Устройство для контактной двусторонней фотопечати

Устройство для контактной двусторонней фотопечати

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОЬРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советскнн

Соцнвлнстнческнн

Республик

<111881651 (51) ???????????????????????????? ?? ??????. ????????-???? (22) ???????????????? 03.09,79 (2l ) 2812556>

Опубликовано 15, 11.81. Бюллетень М 42

Дата опубликования описания 15.1 1,81 (51)М. Кл.

G 03 В 27/62. 3ЬеудвретеенниЯ квинтет

СССР ао делам нзабретеннЯ н открытнЯ (53) УДК 771.317 (088.8) (72) Автор. изобретения

Б. И. Черный (7l) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТАКТНОЙ ДВУХСТОРОННЕЙ

ФОТОПЕЧАТИ

Изобретение относится к фототехнике; а именно к контактной двухсторонней печати на противоположных сгоронах фотопластины, и может быть использовано при изготовлении интегральных печатных схем, полупроводниковых приборов, прецизион5 ных масок, деталей электровакуумных приборов и в других областях.

Известно устройство для контактной двухсторонней фотопечати, содержащее пе» ремешаемые по направляющим рамки с то укрепленными на пих предварительно совмещенными фотошаблонами, между кото» рыми помешают пластину. 1).

Однако. движение по скользящим направ, ляюшим не может обеспечить фотошабло1S нам требуемую в современной электронике субмикронную точность совмещения.

Наиболее близким по технической сущности к изобретению является устройство для контактной двухсторонней фотопечати, содержащее два фжашаблона с размещенной между ними пластиной, устанавлива .емых в раскрывающейся обойме, верхняя и нижняя части которой соединены между собой упругим элементом, выполненным в виде гибкой металлической пластины Ы

Недостатком данного устройства является то, что при отсутствии скользящих перемещений держателей фотсшаблона упругий элемент, расположенный по одну сторону фотошаблонов, вызывает их взаимное перемещение в горизонтальной плоскости и достигающее величины, равной

+ 4 - 10 мк. Кроме того, при изменении толщины пластины, зажимаемой между фотошаблонами, нарушается их параллельность друг другу, что приводит к образованию между ними клинообразного зазора, снижающего точность воспроизведения сов мешаемых рисунков и вызывающего дополнительные перемещения фотощаблонов.

Цель изобретения - увеличение .гочности совмещения фогсеиаблонов с пластинами разной толщины и упрощение конструкции.

Указанная цель достигается тем, что в устройство для контактной двухсторон ней фотопечати, содержащим два фото3 8816

I шаблона с размещенной между ними плас» тиной, соединенных между собой с одной стороны упругим элементом, введен допол нительный упругий элемент, соединяющий фотошаблон со стороны, противоположной основному упругому элементу, при этом упругие эпементы, расположенные на нерабочих участках поверхностей фотошаблонов, выполнены в виде Y образных ппастинчатых пружин с параллельными между 10 собой линиями перегиба и установлены симметрично по отношению к фотошабпоI нам, причем толщина пластин превышает толщину сомкнутых упругих элементов.

На чертеже изображено устройство, общий вид.

Устройство состоит из фотошаблонов

1 и 2, упругих эпементов в виде Y -об- разных ппастинчатых пружин 3 и 4, прикрепленных к противоположным нерабочим; 20 участкам фотошаблонов 1 и 2, например с помощью эпоксидного клея, и представляющим собой согнутые полоски металлической фольги, например латунной или коваровой, удвоенная толщина которой менее толщины пластины 5.

Устройство работает следуюшим образом, Между фотошабпонами 1 и 2 помеща« ется пластина 5 с нанесенными на обе стороны фоточувствительным лаком, фотошаблоны 1 и 2 смыкаются и через них .п 5 облучается светом, после че, го вынимается и передается на операции выявпения рисунка. В связи с тем, что

Ч -образные ппастинчатые пружины 3 и . 4 установлены симметрично по обе стороl ны фотошаблонов 1 и 2 и их линии изгиба параллельны, а толщина в сомкнутом состоянии менее толщины пластины 5, при40 жатие фотошабпонов 1 и 2 к пластине 5 происходит равномерно по всей ее плоской поверхности независимо от толщины. Кон» струкция I -образных ппастинчатых пружин 3 и 4 их расположение и крепление к сопряженным поверхностям фотошаб45 лонов 1 и 2, касающимся ппастины 5, ис ключает относительные перемещения фото51 4 шаблонов 1 и 2 при воздействии на них сдвиговых усилий.

Исполььзование изобретения позволяет не менее чем в.10 раз увеличить точность совмещения рисунков фотошаблонов при контактной двухсторонней фотопечати на пластине за счет уменьшения величины сдвига фотошабпонов между собой до

0,2 мк, а также позволяет обеспечивать . плотный контакт фотошаблонов с пластиной независимо от ее толщины, что дает воэможность работать без перестройки устройства с пластинами разной толщины беэ снижения точности совмещения рисунков фотошаблонов. Кроме того, простота конструкции устройства обеспечивает надежность его работы и практическую неизменяемость точности совмещения от количества совмещений.

Формула изобретения

Устройство для контактной двухсторон» ней фотопечати, содержащее два шаблона с размещенной между ними пластиной, соединенных между собой с одной стороны упругим элементом, о т л и ч а ю щ е— е с я тем, что, с целью увеличения точности совмещения фотошабпонов с пластинами разной топщины и упрощения конструкции, в него введей дополнительный упругий элемент, соединяющий фотошаблон со стороны, противоположной основному упругому элементу, при этом упругие элементы, расположенные на нерабочих участKGx поверхностей фотошабпонов, выполне ны в виде Y -образных пластинчатых пружин с параллельными между собой линиями перегиба и установлены симметрично по отношению к фотошабпонам, причем, толщина ппастины превышает толщину сомкнутых, упругих элементов.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. "Электронная техника", 1976, сер. 7, вып. 7(77), с. 75.

2.Неких К.А.,CbuSs ЪТ., БСЬ оЕЙЕ C.М.»

"ЭоцЬЪЕ -Sided РЬо1Об Ь ор О"-"с ОЫб

State Technoto "- 1978, М- 8,c.66-6О, 881651

Составитель В. Смирнов

Редактор М. Погориляк Техред 3. Фанта

Корректор С. Шекмар

Филиал ППП "Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Заказ 9966/69 Тираж 509 Подписное. ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, 5, Раушская наб., д. 4/5