Дозирующее устройство

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советсник

Сецналистичеснии

Республик

Оп ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

<1»889741 (61) Дополнительное к авт. свнд-ву (22) Заявлено 220978 (21) 2664516/18-21 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 151281. Бюллетень № 46

Дата опубликования описания 15,1?81 (51)М. Кл.

С 23 С 13/08

5Ьвударстееллый квинтет

СССР ао делан взабретенвк в втернтвв (53) УДК621.793..06(088.8) (72) Авторы изобретения

В.А. Леонов, В.Д. Ходжаев, Л. К.Давыдова и И.П.Музанов (7! ) Заявитель

Московский институт электронного машиност оени

P (54) ДОЗИРУЮЩЕЕ УСТРОЙСТВО

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано при нанесении пленок методом тер-. мического испарения и конденсации.

Известен испаритель с электронным нагревом. Дозировка требуемого коли ества испаряемого вещества осуществляется заранее, до начала технологического процесса, либо путем контроля в процессе напыления какоголибо параметра получаемой пленки (1 .

Недостатком этого устройства является ограниченность объема дозированного вещества, сложность осуществления контроля процесса напыле1S ния пленок, а также неравномерность протекания процесса испарения вещества из-за постоянного уменьшения

его количества в тигле.

Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является устройство, содержащее электромагнитный вибратор, вибробункер, на внутренней стороне которого имеется вин-. товой желоб и кольцевая проточка с отверстием, расположенным в верхней части желоба. Испаряемый материал, помещенный в бункер, под действием вибрации перемещается по желобу вверх и через отверстие в стенке бункера попадает на испаритель (21.

Недостатком данного устройства является нестабильность подачи дозированного вещества, подаваемого на испаритель, обуславливаемая неравномерность подачи испаряемого вещества по желобу вибробункера, что приводит к большим технологическим разброеам параметров получаемых пленок.

Цель изобретения — повышение стабилизации подачи испаряемого вещества.

Поставленная цель. достигается тем, что дозируняцее устройство, содержащее электромагнитный вибратор и вибробункер, на внутренней стенке которого выполнены винтовой желоб, кольцевая проточка и отверстие, 88974 причем кольцевая проточка и отверстие выполнены в верхней части вибробункера, снабжено дознрующим кольцом с вырезами, установленным в кольцевой проточке с возможностью вращения, причем вырезы дозирующего кольца расположены на уровне отверстия вибробункера.

На фиг. 1 показано дозирующее устройство, общий вид на фиг. 2— вибробункер.с отверстием, перекрытым кольцом, на фиг. 3 — то же, с открытым отверстием на фиг. 4 — дозирую цее кольцо, разрез на фиг. 5 — разрез А"А на фиг. 4.

13

Ус тройс тв о с одержи т алек тромаг нитный вибратор 1 и жестко соединенный с ним вибробункер 2, на внутренней стороне которого имеется винтовой желоб

3, отверстие 4, расположенное в

26 верхней части желоба, дозирующее кольцо 5 с вырезами 6, расположенное в кольцевой проточке на уровне отверстия °

Устройство работает следующим об-. разом, Испаряемчй материал помещается в вибробункер перед началом технологического процесса напыления. В процессе напыления вибратор 1 передает вращательное колебание вибробун. керу 2 и частицы испаряемого материала под действием вибрации перемещаются вверх по винтовому желобу 3. Одновременно под действием вибрации

35 дозирующее кольцо 5 вращается внутри винтового желоба. Скорость вращения зависит от частоты и амплитуды колебаний вибратора 1. Испаряемый материал, поступающий по винтовому же40 лобу 3 наверх, накапливается на верхнем горизонтальном витке спирали и подается на испаритель только в моменты, когда вырезы 6 дозирующего кольца 5 совпадают с отверстием 4.

В остальные моменты времени дозирую45 щее кольцо 5 перекрывает отверстие 4 и предотвращает доступ испаряемого материала к испарителю.

Количество дозированного вещества, подаваемого на испаритель, зависит от размеров и количества вырезов 6

4. дозирующего кольца 5, скорости его вращения и размеров желоба и может быть легко определено как аналитически, так и экспериментально. Стабилизация количества дозированного вещества, подаваемого на испаритель, обеспечивается тем, что в промежутках между подачей вещества на испаритель оно накапливается на верхнем горизонтальном витке желоба, геометрические размеры которого определяют объем подаваемого вещества (лишнее поступающее вещество автоматически ссыпается вниз).

Таким образом, предложенное устройство позволяет исключить влияние неравномерности подачи испаряемого вещества по желобу внбробункера, стабилизировать количество доэированного вещества, подаваемого на испаритель, улучшив тем самым воспроиэводимость технологического процесса напыления пленок и уменьшив технологические разбросы их параметров.

Формула изобретения

Дозирующее устройство, содержащее электромагнитный вибратор .и вибробункер, на внутренней стенке которого выполнены винтовой желоб, кольцевая проточка и отверстие, причем кольцевая проточка и отверстие выполнены в верхней части вибробункера, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения стабилизации подачи испаряемого вещества, оно снабжено дозируюпрм кольцом с вырезами, установленными в кольцевой проточке с возможностью вращения, причем вырезы дозирующего кольца расположены на уровне отверстия вибробункера.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Данилин Б.С. Вакуумное напыление тонких пленок. N., "Энергия", 1967, с. 233.

2..Информационно-справочный листок. ИЭП, 001769, 1969 (прототип).

889741

Составитель Н. Серебрянникова

Редактор И.Митровка Техред М. Надь, Корректор Е, Рошко

Заказ 1.0903/46 Тираж 1051 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений н открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4