Способ изготовления металлических трафаретных печатных форм
Патент 885060
Авторы
Классы МПК
Способ изготовления металлических трафаретных печатных форм
Иллюстрации
Реферат
ОП ИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик ()885060
4Г
4 г
Ф (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 04.10.79 (21) 2831452/28-12 с присоединением заявки №вЂ” (.23) Приоритет— (51) М. К .
В 41 С 1/14
Гасударственный комнтет
Опубликовано 30.! 1.81. Бюллетень № 44 (53) УДК 655.2 (088.8) по делам нзобретеннй н открытий
Дата опубликования описания 05.12.81 (72) Авторы изобретен ия
Н. М. Сенкевич, Н. Г. Галиева и И. М. (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ
ТРАФАРЕТНЫХ ПЕЧАТНЫХ ФОРМ
Изобретение относится к радиоэлектронике, в частности к изготовлению трафаретных форм повышенной разрешающей способности, предназначенных для формирования рисунка формы по толстопленочной технологии в производстве гибридных интегральных схем, -а также плат печатного монтала на нефольгирова ином диэлектрическом основании с помощью токопроводящих печатных паст.
Известен способ изготовления металлических трафаретных печатных форм, заключающийся в последовательном получении на металлической подложке рисунков формы и растра путем формирования изображения из фотокопировального слоя и электрохимического осаждения металла с последующим удалением остатков копировального слоя и отделении подлоки от изготовленной формы 111.
К недостатком названного способа следует отнести использование в качестве материала трафаретной формы металлического покрытия меди н никеля с прочностью на разрыв 40 кгс/мм, не обеспечивающей требуемой тиражестойкости формы, а также,боковое разрастание электрохимически осажденного металлического слоя (медь- никель) в рисунках растра и формы вследствие использования жидкого фотокопировального материала, не обеспечивающего толщину слоя, сопоставимую с толщиной металличе ских слоев в рисунках растра и формы, кроме того, необходимость химического осаждения меди с целью создания проводящей поверхности для электрохимического осаждения металлического рисунка растра, усложняет процесс изготовления формы, требует применения драгоценного металла в качестве активатора химического меднения, является потенциальной причиной брака при последующем вытравлнвании химически осажденного слоя меди за счет высокого коэффициента подтравливания.
Цель изобретения — упрощение способа и повышение качества изготавливаемых форм.
Поставленная цель достигается тем, что в способе изготовления металлических трафаретных печатных форм, заключающемся в . последовательном получении на металлической подложке рисунков формы и растра путем формирования изображения из фо885060 токопировального слоя и электрохимического осаждения металла с последующим удалЕнием остатков копировального слоя и от деления подложки от изготовленной формы, получение на металлической подложке рисунка растра осуществляют перед получением рисунка формы и после получения риS сунка растра осуществляют предварительное удаление остатков фотокпировального слоя, при этом в качестве металла для электрохнмического осаждения используют никель-кобальт, а в качестве материала для sc фотокопировальных слоев — фотокопировальный пленочный материал.
На чертеже показана последовательность операций.
Пример. На подложке 1 (см. чертеж), изготовленной из стали 1XI8H9T размером, 250Х 250 мм с чистотой поверхности 8 †; 9, фотохимическим методом формируют копию растра 2, В качестве фотокопировального материала используется СПФ вЂ 2 вЂ, 20, позволяющий создавать растр с диаметром яче-; ек 100 мкм и перемычками 50 — 60 мкм. Ме- таллический рисунок растра 3 создается осаждением сплава никель-кобальт с содержанием кобальта 20 — 25 вес.% до уров ня фоторезиста при плотности тока 3 —., 4 А/дм, температуре 60 С и рН 3,3 — 3,8 из сульфоматного электролита состава, г/л:
Сульфамннокислый никель 316
Сульфаминовокислый кобальт 73
Никель хлористый 2 — 4
Борная кислота 30 — 40
Сахарин О,l
Лаурисульфат натрия 0,7 — 1,0
Далее удаляют фотокопировальный слой
4 в хлористом метилене и осуществляют фор- з мирование копии рисунка формы 5 с помощью фоторезиста СПФ вЂ” 2 — 40 или СПФ2. 60 толщиной 40 — 69 мкм, Металлический рисунок формы 6 создают электрохимическим осаждением сплава никель-кобальт до уровня фотокопировального слоя из указан-. ного электролита, удаляют фотокопировальный слой и снимают трафаретную форму 7 с подложки 1.
Применение предлагаемого способа позволяет изготавливать металлические печат4 ные трафаретные формы тоЛщиной 50—
70 мкм с линиями 50 — 60 мкм, четкой кром кой и повышает качество трафаретной пе чатной формы за счет использования при ее создании высокопрочного. сплава никелькобальт, что позволяет использовать их в работе с токопроводящими металлонаполненными печатными красками, обладающими абразивными свойствами, улучшает качество печатной формы устранением боковового разрастания при электрохнмическом наращивании рисунков растра и формы за счет применения пленочного фотокопировального материала толщин й, соизмеримой с толщиной формируемых слоев рисунка растра и формы, упрощает процесс изготовления трафаретной печатной формы исключением операции химического осаждения меди вследствие того, что формирование рисунка растра предшествует созданию рисунка формы.
Формула изобретения
Способ изготовления металлических трафаретных печатных форм, заключающийся в последовательном получении на металлической подложке рисунков формы и растра путем формирования изображения из фотокопировального слоя и электрохимнческого осаждения металла с последующим удалением остатков копировального слоя и отделении подложки от изготовленной формы, отличающийся тем, что, с целью упрощения способа и повышения качества изготавливаемых форм, получение на металлической подложке рисунка растра осуществляют перед получением рисунка формы н после получения рисунка растра осуществляют предварительное удаление остатков фотокопировального слоя, при этом в качестве металла для электрохимического осаждения используют никель-кобальт, а в. качестве материала для фотокопировальных слоевфотокопировальный пленочный материал.
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
1. Патент ФРГ № 2050285, кл. В 41 С 1/15, 19?3 (прототип), 885060
Составитель Ю. Смоляков
Редактор H. Бушаева Техред А. Бойкас Корректор Г. Огар
Заказ 10414123 Тираж 417 Подписное
ВНИИПИ . Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
1 1 3035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5
Филиал ППП сПатент», r. Ужгород, ул. Проектная, 4