Вакуумный затвор

Вакуумный затвор

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советских, Социалистических

Республик

О П И С A Н И Е ()889742

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (6! ) Дополнительное к авт. саид-ву (22)Заявлено 090480 {21) 2908997/18-21 (51)М. Кл. с присоединением заявки М

С 23 С 13/08

9еударетваииый комитет

СССР (2З) Приоритет (53) УДК621.793.

14 002 52 (088. 8) лв делам изобретений и открытий

Опубликовано 151281 Бюллетень № 46

Дата опубликования описания 1 5.1 281 (72) Авторы изобретения

Н.H.Ôåäoðoâ, P.Â.ÏóõîBèöêèé и А.Г.Дорохов (71) Заявитель (54) ВАКУУМНЫЙ ЗАТВОР

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в вакуумном технологическом оборудовании.

Известен вакуумный затвор, содержащий корпус с отверстием, фланец с уплотнением, соединенный с приводом возвратно-поступательного перемещения 1.15.

Однако этот вакуумный затвор име10 ет недостаточно высокую надежность уплотнения, обусловленную тем, что отверстие в корпусе уплотняется только в одном месте. Поэтому при нарушении уплотнения в этом месте проис15 ходит разгерметизация вакуумной системы. Кроме того, необходимость сложной конструкции привода, вызванная взаимным расположением отверстия и фланца с уплотнением, также снижает надежность уплотнения.

Наиболее близким по технической сущности является вакуумный затвор, содержащий корпус с отверстием, фла. нец с уплотнением, соединенный с приводом возвратно-поступательного перемещения, причем на сопрягаемых поверхностях корпуса и фланца выполнены соответственно углубления и выступ. Этот затвор имеет более простую конструкцию (2).

Недостаток данного затвора заключается в том, что при выполнении фланца с уплотнением цилиндрической формы надежность герметизации является недостаточно высокой, так как в этом случае имеет место неравномерное распределение усилий по криволинейной поверхности углубления в корпусе в месте уплотнения.

Цель изобретения - повьппение надежности герметизации.

Указанная цель достигается тем, что в вакуумном затворе, содержащем корпус с отверстием, фланец с уплотнением, соединенный с приводом возвратно-поступательного перемещения, причем на сопрягаемых поверхностях

889742

Формула изобретения

l0 корпуса и фланца выполнены соответст венно углубление и выступ, углубление и выступ сопрягаемых поверхностей корпуса и фланца выполнены трапецеидальной формы.

В поперечном сечении любой точки углубления поверхности корпуса под действием привода возникают равные по величине усилия герметизации отверстия, что обеспечивает высокую надежность уплотнения.

Наилучшее распределение усилий имеет место прй угле между боковыми поверхностями углубления в пределах

90 - 179а

На чертеже изображен вакуумный затвор, общий вид.

Вакуумный затвор содержит корпус .1 с отверстием 2 и углублением 3, фланец 4 с выступом и уплотнением 5, привод 6 возвратно-поступательного перемещения пневматического типа.

Углубление 3 и выступ с уплотнением

5 выполнены трапецеидальной формы.

Затвор работает следующим образом.

Под действием привода 6 фланец 4 с выступом и уплотнением 5 перемещается до соприкосновения с поверхностью углубления 3 корпуса 1. При дальнейшем перемещении фланца 4 происхо-. дит деформация выступа с уплотнением 5, обеспечивая надежную герметизацию отверстия 2 в корпусе l.

При загрузке иэделия ч ере э за тв ор (на чертеже не показан) по действием привода 6 происходит перемещение фланца 4 с выступом и уплотнением 5 от поверхности углубления 3 и разгерметизация отверстия 2.

Вакуумный затвор, содержащий корпус с отверстием, фланец с уплотнением, соединенный с приводом возвратно-поступательного перемещения, причем на сопрягаемых поверхностях корпуса и фланца выполнены соответственно углубление и выступ, о т— л и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения надежности герметизации, углубление и выступ сопрягаемых поверхностей корпуса и фланца выполнены трапецеидальной формы.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1, Вакуумные загрузочные шлюзы в оборудовании электронной промышленности. Обзоры по электронной технике.

ЦНИИ. Вып. 7(140), N. "Электроника", зо

2. Патент США В 4008683, кл. 118-491, 1977 (прототип) .

ВНИИПИ Заказ 10903/46 Тираж 1051 Подписное

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4