Камера образцов рентгеновского микроанализатора

Камера образцов рентгеновского микроанализатора

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП ИСА НИ Е (ц873071

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советсккк

Соцналксткческка

Республик

К АВТОРСКОМУ СВКДЕТЕЛЬСТВУ (6l ) Дополнительное к авт. свпд-ву (22) Заявлено 07 01.80 (21) 2896044/18-25 с присоединением заявки М— (23 ) Приоритет (53)N. Кл.

G 01 и 23/20

ГюеударстаеиМ кенитет

СССР ао делан изабрвтеиий и еткрытий

Опубликовано 15.10.81. Бюллетень,% 38 (53) УДК б21.З8 (088.8) Дата опублпковаиня описанпя 15.10.81 (72) Авторы изобретения

А. Ф. Панов, В. И. Морозов, К. А, Ма (7l) Заявитель (54) КАМЕРА ОБРАЗЦОВ РЕНТГЕНОВСКОГО МИКРОАНАЛИЗАТОРА

Изобретение относится к рентгено-спектральным и электронно-зондовым микроаналиэаторам локального, качественного и количественного анализа состава образцов, а именно к входящим в состав этих приборов камерам образ5 цов, обеспечивающим необходимые перемещения исследуемого объекта и эталонов.

Известен микроанализатор, снабженный камерой образцов, в вакуумном корпусе которой,размещен столик для образцов и эталонов и прецизионные механизмы, обеспечивая щие этому столику перемещения по трем координатам (x и у в плоскости образца, Z— вдоль оси электронно-оптической системы) (11.

Известна также камера образцов для электронно.зондового микроанализатора, содержь щая столик для образцов и эталонов с механизмами, обеспечивающие этим столиком дифференцированные перемещения, благодаря тому, что столик снабжен двумя независимыми каретками, одна — для образца, другая — для эталона. Каретка для образца перемещается прецизионным винтовым механизмом, каретка для эталонов — толкателем. Оперативность анализа в этой камере образцов достаточно высока, но вследствие использования упругих направляющих, диапазон перемещения кареток мал, и в результате нельзя исследовать образцы болыпой площади (2).

Наиболее близкой к предлагаемой является камера образцов рпптеновского микроанашьзатора, содержащая вакуумный корпус, столик с держателем образцов, установленный в нем с воэможностью поступательного mepeмещения по трем координатам, и приводы, передающие столику движение иэ вне вакуумного объема (3). .Недостатком этих камер является сложность, а вследствие этого потеря точности анализа

1 крупногабаритных объектов.

Цель изобретения — повьппение точности микроаналиэа крпуногабаритных образцов.

Поставленная цель достигается тем, что в камере образцов ренпеновского микроаналиэатора, содержащей вакуумный корпус, столик с держателем образцов, установленный в нем с возможностью поступательного перемещения по трем координатам, и приводы, пере873071

ПИ Заказ 9020/67 ираж 910 Подписное

Филиал ПП11 "Патент", г.ужгород, ул.Проектная,4

3 дающие столику движение из вневакуумного объема, столик смонтирован на торце полого вала, введенного одним концом внутрь ваку>»гного .корпуса с возможностью осевого перемещения и вращения вокруг своей .оси, совпа5 дающей с осью электронно-оптической системы микроаналиэатора, при этом механизмы привода столика смонтированы в полости вала..

На чертеже изображена камера образцов рентгеновского микроанализатора.

Камера образцов имеет высоковакуумный корпус 1, столик 2 с держателем 3 образцов, установленный в направляющих каретки 4, которая, в свою очередь, движется по направляющим 5, закрепленным на торце полого вала

6, введенного в вакуумный корпус через гильзу 7 и вакуумное уплотнение 8. Ось полого вала 6 совпадает с осью электронно-оптической системы 9. На невакуумном конце полого вала смонтирован блок 10 с "рукоятками пе» и ремещений столика 2. Держатель 11 эталонов с эталонами 12 установлен в направляющих

13 корпуса 1, при этом держатель 11 эталонов связан тросиком 14 со шкивами 15 и 16, закрепленными также в корпусе 1.

Предлагаемая камера образцов является устройством, позволяющим производить рентгеновский микроанализ больших образцов и образ» цов с негладкой поверхностью, что особенно

4 актуально для современной микроэлектроники. например, в производстве сверхбольших интегральных схем, где необходимо исследовать пластины диаметром l00 — l50 мм.

Формула изобретения

Камера образцов рентгеновского микроанализатора, содержащая вакуумный корпус, столик с держателем образцов, установленный в нем с возможностью поступательного перс» мещения по трем координатам и приводы, .передающие столику движение из вневакуум ного объема, отличающаяся тем, что, с целью повышения точности микроанализа крупногабаритных образцов, столик смонтирован на торце полого вала, введенного одним концом внутрь вакуумного корпуса с возможностью осевого перемещения и вращения вокруг своей оси, совпадающей с осью электронно-оптической системы микроанализатора, при этом механизмы привода столика смонтированы в полости вала.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1."бсалтбл ЫесВго Mic oc1cop6 Апа0 2ЕГ", Г РОСПЕКТ ФИРМЫ А%1.,1975, Р.Е .

2. Авторское свидетельство СССР N4 397827, кл. G 01 и 23/20, 1973.

3. Авторское свидетельство СССР У 633095, кл. Н 01Ю 37/20, 1978.