Испаритель

Испаритель

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П И С А Н И Е 889743

ИЗО6РЕТЕ Н ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советски и

Социалистические

Республик (61) Дополнительное к авт. санд-ву (22) Заявлено 101279 (21) 2850763/18-21 (53)М. Кл.

С 23 С 13/12 с присоединением заявки М

3Ьоударстееииы11 комитет

СССР (2З) Приоритет

Опубликовано 15.1 281. Бюллетень М 46 ао делон изобретений и открытий (53) УД К 621. 793..66.083,4 (088.8) Дата опубликования описания 1Ы 281 (72) Авторы изобретечияЮ.Н.Новиков, О.Д.Парфенов и E.À.×åðäàêo

Московское ордена Ленина и ордена Трудово

Знамени высшее техническое училище им. Н. (71) Заявитель (54) ИСПАРИТЕЛЬ

Изобретение относится к технологии нанесения. пленок и может быть использовано при изготовлении элементов интегральных схем..

Известен испаритель, содержащий тигель, выполненный в виде полосы, и рибропитатель (17 .

Недостатком этого испарителя является небольшая площадь тигля, что не позволяет создать перенасыщенный молекулярный пучок пара при испарении многокомпонентных материалов; а также снижает скорость измерения.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности является испаритель, содержащий коаксиально расположенные тигель и нагреватель (21

Недостатками данного испарителя являются низкое качество покрытий и низкая производительность, так . как испарение происходит с малой площади тигля..

Цель изобретения — повышение качества покрытий и повышение производительности.

Поставленная цель достигается

5 тем, что в испарителе, содержащем коаксиально установленные тигель и нагреватель, дно тигля выполнено в виде конусного диска и установлено с возможностью вращения.

На чертеже изображен испаритель, общий вид, разрез.

Испаритель состоит из тигля 1, вы" полненного в виде полого цилиндра, дна 2, выполненного в виде конического диска, установленного-на валу 3 привода вращения 4, нагревателя 5, сборника неиспарившихся частиц 6, вибропитателя 7 и экрана 8.

Испаритель работает следующим об» разом.

Тигель 1 разогревается до заданной температуры нагревателем 5 или пропусканием тока через тигель, при выполнении его иэ проводящего мате88974 риала,вибропитатель 7 подают испаряе мое вещество на дно 2, которое враща- ется с заданной скоростью, откидывая испаряемое вещество на нагретые стенки тигля, при этом траектория % испаряемого вещества представляет винтовую линию, что увеличивает площадь испарения. Если за время перемещения на поверхности тигля частица испаряемого вещества не.успевает о испариться, она снова попадает на дно тигля или в сборник неиспарившихся частиц.

Изобретение позволяет повысить качество покрытий и увеличить произво-

Дительность труда эа счет возможности создания перенасыщенного молекулярного пучка н "уменьшения влияния

4. температуры и излучения испарителя

1на подложку, Формула изобретения

Испаритель, содержащий коаксиально установленные тигель и нагреватель, отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытий и повышения производительности, дно тигля выпоЛнено .в виде конусного дйска и установлено с воэможностью вращения.

-Источники информации, принятые во внимание прн экспертизе

1 ° Парфенов О.Д. Технология микросхем. М., 1977, с. 147.

2. Патент США В 4048462, кл. 39121, 1977 (прототип).

ВНИИПИ Заказ 10903/46

Тираж 105) Подписное

Филиал ППП "Патент", r.Óæãoðoä,ул.Проектная,4