Раствор для химического осаждения сплавов на основе никеля и кобальта

Раствор для химического осаждения сплавов на основе никеля и кобальта

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советских

Соцналнстнческнк

Республик

О П И С А Н И Е »8&5336

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (б1) Дополнительное к авт. санд-ву (22)Заявлено 07.12 ° 79 (2!) 2849555/22-02 (5 )М. Кд.

С 23 С 3/02 с присоединением заявки М

)оеударстмнный квмнтет

СССР (23) Приоритет по делам наебретеннй н открытнй

Опубликовано 30.11. 81. Бюллетень М 44

Дата опубликования описания 30.11.81 (53) УДК 621. 793. .3:669.24+669. .783(088.8) (72) Авторы изобретения

В.Е.Сибитева, А.Н.Гуров, В.A.È03ãàëåB, В,В.Наумов и С.С.Богданов (7l) Заявитель (54) РАСТВОР ДЛЯ ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖЛЕНИЯ СПЛАВОВ

НА ОСНОВЕ НИКЕЛЯ И КОБАЛЬТА

85-100

50-60

Изобретение относится к нанесению покрытий иэ растворов с помощью химических восстановителей, в частности к химическому осаждению сплавов на основе никеля и кобальта, и может быть использовано в полупроводниковой

S технике.

Известны растворы для химического осаждения никель-кобальт-фосфорных покрытий, содержащие в своем составе

1О соль никеля, соль кобальта и фосфорсодержащий восстановитель llj .

Однако полученные в таких растворах покрытия хотя и обладают повышенными механическими характеристиками (например, высокой твердостью и износостойкостью), плохо паяются и легко подвергаются окислению.

Наиболее близким к предлагаемому является раствор, содержащий хлористый никель, хлористый кобальт, гипофосфит аммония, лимоннокислый аммоний, хлористый аммоний и аммиак. Этот раствор дает воэможность осаждать никелькобальт-фосфорные покрытия с высокой температурой плавления (2) .

Недостатком известного раствора является то, что покрытия, полученные в нем, окисляются на воздухе уже при

200 С и плохо паяются.

Цель изобретения — повышение коррозионной стойкости и снижение температуры плавления сплавов.

Указанная цель достигается тем, что раствор, содержащий хлористый никель, хлористый кобальт, гипофосфит аммония, лимоннокислый аммоний, хлористый аммоний и аммиак, дополнительно содержит двуокись германия при следующем соотношении компонентов, г/л:

Хлористый никель 25-30

Хлористый кобальт 25-30

Гипофосфит аммония 12-15

Лимоннокислый аммоний

Хлористый аммоний

885336

4 способствует полному растворению двуокиси германия.

Содержание, г/л, в растворе

1 3

Компоненты

Хлористый никель

Хлористый кобальт Гипофосфит аммония

25 27,5 30

27,5 30

13,5 15

90 100

55 60

85

Лимоннокислый аммоний

Хлористый аммоний

Аммиак (253-ный)

Двуокись германия

100

100

100

0 5

1,0

0.75 Осажденные из растворов 1-3 никелькобальт-германий-фосфорные покрытия содержат соответственно 1.5. 2,0 и

2,53 германия и представляют собой однородный сплав беэ видимых включе» ний дисперсных частиц.

Покрытия имеют низкую т.пл. -650 0 и характеризуются хорошей способностью к сварке с алюминиевой и золо- ° той проволокой и удовлетворительной паяемостью при использовании спиртоканифольного флюса.

4О

Никель-кобальт-германий-фосфорные покрытия не окисляются на воздухе о при 300-350 С и выдерживают корроэионные испытания в камере влаги (продолжительность 56 сут,. температура

40 С, относительная влажность 983) .

Никель-кобальт-германий-фосфорные

: покрытия могут быть использованы вместо золотых покрытий в полупроводни- SO ковых приборах и других изделиях.

При замене золотых покрытий экономия на 1000 шт. полупроводниковых прибо" ров составит 50 тыс.руб. в год.

ВНИИПИ Заказ 10455/37 ТиРаж 1051

Подписное филиал ППП "Патент", г. ужгород, ул. Проектная, 4

Двуокись германия 0, 5-1, 0

Аммиак (25 -ный) До рН 8,5-9,0

Раствор приготавливают раздельным растворением компонентов в небольших псрциях деионизованной воды. Затем добавляют аммиак до заданного значения рН и вводят двуокись германия в виде мелкозернистого порошка. Аммиак

О

Процесс осуществляют при 95-98 С и рН 8,5-9,0. Скорость осаждения покрытий составляет 12 мкм/ч.

Примеры опробованных растворов приведены в таблице.

Формула изобретения

Раствор для химического осаждения сплавов на основе никеля и кобальта, содержащий хлористые никель и кобальт, гипофосфит аммония, лимоннокислый аммоний, хлористый аммоний и аммиак, отличающийся тем, что, с целью повышения коррозионной стойкости и снижения температуры плавления сплавов, раствор дополнительно содержит двуокись германия при следующем соотношении компонентов, г/л:

Хлористый никель 25 30

Хлористый кобальт 25 30

Гипофосфит аммония 12- 15

Лимоннокислый аммоний 85-100

Хлористый аммоний 50-60

Двуокись германия 0,5-1,0

Аммиак (25>-ный) До рН 8,5-9,0

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Горбунова К.М. и др. Физикохимические основы процесса химичес1 кого кобальтирования, M. "Наука", 1974, с. 95.

2 ° Патент С!ЧА и 3976816,кл.427-304, опублик. 1974.