Способ изготовления проницаемого элемента контрольной течи

Способ изготовления проницаемого элемента контрольной течи

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИ ЕТЕЛЬСТВУ

СОюз ColoTcKHx

Социалистических

Республик (1)829344 (61) Дополнительное к авт. сеид-ву (22) Заявлено 22.01. 80 (21) 2871327/25-28

Р )М, КлР с присоединением заявки М—

G 01 М 3/00

ГОсударственный комитет

СССР ио делам изобретений и открытий (23) Приоритет

Опубликовано 071181. Бюллетень @41

Дата опубликования описания 07. 11. 81 (5З) УДК 620 ° 165..29.(088.8) di

В.М.. Мясников, С. Г. Сажин, A. И. Юрченко, A.È.Ëó3èí, О.H.Äðóæêoâ .и В.Б.Поликарпов;

Горьковский политехнический институт им. A!A. Жданова, и Научно-исследовательский институт химии при Горьковском государствеыном университете им. Н.И. Лобачевского (72) Авторы изобретения (71) Заявителн

I (54 ) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕН ИЯ НРОНИЦАЕМОГО ЭЛЕМЕНТА

КОНТРОЛЬНОЙ ТЕЧИ

Изобретение относится к технологии изготовления контрольных течей, которые могут применяться для калибровки течеискательной аппаратуры при испытаниях на герметичнбсть.

Известен способ изготовления проницаемого элемента контрольной течи, заключающийся в том, что на образец из пластичного материала наносят хрупкое покрытие и подвергают образец растяжению до образования трещин в покрытии 1).

Такой способ не позволяет получать течи с заданной проводимостью,поскольку размеры трещин в покрытий зависят кроме толщины покрытия и величины растягивающего усилия от ряда неконтролируемых параметров.

Наиболее близким к иэобретенйю по технической сущности является способ .изготовления проиицаемого элемента контрольной течи, заключающийся в том, что используют пластину с отверстием, помещают ее в вакуумируемый объем и осаждают на стенки отверстия слой металла (21.

Этот способ не обеспечивает точного изготовления проницаемого элемента, так как пропускная способность последнего не контролируется в процессе изготовления.

Цель изобретения — повышение точности изготовления.

Поставленная цель достигается тем,. что перед осаждением металла пластину нагревают, осаждают металл путем пропускания через отверстие пластины газообразного металлооргаиического сое,динения, одновременно с осаждением металла пропускают через это отверстие индикаторный гаэ, измеряют пропускную ,способность отверстия по индикаторному газу и при достижении заданной величины пропускной способности прекращают осаждение металла.

На чертеже представлена схема установки, с помощью которой осуществляется предлагаемый способ. установка содержит вакуумную камеру 1, в которую помещена пластина

2 с отверстием 3, дозирующее устройст во 4 для подачи металлоорганического соединения, испарительную камеру 5 с нагревателем 6 для испарения метал. лоорганического соединения, трубку

7 для подачи индикаторного газа в камеру 1, нагреватель 8 пластины 2, датчик 9 температуры, средство «О

30 откачки камеры 1, последовательно

879344 соединенные с камерой 1 вымораживающую подушку 11 и течеискатель 12.

Способ осуществляется следующим образом.

Пластину 2 с отверстием 3 диаметром 0,1 мм помещают в камеру 1 и вакуумируют последнюю с помощью средства 10 откачки до давления

-2

1 10 мм рт.ст. Включают нагреватель 8 для нагрева пластины 2 до о температуры 400 С. После этого подают дозирующим устройством 4 металлоорганическое соединение, в качестве которого используют бис-этилбенэолхром, в испарительную камеру 5, где оно испаряется при температуре о

120 С и в газообразном состоянии проходи через отверстие 3 пластины

2. При этом на нагретых стенках отверстия 3 происходит разложение металлоорганического соединения и осаждение металла, приводящее к постепенному уменьшению размеров отверстия и соответственно его пропускной спосооности. Одновременно с подачей бис-этилбензохрома в камеру 1 через трубку 7 подают индикаторный газ,в качестве которого используют гелий, и измеряют его поток, определяемый пропускной способноотью отверстия

3 пластины 2, течеискателем 12. При уменьшении величины потока гелия до значения, соответствующего за-. данной пропускной способности отверстия, подачу металлоорганического соединения и гелия прекращают. Время, затраченное на осаждение металла на стенки отверстия.для достижения заданной величины потока, равной

1,7 10" н 2,3 ° 10 Эл мкм/с,составило соответственно 40,2 и 39,5 мин.

Использование изобретения позволяет получать проницаемые элементы течей в широком диапазоне требуемых проводимостей и с высокой точностью.

Формула изобретения

Способ изготовления проницаемого элемента контрольной течи, заключающийся в том, что используют пластину с отверстием, помещают ее в вакуумируемый объем и осаждают на стенки отверстия слой металла, о т л и 5 ч а ю шийся тем, что, с целью повышения точности изготовления,перед осаждением металла пластину нагревают, осаждают металл путем пропускания через отверстия пластиЩ ны газообразного металлоорганического соединения, одновременно с осаждением металла пропускают через это отверстие индикаторный газ, измеряют пропускную способность отверстия д по индикаторному газу и при достижении заданной величины пропускной способности прекращают осаждение металла.

30 Источники информации, принятые Ьо внимание при экспертизе

1. Патент СшА У 3791198,кл. 73-53

1977.

2. Авторское свидетельство СССР

35 Р 213517,М.кл. С 23 С 17/00, 1968 (прототип).

ВНИИПИ Заказ 9703/7

Тираж 910 Подписное

Филиал ППП "Патент", г.Ужгород,ул.Проектная,4