Объектив телецентрический для ультафиолетовой области спектра

Объектив телецентрический для ультафиолетовой области спектра

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВ ЕТЕЛЬСТВУ

Саюэ С©ветскик

Сецт аектнческик

Рвспублик («)871 122 (61 ) Дополнительное к авт. сеид-ву— (22) Заявлено 250180 (21) 287621б/18-10 с присоединением заявки М (23) Приоритет (51)М. Кл 3

G 02 В 13/14 .С 02 В 13/22

Государственный комитет

СССР по деяам изобретений и открытий

Опубликовано р71р81. Бюллетень 4» 37 (53) УДК771. 351, . б (088.8) Дата опубликования описания 07.1081 (72) Авторы изобретения

А.П.Грамматик и Е.Е.Яковлева (73) Заявитель (54) ОБЪЕКТИВ ТЕЛЕЦЕНТРИЧЕСКИЙ

ДЛЯ УЛЬТРАФИОЛЕТОВОЙ ОБЛАСТИ

СПЕКТРА

Изобретение относится к области оптического приборостроения,а именнс к линзовым репродукционным объективам и может быть использовано, главным образом, в генераторах изображения или микрофотонаборных установках.

Известны объективы, состоящие из ,шести компонентов, из которых три склеенных и три одиночных (1).

Эти объективы имеют недостаточно высокое качество изображения. Из известных объективов наиболее близким по технической сущности к изобретению является объектив для ультрафиолетовой области спектра, содержащий 15 диафрагму и восемь компонентов, семь из которых однолинзовые, при этом. третий, выполненный в виде мениска, вогнутостью обращенного к изображению, и четвертый — отрицательные, 20 а остальные компоненты положительные, причем первый, второй пятый и седьмой выполнены в виде двояковыпуклых линз, и имеющий разрешение в центре поля порядка 50 лин/мм, а на краю поля порядка 20 лин/мм (2 ).

Однако для производства интегральных схем указанное разрешение оказывается недостаточным. Для этой цели необходимы объективь|, работающие в 30 ультрафиолетовой области спектра с полем порядка 3 мм н разрешением по полю свыше 1500 лин/мм, при этом в пространстве изображений должен быть обеспечен телецентрический ход лучей, а дисторсия не должна превышать

0,1 мкм.

Целью изобретения является увеличение разрешающей способности объектива и повышение ортоскопичности.

Указанная perp достигается тем, что в объективе телецентрическом для ультрафиолетовой области спектра, содержащем диафрагму и восемь компонентов, семь из которых однолинзовые, при этом третий, выполненный в виде мениска, вогнутостью обращенного к изображению, и четвертый — отрицательные, а остальные компоненты положительные, причем первый, второй и седьмой выполнены в виде двояковыпуклых линз, а пятый — мениск, вогнутостью обращенный к иэображению, диафрагма установлена за четвертым компонентом, который выполнен в виде двояковогнутой линзы, при этом шестой компонент выполнен в виде двояковыпуклой линзы, восьмой в виде мениска, вогнутостью обращенного к изображению, а седьмой ком871122

Составитель М.Лебедев

Техред A.À÷ . Корректор О.Билак

Редактор Н.Коляда

Заказ 8432/19 Тираж 542

ВНИИПИ Государственного. комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Подписное!

Филиал ППП "Патент", r.Óæãoðoä, ул.Проектная,4 понент дополнен отрицательным менис- ком, образующим с Двояковыпуклой линзой двухсклеенную линзу.

На чертеже изображена оптическая . схема, объектива.

Объектив состоит из восьми компонентов 1-8. Компоненты 1 и 2 - положительные двояковыпуклые линзй. Компонент 3 — отрицательный мениск, ком ! понент 4 - двояковогнутая отрицательная линза, компонент 5 — положительный мениск, вогнутостью обращенный к изображению, компонент 6 — двояковыпуклая линза, компонент 7 склеен иэ двояковыпуклой положительной линзы 8 и отрицательного мениска 9, компонент 10 выполнен в виде положительного толстого мениска. Апертурная диафрагма 11 расположена между компонентами 4 и 5.

Для объектива с увеличением 0,1 числовой апертурой в пространстве ,иэображений 0,5, полем изображения диаметром 3 мм,волновая аберрация по всему полю меньше 0,1 дисторсия не превышает 0,1 что позволяет считать объектив практически беэаберрационным. Разрешающая способность такого объектива определяется теоретическим пределом и составляет

3500 лнн/мин, что позволяет получать элементы с минимальными размерами.

Использование такого объектива.позволяет обеспечить переход к про-, изводству интегральных схем с субмик.ронными элементами.

Формула изобретения

Объе*тив телецентрический для ультрафиолетоВой области спектра, содержащий диафрагму и восемь компонентов, семь из которых однолинзовые

I при этом третий, выполненный в виде мениска, вогнутостью обращенного к изображению, и четвертый — отрицательные,а остальные компоненты положительные; причем первый, второй и седьмой выполнены в виде двояковыпуклых линз, а пятый — мениск, вогнутостью обращенный к изображению, о т л и 5 ч а ю шийся тем, что, с целью увеличения разрешающей способности и говышения ортоскопичности, диафрагма установлена за четвертым компонентом, который выполнен в виде двояковогщ нутой линзы, при этом шестой компонент выполнен в виде двояковыпуклой линзы, восьмой — в виде мениска, вогнутостью обращенного к иэображению, а седьмой компонент дополнен отрицательным мениском, образующим с двояковыпуклой линзой двухсклеенную линзу.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

ЗО Р 276456, кл. G 02 В 21/02, 1969.

2. Авторское свидетельство СССР

Р 527682, кл. С 02 В 11/00,1975(прототип).