Устройство для электроконтактной обработки изделий

Устройство для электроконтактной обработки изделий

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОВРЕтКНИЯ ""87 6

Союз Советских

Социалист кческкх

Реслублкк

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к asr. сеид-ву— (22) Заявлено 040 80 (21) 2878722/18-21 (51) +.

Н 01 У 9/02 с присоединением заявки ¹Государственный комитет

СССР оо делам изобретений и открытий (23) Приоритет—

Опубликовано 07.11.81 Бюллетень ¹ 41 (53) УДК 621.. 382.

° 002.27(088.8) Дата опубликования описания 07.1181

О (72) Авторы изобретения

A.Á. Беклемишев и М.И. Алексеев

Г (Всесоюзный научно-исследовательский институт. геофизических методов разведки (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЭЛЕКТРОКОНТАКТНОЙ ОБРАБОТКИ

ИЗДЕЛИЙ

Изобретение относится к технологическому оборудованию, применяемому при электроконтактной обработке многоэлементных матричных панелей, преимущественно электродов жидкокристаллической матричной панели.

Известно устройство для получения многоэлементных матричных панелей, в котором электродное покрытие создается посредством напыления в вакууме. Для придания электродам необходимой формы часть поверхности пластины экранируют от распыляемого материала с помощью экрана (маски) (1). 15

Значительная трудоемкость процессов создания и применения прецизионных экранов соответствующей конфигурации и сложность автоматизации этих процессов — факторы, ограничи- 20 вающие применение устройства., Известно также для электроконтактной обработки иэделий (2), содерmagee предметный стол.для крепления .обрабатываемого изделия, подпружинен- 2 ный электрод — инструмент, закрепленный в держателе, соединенный с одним полюсом регулируемого источника питания, другой полюс которого соединен с обрабатываемым изделием 30 через токосъемный электрод, и координатную систему с приводами °

Устройство используется преимущественно для выполнения черновых и получистовых операций при обработке деталей с большими припусками.

Целью изобретения является повышение точности Обработки и производительности.

Эта цель достигается тем, что в устройстве для электроконтактной обработки изделий, преимущественно электродов жидкокристаллической матричной панели, содержащее предметный стол для крепления обрабатываемого изделия, подпружиненный электрод - инструмент, закрепленный в держателе, соединенный а.одним полюсом регулируемого источника питания, другой полюс которого соединен с обрабатываемым изделием через токосъемный электрод,. и координатную систему с приводами, токосъемный электрод выполнен из материала, по твердости не превосходящего твердость обрабатываемого изделия, и закреплен в держателе с возможностью перемещения по обрабатываемой поверхности, причем площадь контактной поверхности токосъемного электрода

879671

Формула изобретения связана следующим соотношением с площадью контактной поверхности электрода - инструмента:

6 (о

2 где 9 — площадь контактной поверхности электрода — инструмента;

9 - площадь контактной поверхности токосъемного электрода.

На фиг. 1 показана схема устройства для электроконтактной обработки изделий, преимущественно электродов жидкокристаллической матричной панели1 на фиг. 2-3 — инструмент †. электрод в сборе.

Устройство содержит предметный стол 1, обрабатываемые изделия 2, напыленное покрытие 3, инструмент в сборе 4, систему игольчатых электродов 5, держатель 6, упругий элемент 7, токосъемный, например графитовый электрод 8.

Устройство работает следующим образом.

Система игольчатых электродов 5 и электрод 8 посредством привода (на чертежах не показан) перемещаются относительно предметного стола 1 и закрепленного на ней иэделия 2 с напыленным слоем 3. Ток источника, протекающий по напыленному слою между токосъемным и игольчатыми электродами, имеет наивысшую плотность вблизи острия игольчатых электродов.

Когда плотность тока достигает заданной величины, происходит тепловая эрозия напыленного слоя точно под острием игольчатого электрода. Величина плотности тока, необходимая для конкретной детали, рассчитывается заранее и поддерживается посред"твом автоматически регудируемого источника питания. Наличие токосъемного электрода перемещающегося синхронно с инструментом, исключает влияние изменения сопротивления напыленного слоя на стабильность тока.

Обусловленное соотношение размеров контактных поверхностей и выполнение токосъемного электрода из мягкого материала, например графита, гарантирует эрозию только под остриями инструмента и исключает влияние изменения сопротивления контакта токосъемного электрода и напыленного слоя, вызванное локальной неоднородностью рельефа слоя, эволюцией размеров и форм контактирующих поверхностей в процессе работы на стабильность тока. Использование набора игольчатых электродов повышает производитеЛьность устройства.

5Î

66 устройство позволяет получить электроды жидкокристаллической матричной панели с параметрами: ширина зоны эрозии " 30 мкм, ширина строки (столбца) . 100 мкм, предельное отклонение от осредняющей линии задаваемого контура — менее 10 мкм, минимальное сопротивление между независимыми строками (столбцами), 10 мом (после кислотной промывки).

Достоинствами изобретения является воэможность автоматизации всего технологического цикла, отсутствие ограничений размера изделий и формага матриц.

1. Устройство для электроконтактной обработки изделий, преимущественно электродов жидкокристаллической матричной панели, содержащее предметный стол для крепления обрабатываемого иэделия, подпружиненный электрод — инструмент, закрепленныйэ в держателе, соединенный с одним полюсом регулируемого источника питания, другой полюс которого соединен с обрабатываемым изделием через токосъемный электрод, и координатную систему с приводами, о т л и ч а ющ е е с я тем, что, с целью повыше- . ния точности обработки и производительности, токосъемный электрод выполнен из материала, по твердости не превышающего твердость обрабатываемого иэделия, и закреплен в держателе с возможностью перемещения по обрабатываемой поверхности, причем площадь контактной поверхности токосъемного электрода связана следующим соотношением с площадью контактной поверхности электрода — инструмента.

«CD

+2. где 8.(— площадь контактной поверхности — инструмента;

5 - площадь контактной поверхности токосъемного электрода.

2. Устройство по п. 1, о т л ич а ю щ е е с я тем, что электрод— инструмент выполнен в виде набора сканирующих подпружиненных игольчатых электродов.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Моряков О.С. Вакуумно-термические и термические процессы в полупроводниковом производстве. - М., Высшая школа, 1980.

2. Кондратьев А.В. Технология полупроводникового и электровакуумного машиностроения.-"М., Высшая школа, 1969 (прототип) .

879671

Фиа2

Составитель В. Псаломщиков

Редактор Г. Петрова Техред Т.Маточка Корректор A. Ференц

Заказ 9732/24 Тираж 787 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР пс делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4