Способ изготовления оксидно-полупроводниковых конденсаторов

Способ изготовления оксидно-полупроводниковых конденсаторов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Gll ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социапистических, Республик ()892494 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 12.06. 78 (2! ) 2631367/18-21 с присоединением заявки .рй (23) Приоритет (51)М. Кл.

Н 01 G 9/24

9кударствеианй комитет

СССР вв лелем изобретений и открытий

Опубликовано 23.12.81. Бюллетень лги 47 (53) УДК62!.3! 9-4.45(088.8) Дата опубликования описания 23. 12.81, (72) Авторы изобретения

В. Я. Каган и Б. И. Марченко (7l ) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ОКСИЦНО-ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ

КОНДЕНСАТОРОВ

Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано для изготовления оксидно-полупроводниковых конденсаторов.

Известен способ отбраковки ненадежных конденсаторов, заключающийся в том, что после нанесения на спеченные оксидированные аноды полупроводникового слоя, металлизации сек-. ций и сборки секций в корпус, их подвергают тренировке ).

Недостатком известного способа является попадание кислорода из атмосферы воздуха в корпус конденсатора через трубочку изолятора, что приводит к временному залечиванию дефектов, которые затем проявляются при эксплуатации.

Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является способ изготовления оксидно-полупроводниковых конденсаторов, включающий металлизацию секций в вакууме, сборку и отбраковку в вакууме пу- : тем измерения токов утечки(2).

Однако способ имеет малую эффективность вакуумной сушки, которая снижается из-за малых отверстий в трубочке изолятора (0,1-0,5 мм), и невысокую производительность труда, вызванную проведением ддполнительной операции — вакуумной сушки..

Цель изобретения — повышение эффективности отбраковки и увеличение производительности труда.

Поставленная цель достигается тем, что согласно способу изготовления оксидно-полупроводниковых конденсаторов,включающем металлизацию секций в вакууме, сборку и,отбраковку в вакууме путем измерения токов утечки, отбраковку осуществляют после металлизации секций в вакууме.

Предлагаемый способ изготовле ния оксидно-полупроводниковых конден. саторов осуществляется по схеме

892494 вакуумная металлизация секций — отбраковка в вакууме путем измерения

1 при подаче напряжения прямой полярности — сборка секций (впайка секций и изолятора в корпус) - измерение токов утечки — тренировка, а известный по схеме : вакуумная металлизация секций — сборка секций (впайка секций и изолятора в корпус)измерение токов утечки — вакуумная сушка при одновременной подаче напряжения обратной полярности и измерение токов утечки в вакууме при напряжении прямой полярности — тренировка.

Пример . 150 секций ниобиевых оксидно-полупроводниковых конденсаторов номинала 15 В х 68 мкФ загружают во фторопластовые гнезда металлических кассет, которые помещают в камеру напыления, где создают вакуум 1 10 Торр. После металлизации секций .медью и остыва ния их до комнатной температуры производят замер токов утечки при напряжении прямой полярности 15 В.

Ток утечки у 23 секций превышает .

150 мкА, а у остальных — не более

40 мкА (норма перед тренировкой) °

Затем производят впайку секций и изоляторов в корпуса (сборка секций). Замер токов утечки, произведенный после сборки, показывает,что среды конденсаторов, имеющих токи утечки менее 40 мкА, брака по току утечки нет, а из 23 штук отмечен ных конденсаторов — 18 штук имеют значения токов утечки выше допустимой нормы (40 мкА) и отбраковываются. Остальные пять штук отмеченных конденсаторов имеют токи утечки в норме, Все годные после сборки конденсаторы (132 штуки, включая пять отмеченных) проверяют известным способом. У трех из пяти отмеченных конденсаторов ток утечки превышает

100 мкА, остальные — в предалах ,нормы (40 мкА) Тренировку и последующие операции выполняют известным способом. После изготовления все конденсаторы удовлетворяют техничес,ким условиям, в том числе и пять от4 меченных конденсаторов. Однако, при испытании конденсаторов на надежность в течение 1000 ч при номинальном напряжении 15 В и температуре 8 С, ток утечки у пяти отмеченных конден-. саторов превышает 300 мкА (норма

20 мкА), в том числе и у двух образцов, не выявленных известным способом, а остальные конденсаторы имеют токи утечки в пределах нормы.

Процесс отбраковки потенциально ненадежных конде .саторов по предлагаемому способу объясняется следую щим. В процессе вакуумной металлизации при остаточном давлении

1 ° 10 Торр и нагреве секций в процессе напыления меди происходит вакуумная сушка секций, при которой удаляется влага, адсорбированная пористыми слоями двуокиси марганца и графита. В результате вакуумной сушки удаляется влага с границы оксид— двуокись марганца, поток кислорода из двуокиси марганца ослабляется и ранее блокированные ионами кислорода дефекты оголяются.

Предлагаемый способ позволит увеличить производительность труда за счет исключения вакуумной сушки и повысить эффективность отбраковки.

Формула изобретения

Способ изготовления оксидно-полупроводниковых конденсаторов, включающий металлизацию в вакууме, сборку и отбраковку в вакууме путем измерения токов утечки, о т л и ч а ю— шийся тем, что, с. целью повышения эффективности отбраковки и увеличения. производительности труда, отбраковку осуществляют после металлизации секций в вакууме, Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Закчейм Л. Н, Злектролитичес-, кие конденсаторы. И., 1963, с. 229232 °

2. Авторское свидетельство СССР

9 560264, кл. Н 01 G 9/24, 1972 (прототип).

ВНИИПИ Заказ 11266/74 Тираж 787 Подписное филиал ППП "Патент", г, Ужгород, ул. Проектная, 4