Токопроводящий материал для пленочных электронагревателей

Токопроводящий материал для пленочных электронагревателей

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советскик

Социалистических

Реснублни (11886328

К АВТОРСК©МУ СВИ НИЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. сеид-ау (я)м. к„.з (22) Заявлено 280380 (21) 2903996/24-07

Н 05 .В 3/12 с присоединением заявки ¹Государствениый комитет

СССР ио делан изобретеиий и открытий (23) Приоритет

Опубликовано 30.1181.Бюллетень М9 44

Дата опубликования описания Зц11.81 (53) УДК 621.3.036. .662)365.43 (088.8) (72) Авторы изобретения

В.М. Колешко, В.Ф. Белицкий и E.A ° уткина

Институт электроники АН Белорусской ССР (71) Заявитель (54) ТОКОПРОВОДЯЩИЙ МАТЕРИАЛ ДЛЯ ПЛЕНОЧНЫХ

ЭЛЕКТРОНАГРЕВАТЕЛЕЙ

Изобретение относится к электротехнике в частности к материалам для резистивного нагрева, и может быть использовано для тонкопленочных электронагревателей.

Известен токопроводящий материал для пленочных нагревателей, содержащий двуокись олова, легированную сурьмой (1). 10

Введение сурьмы в тонкие пленки повышает термостойкость нагревателей, однако недостаточно, чтобы исклю- . чить образование областей с повышенной плотностью электрического тока и выгорание этих участков, что ведет к. выходу из строя электронагревателей.

Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является 20 токопроводящий материал для пленочных электронагревателей, содержащий двуокись олова и легирующие добавки (2).

25 . Недостатком материала является относительно низкая термостойкость, критическая температура работы электронагревателей составляет 800оС.

Пель изобретения - повышение термостойкостй электронагревателей. 30 указанная цель достигается тем что.токопроводящий материал в качестве добавок содержит редкоземельные элементы (РЗЭ) их смеси или соединения, а компоненты взяты в следующем соотношении, вес.%:

Редкоземельные элементы, их смеси или соединения 0,01-10

Двуокись олова Остальное

Нижняя граница количественного состава входящих в материал компонентов определяет минимальное содер" жание добавок РЗЭ, их окислов или гексаборидов, при котором наблюдается эффект увеличения термостойкости.

Верхняя граница определяет то предельное содержание добавок, выше которого наблюдается значительное изменение структуры, полученной иэ предлагаемого материала пленки и понижение термостойкости.

Тонкопленочный нагреватель на основе предлагаемого материала может быть получен любым из известных спо» сэбов, например: ионно-плазменным распылением мишени описанного выше состава при постоянном напряжении

2,3-2,6 кВ в среде аргона при давлении 3-6 10 мм рт.ст.; нанесением

886328

Материал может быть использован при изготовлении тонкопленочных электронагревателей для жидких и

15 газовых сред.

Материал нагревателя

Критическая температура, С

Ом см

Размер зерен

900

10 С

Snop + 0,01 вес.Ъ Се

Sno1 + 4,0 вес.Ъ Се

SnO + l0 вес.Ъ Се (20

" 10

ЯпО + 0,01 вес.Ъ Sm

SnO + 5,0 вес.Ъ Sm (20

820

0 5-1,0

0,5-1,0

Яп01 + 10 вес.Ъ Sm

SnO + 0,01 вес ° Ъ Gd

"20

0,1-0,2

0 5-1,0

840

Snop + 5 0 вес.Ъ Gd (20

ЯпО Ф 10,0 вес.Ъ Gd

1 и 20

Snop + 0,01 вес.% ММ

ЯпО + 5,0 вес.Ъ ММ

0,5-1,0

0,1-0,2

930

810

SnO + 10,0 вес.Ъ ММ

SnO + 0,01 вес.Ъ СеВ

0 5-1,0 " 20

10 0,5-1,0

0,1-0,2

0,5-1,0 950

870

"20

+ 5,0 вес.% CeB g

+ 10,0 вес.Ъ СеВ6

+ 0 01 вес. Ъ ЯтВ6

Snot

Snop м 10

SnOi

" 815

" 820

930

0 5-1,0

0,1-0,2

SnO + 5,0 вес.% ЯшВ6.20 г

SnO2 + 10,0 вес.Ъ SmBb

ЯпО + 0,01 вес.Ъ Y40%

0 1-0 2

0,5-1,0

20 10

ЯпО + 5, 0 вес. Ъ У 0%

0,1-0,2

815 810

+ 10,0 вес.% Ygog

+ 0„01 вес.Ъ Ybg

+ 5,0 вес.Ъ Ybg 0%

SnO

SnO

0.1-0,2

0,5-1,0

0,1-0,2

0,1-0,.2 20 " 930 815

ЯпО

SnO + 10,0 вес.Ъ Yb o

+ мишметаЛл, содержащий, вес.Ъ: Се 45-50; Nd 18; Pr 5; Sm 1

La 20-25; остальное — примеси Y, Eu, Tb и др. РЗМ, а также A3,0а, Си, MIlg Si, Ni, РЬ, Fe, С. на поверхность образца пленкообразующего раствора, состоящего из смеси оловоорганического соединения

Sn(OC H )4 и соответствующего простого спирта (этилового), в которую введена азотнокислая соль Р3М, с последующей термодеструкцией при

700-800 С в течение 1-2 мин.

Положительный эффект действия

РВ3 в тонких пленках на основе двуокиси олова связан с проявлением модифицирующего действия РЗЭ, wTo приводит к измельчению зерен пленки и улучшению ряда ее свойств, в частности термостойкости.

В таблице приведены основные свойства известных тонких пленок на основе Sno< и пленок, полученных по предлагаемому изобретению.

Как следует из таблицы, тонкие пленки из предлагаемого материала более термостойки

Использование разработанного материала при изготовлении тонкопленочных электронагревателей позволяет повысить их термостойкость и качество.

0 5-1,0

0,1-0,3

0 5-1,0

0 5-1,0

0,1-0,2

886328

Формула изобретения

Редкоземельные элементы, их смеси или соединения

Двуокись олова

0,01-10

Остальное

Составитель С. Бражник

Редактор Ю. Ковач Техред N. Голинка . Корректор В. Бут яга

Тираж 892 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Эаказ 10594/87

Филип ППП Патент, r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Токопроводящий материал для пленочных электронагревателей, содержащий двуокись олова и легирующие добавки, о т .л и ч а ю шийся тем, что, с целью повыаение термостойкости электронагревателя, он содержит в качестве добавок редкоземельные элементы, их смеси или соединения, а компоненты взяты в следующем соотношении, вес.%:

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

9 147625, кл. H 01 С 7/00, 1962, 2. Авторское свидетельство СССР ,Р 577700., кл. Н 05 В 3/12, 1975.