Молекулярный вакуумный насос

Молекулярный вакуумный насос

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

К. Е. Демихов, П. А. Гончаров, В. Б. Шолохо и А. Д, Леонов (72). Авторы изобретения с е

Московское ордена Ленина и ордена Трудового высшее техническое училище нм. И. Э. Баумана (71) Заявитель (54) МОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС

Изобретение относится к вакуумной техни- ке, а именно к устройству молекулярных вакуумных насосов.

Известны молекулярные вакуумные насосы, содержащие корпус и расположенные в нем ротор и охлаждаемый статор, заключеннь|й в ТоНкостенный цилиндр с образованием полости, заПолненной сорбентом .(11.

Недостатком известных насосов является невысокая степень сжатия.

Цель изобретения — повышение степени

10 сжатия насоса.

Указанная цель достигается тем, что ротор выполнен в виде барабана, а статор имеет спиральные пазы и сообщенные с ними и по13 лосгью окна, в которых установлены металлические пластины из пористого материала.

На чертеже изображен насос, продольный разрез.

Молекулярный вакуумный насос содержит корпус 1 и расположенные в нем ротор 2 и охлаждаемый статор 3, заключенный в тонкостенный цилиндр 4 с образованием полости 5, заполненной сорбентом 6, причем ротор 2

2 выполнен в виде барабана, а статор 3 имеет спиральные пазы 7 и сообщенные с ними и по лостью 5 окна 8, в которых установлены металлические пластины 9 нэ пористого материала. На тонкостенном цилиндре. 4 расположены змеевик 10 для циркуляции хладагента и нагреватель 11, а в полости 5 размещены перегородки 12 из высокотеплопроводного материала.

Насос работает следующим образом.

В змеевик 10 подается хладагент, который охлаждает статор 3, а вместе с ним и сорбент

6, что позволяет обеспечить предварительное вакуумирование внутренней полости насоса без использования форвакуумного насоса.

Затем приводится во вращение ротор 2 и газ нэ откачиваемого объема по спиральным лазам 7 переносится со стороны всасывания иа сторону нагнетания, частично поглощаясь оорбентом 6 через окна 8, сообщенные с пазами

7, Неадсорбированные газы утпщяются из полости насоса форвакуумным насосом. После насыщения сорбент 6 подвергается регенерации

,т|утем прекращения подачи хладагеита в змее8681 5

Формула изобретения

1О

Составитель В. Кряковкин

Редактор П. Макаревич Техред А.Савка . Корректор Л. Бокшан

Заказ 8274/40 Тираж 715 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4 вик 10 и включения нагревателя 11. При этом насос может не отключаться от откачиваемого. объема.

Такое выполнение насоса обеспечивает снижение давления всасывания и повышение сте, пени сжатия.

Молекулярный вакуумный насос, содержащий корпус и расположенные в нем ротор и охлаж 4 даемый статор, заключенный в тонкостенный цилиндр с образованием полости, заполненной сорбенточ, о т л н ч а ю шийся тем, что, с целью повышения степени сжатия, ротор выполнен в виде барабана, а статор имеет спиральные пазы и сообщенные с ними и полостью окна, в которых установлены металлические пластины из пористого материала.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР Р 533757 кл. F 04 Р 19/04, 1973.