Способ определения проводимости вакуумной системы

Способ определения проводимости вакуумной системы

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советскик

Социаяистическик республик

О П И С А Н И Е (п)892254

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 07.03.?8 (21) 2588614/25-06 с присоединением заявки ЭЙ (23) Приоритет

{51) м. Кл. а 01 М 13/00

F 04 В 51/00 тоаударстыниый комитет

СССР

Опубликовано 23.12.81. Б оллетень № 47 ао делам изобретений и открытии

{53) УДК 621.527.8(088.8) Дата опубликования описания 23. 12.8 1 (72) Авторы изобретения

В.В.Леонов, В.N.Èóõèí, Г.В.Зуева, Е.М;Фатеев и Н.П-;1Ошин (7l) Заявитель

О (54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПРОВОДИМОСТИ ВАКУУМНОЙ

СИСТЕМЫ

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к способам определения проводимости вакуумной системы.

Известен способ определения проводимости вакуумной системы путем по5 дачи в последнюю потока рабочего тела и измерения расходов и давления в системе без и с испытуемым элементом (11, Однако этот способ не обеспечивает точности определения в молекуляр- 1О ном режиме течения.

Целью изобретения является повьппение точности в молекулярном режиме течения.

Поставленная цель достигается тем, что после введения испытуемого эле-. мента .уменьшают величину рабочего потока до установления давления в системе без испытуемого элемента, а проводимость определяют как изменение то расхода рабочего тела.

На чертеже схематично изображена

I установка для реализации предлагаемого способа.

Установка содержит вакуумную систему, включающую камеру 1 с датчиком 2 давления и бюреткой 3, подключенную к вакуумному насосу 4. Испытуемый элемент 5 установлен в вакуумной системе между камерой 1 и насосом 4.

Способ осуществляется следующим образом.

В камеру 1 подают поток рабочего тела и измеряют его расход бюреткой

3. Давление в камере измеряют датчиком 2. Замеры проводят без испытуемого элемента 5 и с испытуемым элементом, установленным в системе..

После введения испытуемого элемента

5 в систему уменьшают величину рабочего потока до установления давления в камере I равным далению в системе без испытуемого элемента. При этом изменение расхода рабочего тела регистрируют с помощьи бюретки

3. Проводимость испытуемого эле892254

Формула изобретения

Составитель Т.Довгели

Редактор И.Николайчук ТехредЛ.Пекарь

Корректор E- Рошко

Заказ 11216/62 Тираж 910

BHHHIIH Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Подписное

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4 мента определяют как изменение расхода рабочего тела.

При определении проводимости вакуумных систем таким образом точность измерения повышается на 15-20% в результате замеров давления одним датчиком, что уменьшает относительную погрешность измерения в молекулярном режиме течения.

Способ определения проводимости вакуумной системы путем подачи в последнюю потока рабочего тела и измерения расхода и давления в системе без и с испытуемым элементом, о т— л и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения точности в молекулярном режиме течения, после введения испытуемого элемента уменьшают величину рабочего потока до установления давления в системе беэ испытуемого эле р мента, а проводимость определяют как изменение расхода рабочего тела.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Френкель Н.З. Гидравлика, М.—

Л., Госэнергоиздат, 1956, с. 264.