Преобразователь давления

Преобразователь давления

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П И-С А Н И Е

ИЗОВРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик 872990 (61) Дополнительное к авт. свид-ву(22) Заявлено25.0б. 79 (21) 2782790/18-10 (51)М. Кл.

G 01 L 21/12//

G 01 L 9/00 с присоединением заявки и 2783300/18-10 (23) Приоритет(Ъвуавретеанный квинтет

СССР

N двлам изобретений н етнрытнй

Опубликовано 15,10.81 Бюллетень № 38

Дата опубликования описания 17. 10.81 (53) УДК 531. 787 (088. 8/

В. Г. Блохин, А. М. Васильев, В.> Н, " 1ерняевА,А. Головченко

Н. А. Иофис, Н. В. Пароль|М. Н. 1Левин,:И. И, Максймов и Г. Н. Миронрв ..

I 1 ь ",- -., Д (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ

Изобретение относится к контрольноизмерительной технике и предназначено для измерений давлений в области высоких температур.

Известно устройство, содержащее стекло, металлический корпус, металлическую мембрану и подвижную систему электродов 1.1 1, Недостатком этого. устройства является ограниченный диапазон рабочих температур измеряемых сред.

Наиболее близким по технической сущности,и достигаемому эффекту к изобретению является устройство, Состоящее из вакуумированного корпуса, мембраны и двух электродов, один иа которых расположен на мембране, а.другой на подложке с подогревателем f2 ).

Недостатком этого устройства явля- ется невысокая точность измерений при высоких температурах измеряемых сред.

Цель изобретения — повьппение точности преобразования. указанная цель достигается тем, что в.преобразователь введены два дополнительных электрода, установленных неподвижно относительно друг друга, по меньшей мере один из которых размещен на подложке, и система температурной стабилизации, включенная между подогревателем и дополнительными электродами.

Кроме тогоВ измеритель и электрод, расположенный на подложке, и дополнительные электроды выполнены в виде полупроводниковых чувствительных слоев с системами электродов сток-исток.

При этом полупроводниковый слой выполнен из материалов, содержащих окислы щелочноземельных металлов.

На фиг. 1 представлен преобразователь, общий вид; на фиг. 2 — конкретный вариант исполнения.

Преобразователь содержит вакуумированный корпус 1, измерительные элек троды 2 и 3, подложку 4 с подогревателем 5, дополнительные электроды 6

872990

:и 7 и систему температурной стабилизации 8. Измерительный электрод 2 и дополнительные электроды б и 7 выполнены в виде. полупроводниковых слоев 9 с системами электродов сток-исток (фиг. 2), Преобразователь работает следующим образом.

При действии давления на мембрану с электродом 3 изменяется расстояние между элекгродами 2 и 3, и ток между ними зависит.от температуры измеряемой среды и от давления. У дополнительных неподвижных относительно друг друга электродов 6 и 7 ток зависит только от температуры. С изменением температуры измеряемой среды изменяется ток, протекающий через электроды. Сигнал с дополнительных электродов 6 и 7 подается на систему температурной стабилизации 8, которая. в виде обратной связи влияет на подогреватель, изменяет его мощность, что приводит к стабилизации тока. Таким образом, исключается влияние температуры при измерении..давления, Формула изобретения

1. Преобразователь давления, со- ЗО держащий вакуумированный корпус, чув ствительную к давлению мембрану, подложку с подогревателем, систему из двух измерительных электродов, один из которых установлен на мембране, а другой — на подложке, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью повышения точности преобразования, в него введены два дополнительных электрода, установленных. неподвижно относительно друг друга, по меньшей мере один из которых размещен на подложке, и система температурной стабилизации, включенная между подогревателем и дополнительными электродами.

2. Преобразователь по п. 1, о тл и ч а ю шийся тем, что измерительный электрод, расположенный на подложке, и дополнительные электроды выполнены в виде полупроводниковых чувствительных слоев с системами электродов сток-исток.

3. Преобразователь по и. 2, о т— л и ч а ю шийся тем, что полупроводниковый слой выполнен из материалов, содержащих окислы щелочноземельных металлов.

Источники информации, принятые so внимание при экспертизе

1, Авторское свидетельство СССР

М 418746, кл. 6 01 L l l l00, 17.07.72;

2. Авторское свидетельство СССР

М 575513, кл. G 01 L ..9/00, 27.01.76 (прототип}.

Риг.2

Составитель В. Казаков

Редактор Л, Копецкая Техред Т.11аточка КорректорГ. Назарова

Заказ 9015/63 Тираж 910 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д, 4/5

Филиал ППП "Патент", r. ужгород, ул. Проектная, 4