Устройство для нанесения жидких покрытий в электростатическом поле
Иллюстрации
Показать всеРеферат
ОП ИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Сотоэ Соввтскни
Соцналнстнчеснни
Республик
< «869685 (6! ) !!оиолиительмое я ает. свиа-ву (22) Заявлено 09.01 . 80 (21) 2873 1 I 3/ 8-21 с присоединение«и заявки М (23) Прмормтет
{51)N. Км.
Н 05 K 3/28
С 03 С 17/гг
В 05 В 5/00
ГОоудлрстБОюьзй иоиятот
СССР аа делан изобретеиий и открытий
Опубликовано 30.09 .8!. Ьюллетеиь !те 36
Дата оиублияования описания 0 !.10.81 (53) УДК 62! 396..6.049.?5.002. (088. 8) Б. И. Ниношвили, Г. К, Почхуа, А. Д. Сл н С. А. Шапиро (72) Авторы изобретения (7I) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ЖИДКИХ ПОКРЫТИЙ
В ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКОМ ПОЛЕ
Изобретение относится к электронной технике, в частности к устройствам для нанесения слоя покрытий на заготовки печатных плат, на полупроводниковые пластины при производстве интегральных схем и масок тонкопленочной техники, а также при нанесении тонких изоляционных покрытий.
Известно устройство для нанесения эмульсий и лаков в электростатическом
10 поле, содержащее распылитель, соединенный посредством трубопровода с дозатором, выполненным в виде сосуда с распыляемой жидкостью, внутри которо-. го размещена трубка таким образом, т5 что один конец ее сообщается с атмосферой, а опущенный в жидкость снабжен наконечником стаканообразной формы,горизонтальное сечение которого представляет замкнутую кривую с положительной и отрицательной кривизнами, близкими к форме кордоиды Г1!.
В этом устройстве имеет место дозированная подача жидкости в распыли» тель, которая вызывает гармонические колебания жидкости в сообщакицих-. ся сосудах с соизмеримыми поверхностями, какими является система распылитель-дозатор. Эти колебания в свою очередь приводят к нарушению стабильности процесса распыления, необходиятм условием которого является поддержание постоянства уровня жидкости и распылителя.
Известно также устройство для нанесения эмульсий и лаков в электростатическом поле, содержащее распылитель, соединенный посредством трубопровода с дозатором, внутри которого размещена .трубка таким образом, что один ее конец сообщается с атмосферой, а торцовая поверхность другого конца установлена на одном уровне с необходимым уровнем жидкости в распылителе, и присоединенную к трубопроводу демпфирующую емкость 1, Ц.
Это техническое решение способствует демпфированию колебаний жид8690
25 кости в распылителе, что повышает стабильность распыления, обеспечивая равномерное тонкое нанесение.
Однако демпфирующая емкость, присоединенная к трубопроводу, должна иметь достаточно большую площадь зеркала жидкости. Такая емкость, занимая промежуточное положение в системе распылитель-дозатор, значительно увеличивает габариты устройства.
Кроме того, в известном. устройстве затруднено его обслуживание, так как корпус доэатора и демпфирующая емкость являются сосудами закрытого типа, в связи с. чем они неудобны для промывки. Тщательная промывка сосудов после окончания работы и до заливки жидкости в дозатор необходима, так как при попадании частичек подсохшего распыляемого материала в распыляемую жидкость или ее даже незначительное загрязнение вызывают изменение объемного электрического сопротивления жидкости, в связи с чем резко ухудшается степень распыления и соответственно качество покрытия подложки.
Цель изобретения — уменьшение габаритов и упрощение обслуживания.
Поставленная цель достигается тем, 30 что в устройстве для нанесения жидких покрытий в электростатическом поле, содержащем соединенные трубопроводом распылитель, демпфирующую емкость и дозатор, внутри которого размещена, трубка, один конец которой сообщается с атмосферой, а торец другого конца размещен на уровне наносимой жидкости в распылителе, дозатор выполнен в виде двух стаканов, размещенных один внутри другого с зазором, сооб- 40 щающимся с атмосферой, причем внутренний стакан размещен днищем вверх и имеет суженную горловину, а демпфирующая емкость образована горловиной внутреннего стакана и внутренней 45 поверхностью внешнего стакана.
На чертеже изображена схема устройства. Устройство содержит распылитель 1 и дозатор 2, соединенные посредством 50 трубопровода 3, в котором установлен пробковый кран 4. Распылитель .1 сбединен с источником. 5 высокого напряжения и над ним размещены заземленные направляющие 6 для перемеще- 55 ния покрываемых иэделий 7.
Дозатор 2 выполнен в виде внешнего стакана 8, в котором размещен
85 4 с зазором относительно его дна и стенок внутренний стакан 9 днищем вверх. Днище стакана 9 имеет буртик 10, которым он упирается на торец внешнего стакана 8. В буртике 10 выполнены отверстия 11. Стакан 9 имеет суженную горловину, которая образует с внутренней поверхностью дна и стенок стакана 8 демпфирующую емкость 12, сообщающуюся с атмосферой посредством упомянутых отверстий 11 в буртике 30. В стакане 9 размещена сообщающаяся с атмосферой трубка 13, при этом ее нижний торец находится в полости горловины стакана 9 в плоскости, проходящей через необходимый уровень А жидкости в распыпителе 1.
Днище стакана 9 имеет штуцер 14 для заливки жидкости с крышкой, 15.
Распылитель 1 размещенная в дозаторе трубка 13 и совмещенная с дозатором демпфирующая емкость 12, связанные трубопроводом, представляют собой систему сообщающихся сосудов.
Суммарный объем полости трубки 13 и полости между стенками стаканов 8 и 9 до уровня А должен быть меньше суммы объемов демпфирующей емкости 12, распылителя 1 и соединяющего их тру1бопровода 3.
Устройство работает следующим образом, Перед началом работы закрывают кран 4 в трубопроводе 3 и заливают предназначенную для распыления жидкость через штуцер 14 в дозатор 2.
После его заполнения герметично закрывают крышку 15 и открывают кран 4.
Жидкость по трубопроводу 3 переходит в полость распылителя 1, устанавливаясь на уровне А, как в распылителе 1, так и в сообщающихся с ним сосудах, т.е. демпфирующай емкости 12 и трубке 13, одновременно несколько понижается уровень жидкости в стакане 9. При заполнении распылителя 1 жидкость из него не выливается, так как суммарный объем полости труб-. ки 13 и полости между стенками стаканов 8 и 9 до уровня А меньше суммы объемов демпфирующей емкости 12, полости распылителя и соединяющего их трубопровода 3.
При подаче напряжения на распылитель 1 жидкость под действием электрического поля распыляется и наносится на изделие 7.
Расход жидкостй из полости распы1лителя 1 автоматически компенсирует869085 6 кан 9, и все части дозатора становятся легко доступными для промывки и очистки, которую осуществляют после каждого цикла работы устройства.
S,Формула Изобретения ся из полости доватора 2. При этом уровень жидкости в стакане 9 опускается, а освободившийся в нем объем занимает атмосферный воздух, поступаю щий через трубку 13.
Автоматическое поддержание постоянного уровня жидкости в полости распылителя 1 обеспечивается следующим образом.
По мере распыления жидкости ее уровень А в распылителе 1 и демпфирующей емкости 12 понижается, а.на конце трубки 13 образуется пузырек воздуха, поступающего из атмосферы, который, достигнув определенной величины, отрывается и поднимается на поверхность жидкости в стакане 9.
Объем пузырька занимает жидкость, возникающая при этом выравнивающая сила в сообщающихся сосудах восстанавливает первоначальный уровень А в системе, причем включенная в указанную систему демпфирующая емкость 12 с площадью поверхности в ней, значительно превышающей площадь рабочей поверхности распылителя, препятствует возникновению колебаний жидкости в момент дозированного ее поступления из полости дозатора 2.
Совмещенная с дозатором демпфирующая емкость позволяет значительно уменьшить габариты устройства.
Кроме того, предлагаемая конструкция удобна в обслуживании, при очистке и промывке достаточно снять стаУстройство для нанесения жидких
1О покрытий в электростатическом-поле содержащее соединенные трубопроводом распылитель, демпфирующую емкость и дозатор, внутри которого размещена трубка один конец которой сообщается с атмосферой, а торец другого конца размещен на уровне наносимой жущкости в распылителе, о т л и ч а ющ е е с я тем, что, с целью уменьшения габаритов и упрощения обслуживания, дозатор выполнен в виде двух стаканов, размещенных один внутри другого с зазором, сообщающимся с атмосферой, причем внутренний стакан размещен днищем вверх и имеет суженную горловину, а демпфирующая емкость образована горловиной внутреннего стакана и внутренней поверхностью внешнего стакана.
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
1. Авторское свидетельство СССР
У 356922, кл. Н 05 К 3/28.
2. Авторское свидетельство СССР по. заявке У 255)031/33, кл. С 03 С 17/22.
8á9085
Составитель Г. Падучин
Редактор Е. Папп Техред Ж.Кастелевич Корректор С. Ермак
Заказ 8360387 Тираж 892 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
)13035 Москва Ж-35 Раушская наб. и. 4/5
Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4