Турбомолекулярный вакуумный насос

Турбомолекулярный вакуумный насос

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

< 881372 (6l) Дополнительное к авт. саид-ву— (22) Заявлено 11.04.80 (21) 2907449/25-06 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (51) М. Кл.а

F04 D I9/04

Государственный комнтет (53) УДК 621.527..8 (088.8) Опубликовано 15.11.81. Бюллетень № 42

Дата опубликования описания 25.11.81 по делам изобретений и отхрмтий (72) Лвтор изобретения

Ю. М. Тузаикии (7I ) Завлите.tь (54) ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫИ НАСОС

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям турбомолекулярных вакуумных насосов.

Известен турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий корпус со всасывающей и нагнетательиой полостями, расположенный по осн корпуса ротор и установленный во всасывающей полости нагреватель (11.

Однако известный насос имеет недостаточно высокие степень сжатия и производительность.

Целью изобретения является повышение степени сжатия и производительности.

Указанная цель достигается тем, что в нагнетательиой полости насоса установлен холодильник.

На чертеже представлен предлагаемый насос, продольный разрез.

Турбомолекулярный вакуумный насос содержит корпус 1 со всасывающей и нагнетательной полостями 2 и 3, расположенной по оси корпуса 1 ротор 4 и установленный во всасывающей полости 2 нагреватель 5, причем в нагнетательной полости 3 размещен холодильник 6.

Насос работает следующим образом.

При вращении ротора 4 происходит откачка. газа из всасывающей полости 2 в нагнетательную полость 3. Наличие нагревателя 5 во всасывающей полости 2 и холодильника 6 в нагнетательной полости 3 приводит к установлению переменной темпера туры роторных дисков, уменьшающейся в направлении от всасывающей полости к нагнетательиой. Возникающая разность температур способствует установлению термомолекулярного течения газа в направлении тв пониженной температуры, что создает новышение производительности и степени сжатия.

Формула изобретения

Турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий корпус со всасывающей и нагт нетальнбй полостями, расположенный по оси корпуса ротор н установленный во всасывающей полости нагреватель, отличаята!ийся тем, что, с целью повышения степени сжатия и производительности, в нагнетательной полости размещен холодильник.

20 Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР № 648753, кл. F 04 D 19/04, 1976.

881372

Составитель В. Кряковкин

Редактор О. Перснянцева Техред А. Бойкас Корректор Е. Рошко

Заказ 9910/55 Тираж 7!5 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

) 13035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская яаб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4