Высоковакуумная криогенная ловушка

Высоковакуумная криогенная ловушка

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

r»r 879055

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических .

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 17.01.80 (21) 2870961/25-06 с присоединением заявки М— (23) Приоритет— (43) Опубликовано 07.11.81. Вюллстень М 41 (45) Дата опубликования описания 07.11.81 (51) М. Кл.

F 04 F 9iOG

F 04 В 37!08

Государствеииый комитет по делам изобретений и открытий (53) УДК 621.528.1 (088.8) (54) ВЫСОКОВАКУУМНАЯ КРИОГЕН НАЯ

ЛОВУШКА

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям устройств, препятствующих проникновению паров рабочих жидкостей высоковакуумHbIx насосов в откачиваемый обьсм.

Известны высоковакуумные криогенные ловушки, содержащие корпус с соосными входным н выходным патрубками и размещенный в нем сосуд для хладагента (1).

Однако известные ловушки имеют невысокую проводимость в молекулярном режиме течения газа и недостаточно эффективные защитныс свойства.

Целью изобретения является повышение проводимости и улучшение защитных свойств.

Указанная цель достигается тем, что сосуд выполнен в виде сильфона, патрубки расположены перпендикулярно оси сильфона, последний имеет внутренний диаметр, превышающий диаметр патрубков. Сильфон с наружной стороны имест покрытие нз пористого теплопроводного материала.

1-1а чертеже представлена высоковакуумная криогснная ловушка, продольный разрез.

Ловушка со держит корпус 1 с соосными входным и выходным патрубками 2 и

3 и размещенный в нем сосуд 4 для хладагснта, причем сосуд 4 выполнен в виде

2 сильфона, а патрубкн 2 и 3 расположены перпендикулярно оси сильфона. Кроме того, сильфон имеет внутренний диаметр, превышающий диаметр патрубков 2 и 3, а также с наружной стороны имеет покрытие 5 из пористого теплопроводного материала.

Ловушка работает следующим образом.

Откачпваемый газ проходит от входно10 го патрубка 2 к выходному патрубку 3, в то время как пары рабочих жидкостей высоковакуумных насосов проникают к откачнваемому объему в обратном направлении. Пары рабочих жидкостей, сталкива15 ясь с поверхностью сосуда 4, заполнснного хладагентом, конденсируются. Прямой проскок паров рабочих жидкостей невозможен ввиду того, что внутренний диаметр сильфона превышает диаметр патруб2р ков. Тем самым ловушка в целом препятствует пронпкновсшпо паров в откачиваемый объем. Пористое покрытие на поверхности сосуда увеличивает вероятность конденсации паров.

Формула изобретения

1. Высоковакуумная криогенная ловушка, содержащая корпус с соосными вход30 ным и выходным патрубками н размещен879055

Ф/л 0

Ck ия яГ

Юлт/

1ГЫ1 аЛЪяи

Составитель В. Лазуткин

Техред А. Камышиикова

Редактор Н. Аристова

Корректор О. Тюрина

Изд. № 55В Тира2к 712

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

l 13035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Заказ 7139

Подписное

Загорская типография Упрполиграфиздата Мособлисполкома пый в псм сосуд для кладагенга, отлич а ю шийся тем, что, с целью повышения проводимости If улучшения защитных свойств, сосуд выполнен и виде сильфона, а патруоки расположены перпендикулярно осп сильфона.

2. Ловушка Ifo и. 1, отл и ч а юща я с я тем, что сильфон имеет внутренний диаметр, превышающий диаметр патрубков.

3, Ловушка по и. 1, отл пч а юща яся тем, что сильфон с наружной стороны имеет покрытие из пористого теплопроводного материала.

Источники информации, принятыс во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР № 590493, кл. F 04 Г 9/06, 1975.