Вакуумная система течеискателя

Вакуумная система течеискателя

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Qll HCAHHK

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

CoIo3 CoooTcIENx

Сецмалмстнческик

Рвслублми

<1 11868135 (6l ) ????????????????????????????.?? ??????. ????????-???? (22) ???????????????? 10.01;80 (21} 2870767>

F 04 F 9/00 а 01 М 3/02

3Ъвударетеекаый кемвтет ссср ю лвлаи изобретений и етеумтив (23 ) Приоритет (53 ) УД К 621.527 (088.8) Опубликовано 30.09.81. Бюллетень М 36

Дата опубликования описания 30.09.81

Б. В. Иванов, Ю. 3. Кононов, В. А. Хохлов и В.1А. Юрченко

f .

j

Московский ордена Трудового Красного Знаме тнтут химического машиностроения (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) ВАКУУМНАЯ СИСТЕМА ТЕЧЕИСКАТЕЛЯ

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к устройству средств контроля герметичности вакуумных систем.

Известны вакуумные системы течеискателей, содержащие масс-спектрометрическую камеру, соединенную со входом, диффузионного насоса (11.

Недостатком известной системьх является ограниченная чувствительность течеискателя вследствие наличия значительного фона остаточных газов в масс-спектрометрической камере. еО

Цель изобретения — повышение чувствительности течеискателя.

Указанная цель достигается тем, что в массспектрометрической камере размещена улитка коробчатого сечения, соединенная со входом диффузионного насоса.

На фиг. 1 представлена вакуумная система течеискателя; на фиг. 2 — масс-спектрометрическая камера, поперечный разрез; на фиг. Э— сечение А — А на фиг. 2.

Вакуумная система течеискателя содержит масс-слектрометрическую камеру 1, соединен- ную со входом диффузионного насоса 2, при чем в масс-спектрометрической камере 1 размещена улитка 3 коробчатого сечения, соединенная со входом диффузионного насоса 2.

В масс-слектрометрической камере 1 расположены источник 4 ионов и коллектор 5 (траектория 6 движения ионов пробного газа показана пунктиром), а выход диффузионного насоса 2 соединен со входом форвакуумного насоса 7 посредством трубопровода 8.

Система работает следующим образом.

Пробный газ, при помощи которого исследуемый объект проверяется на герметичность, попадая s масс-спектрометрическую камеру 1, ионнэируется и его ионы из источника 4 под действием перпендикулярных электрического и магнитного полей по крутовои траектории

6 достигают коллектора 5, где преобразуются в электрический сигнал, соответствующий количеству пробного газа и фиксируемый регистрирующей аппаратурой. Улитка 3 размещена в масс-спектрометрической камере 1 таким образом, что меньший ее радиус больше радиуса траектории 6 движения ионов пробного газа.

При этом ионы большинства остаточных газов

3 868135 4 (в случае использования в качестве пробного Формула изобретения газа гелия — всех остаточных газов, кроме водорода) будут попадать в улитку, так как Вакуумная система течеискателя, содержарадиус траектории движения ионов при пали- щая масс-спектрометрическую камеру, соедичии перпендикулярных электрического и маг- - пенную со входом диффузионного насоса, о тнитного полей больше, чем больше масса ио- л и ч а ю щ а я с я тем, что, с целью лона, а оттуда в диффузионный насос 2. вышения чувствительности течеискателя, в

Таким образом, при размещении в масс- масс-спектрометрической камере размещена спектрометрической камере течеискателя улит- улитка коробчатого сечения, соединенная со ки, соединенной со входом диффузионного на-, „входом диффузионного насоса. соса, значительно уменьшается количество ио- Источники информации, иов остаточных газов, случайно попадающих на принятые во внимание при экспертизе коллектор и создающих нежелательный фон в 1. Глазков А. А. и др. Учебная лабораторезультате чего чувствительность течеискателя рия вакуумной техники (теория и практив целом повышается. кум) М Атомиздат 1971 с )35

868135

Сасщвитель В. Кряковкин

Техред М.Пекарь Корректор Л. Бокшан

Редактор М. Ткач

Тираж 715 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР ло делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская иаб., д; 4/5

Заказ 8274/40

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4