Устройство для нанесения покрытий

Устройство для нанесения покрытий

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советских

Социалистических

Республик

ОП КСАН И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. сеид-ву (22) Заявлено 06, 05. 80 (2 l )- 291971 3/18-21 с присоедииеииеет заявки М13/08

Риудеретюкный квинтет

СССР вв «елаи изабретеняв и открытии

{233Приоритет

Опубликовано 30.12 81 Бюллетень М 48

Ката опубликования описания 30. 12. 81

1 ° 793 °

8) А. С. Клюшин, В. И. 1(OTo ý И ° и А. И. Гинько (72) Авторы изобретения

Специальное конструкторское бюро элек аппаратов Грозненского производственн

"Оргтехника" (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ

Изобретение относится к технологии нанесения покрытий в вакууме, в частности к конструированию оборудования, используемого для селенирования барабанов электрофотографических машин, Известно устройство для нанесения покрытий, содержащее камеру, внутри которой расположен подложкодержатель, а снаружи нагревательГ1), Недостатком известного устройства является низкий коэффициент полезного действия.

Наиболее близким к предлагаемому является устройство для нанесения покрытий, содержащее цилиндрическую вакуумную камеру с крышкой и основанием и коаксиально расположенные в ней подложкодержатель, испаритель и нагревательные элементыГ21.

Недостатком известного устройства является ненадежность работы.

Цель изобретения - повышение надежности работы устройства за счет выноса нагревательных элементов на атмосферу.

Поставленная цель достигается тем, что устройство для нанесения покрытий, содержащее цилиндрическую вакуумную камеру с крышкой и основанием и коаксиально расположенные в ней подложкодержатель, испаритель и нагревательные элементы, снабжено пустотелыми гильзами, расположенными между испарителем и стенкой камеры, причем нагревательные элементы размещены внутри пустотелых гильз, а торцовые поверхности пустотелых гильз

15 герметично закреплены в крышке вакуумной камеры.

На чертеже представлена конструкция устройства.

На основании 1 установлена цилиндрическая вакуумная камера 2 с крышками 3, по оси камеры на крышке 4 закрепляется подложкодержатель 5, коаксиально которому устанавливаются испарители 6 и пустотелые гильзы 7, 894019 герметично закрепленные на крышке, в гильзы со стороны атмосферы вставлены нагрева гельные элементы 8, соединенные между собой, между гильзами и внутренней стенкой вакуумной камеры размещается отражательный экран 9.

Устройство работает следующим образом.

В вакуумную камеру 2 загружает- в ся подложкодержатель 5 с подложками, камера откачивается, включаются нагревательные элементы 8, при этом выделяемое тепла разогревает испарители 6 и экран 9, создавая тепло" вой поток от гильзы 7 и испарителя на подложкодержатель с подложками, при этом температура экрана 9, размещенного к гильзам на более близком расстоянии, чем испаритель, больше 2î чем у испарителя,, что защищает стенки экрана. от запыления.

Использование предлагаемого устройства снижает затраты при ремонте и повышает надежность работы установ- 25 ки, что в свою очередь влияет на процент выхода продукцииъ

Формула изобретения

1. Устройство для нанесения покрытий, содержащее цилиндрическую вакуумную камеру с крышкой и основанием и коаксиально расположенные в ней подложкодержатель, испаритель и нагревательные элементы, о т л и ч а ющ е е с я тем, что, с целью повышения надежности работы устройства, оно снабжено пустотелыми гильзами, расположенными между испарителем и стенкой камеры, причем нагревательные элементы размещены внутри пустотелых гильз.

2. Устройство по и. 1, о т л ич а ю щ е е с я тем, что торцовые поверхности пустотелых гильз герметично закреплены в крышке вакуумной камеры.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Ефимов И. Е. и др. Иикроэлектроника. И., "Высшая школа", 1977, с. 183.

2..Авторское свидетельство СССР

И 301677., кл. F 16 J 3/52, 1971 (прототип).

894019

Составитель И. Серебрянникова

Техред И. Надь Корректор О. Билак

Редактор Н. Ковалева

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Заказ 11400/44 Тираж 1051 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035; Москва, Ж-35, Раушская наб,, д. 4/5