эвукопровода в парах реагента ниобия в реакционном объеме, Способ обеспечивает относительную простоту процесса нанесения ниобия на подложку эвукопровода (1 ) . î

Недостаток известного способа состоит в том, что он не позволяет обеспечить достаточно высокую скорость процесса нанесения ниобия на подложку звукопровода.

Недостаток способа состоит в roM, что он не позволяет обеспечить простоту полу чения заданной степени дисперсности нио- бия вдоль подложки звукопровода.

Бель изобретения — упрощение получе ния заданной степени дисперсности ниобия. вдоль подложки звукопровода.

Бель достигается тем, что при конденсации производят нанесение островков ииобия на подложку звукопровода формированием в парах реагента ниобия ламинарного потока со скоростью расхода 0,01-0,04 л/мин и прекращение облучения ультрафиолетовым активирующим излучением в мо» мент срастания островков ниобия нв подложке эвукопроводд с последующим формированием стоячей акустической волны в реакционном объеме, увеличением скорости расхода ламинарного потока до 0,01-0,20 л/мин и возобновлением облучения паров реагента ниобия ультрафиолетовым активирующим излучением. При этом облучение ультрафиолетовым активирующим излучением до момента срастания островков ни

864591 4 ние заданной степени дисперсно ти ннобия вдоль подложки звукопровода. обия производят с параболически нарастающей интенсивностью в направлении движ ния ламииарного потока, а после момента срастания островков ниобия — с гиперболычески нарастающей интенсивностью в направлении движения ламинарного потока.

Нанесение ниобия на подложку эвукопровода согласно предложенному способу происходит следующим образом.

Пары реагента ниобия в реакционном to объеме облучают ультрафиолетовым активирующим излучением. Э то сопровождается конденсацией ниобия на подложку звукопровода в парах реагента ниобия в реакционном объеме. При этом формированием 1s

s парах реагента ниобия ламинарного потока со скоростью расхода 0,01 или 0,04 . л/мин производят нанесение островков ниобия на подложку звукопровода. В момент срастания островков ниобия на подложке эвукопровода прекращают облучение ультрафиолетовым активируюшим излучением и производят формирование стоячей акустической волнй в реакционном объеме. Затем увеличивают скорость расхода ламинарного потока 0,20 л/мин и возобновляют облучение паров реагента ниобия улырафиолетовым активируюшим излучением. При этом облучение ультрафиолетовым активирующим излучением до момен зо та срастания островков ниобия производят с параболически нарастающей интенсивностью в пределах 20-500 лк в направлении движения ламинарного потока. Облучение ультрафиолетовым активируюшим

35 излучением после момента срастания ост. ровков в пределах 0,5=5,0 клк в направлении движения ламинарного потока.

Предложенный способ обеспечивает нанесение на подложку звукопровода слоя

40 ниобия, степень дисперсности которого линейно возрастает вдоль нее.

Использование изобретения позволяет в значительной степени упростить получе»

Формула изобретения

Способ нанесения ниобия на подложку эвукопровода путем. конденсации ниобия на подложку эвукопровода в парах реагента ниобия в реакционном объеме, которые облучают ультрафиолетовым активируюшим излучением, отличающийся тем, что, с целью упрощения получения заданной степени дисперсности ниобия вдоль подложки звукопровода, при конденсации производят нанесение островков ниобия на подложку звукопровода формированием в парах реагента ниобия ламинарного потока со скоростью расхода 0 010,04 л/мин и прекращение облучения ультрафиолетовым активируюшим излучением в момент срастания островков ниобия на подложку звукопровода с последующим формированием стоячей акустической волны в реакционном объеме, увеличением. скорости расхода ламинарного потока до

0,04 — 0,20 л/мин и возобновлением облучения паров реагента ниобия ультрафиолетовым актнвируюшим излучением.

При этом облучение ультрафиолетовым активируюшим излучением до момента островков ниобия производят с параболи-. чески нарастающей интенсивностью в направлении движения ламинарного потока, а после моменте срастания островков ниобия — с гиперболически нарастающей интенсивностью в направлении движения ламинарного потока.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент США № 3755761, кл. 33370, 1973.

2. Авторское свидетельство по заявке № 2562088/10, кл. Н 04 P 23/00, 1977 (прототип) .

Составитель Е. Розанов

Редактор Л. Плисак Техред М.Рэйвес Корректор А° . Ференц

Заказ 8411 Тираж 701 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент, r. Ужгород, ул. Проектная, 4