Устройство для измерения квантовой эффективности излучения электролюминесцентных структур

Устройство для измерения квантовой эффективности излучения электролюминесцентных структур

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советских

Социалистических

Республик

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свмд-ву— (22) Заявлено 07,1279 (21) 2851896/18-21 с присоединением заявкийо (23) Приоритет—

Опубликовано 30.12.81. Бюллетень М 48

Дата опубликования описания 30.12,81 5 М К„з

Н 01 L 21/66

Государственный комитет с с с р но делам изобретений н открытий (53) УДК 621. 382 (088. 8) В. Е. Золотухин, Е. А. Криворотов, И. Е. Маронч к, Ю. Е. Марончук, И. В. Пивоварова и Н. С. Рудая (72) Авторы изобретения

Институт физики полупроводников Сибирског отделения

AH СССР и Новосибирский государственный уяяверсЖТет (71) Заявители (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ КВАНТОВОЙ ЭФФЕКТИВНОСТИ

ИЗЛУЧЕНИЯ ЭЛЕКТРОЛЮМИНЕСЦЕНТНЫХ СТРУКТУР

Изобретение относится к устройствам для измерения электролюминесцентного излучения, в частности квантовой эффективности электролюминесцентного излучения эпитаксиальных р-и структур.

Известно устройство для измерения квантовой эффективности излучения электролюминесцентных структур, содержащее источник питания структуры и калиброванный фотоприемник, включенный в измерительную схему (1).

Для измерения квантового выхода излучения электролюминесцентных структур с помощью такого устройства необходимо из измеряемой структуры изготовить излучательный элемент заданной площади. При этом раз— рушается часть контролируемой структуры и затрачиваются дополнительные средства на изготовление контрольного элемента. Кроме того, устройствб не может быть использовано для контроля однородности излучения по площади структуры.

Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является устройство, содержащее фотоприемник, который подключен к блоку измерений, капиллярный микрозонд и предметный столик с омическим контактом, кото.рый подключен к блоку питания P).

Недостатком такого устройства является то, что фотоприемник соби5 рает очень малую часть света излучае мого электролюминесцентной структурой, поэтому чувствительность устройства низка и снижается при уменьшении поперечного сечения жидкостного контакта, что усложняет процесс измерений.

Цель изобретения — упрощение процесса измерения.

Указанная цель достигается тем, 15 что в устройстве для измерения квантовой эффективности излучения электролюминесцентных структур, содержащем фотоприемник, который подключен к блоку измерений, капиллярный микро

20 зонд и предметный столик с омическим контактом, который подключен к блоку питания, омический контакт предметного столика выполнен в виде кольцевого электрода и размещен в пазу предметного столика, а в фотоприемнике выполнено сквозное отверстие, в котором установлен капиллярный микрозонд.

Кроме того, кольцевой электрод вы.

30 полнен из индия, покрытого слоем галлия.

894821

На фиг. 1 и 2 представлены примеры выполнения устройства.. устройство содержит предметный столик 1, в котором выполнен паз для размещения кольцевого электрода 2 и закреплено ограничительное кольцо 3 для фиксации исследуемой структуры

4.Фотоприемник 5, снабженный контактами 6, имеет отверстие, в котором расположен микрозонд 7 с жидкометаллическим электродом 8. Микрозонд Крепится в отверстии эпоксидной смолой 9.

Мембрана 10 и нагрузочный шток 11 служат для выдавливания ртути при контакте микрозонда. Через разъем 12 и контакт 13 устройство подключается к блоку 14 питания и измерителю 15 тока, а фотоприемник 5 с помощью контактов 6 — к блоку 16 измерений.

Для увеличения чувствительности устройства поверхность предметного сто,лика 1, ограниченная кольцевым электродом 2, покрыта отражающим слоем 17.

Варианты выполнения устройства отличаются конструкцией капилляра 18, корпуса микрозонда 19 и наличием защитного кольца 20, которое служит для защиты исследуемой структуры и исключения растекания жидкости из капилляра

Устройство работает следующим образом.

Через жидкий электрод микрозонда

7 и кольцевой электрод 2 к структуре прикладывается напряжение. Излучение исследуемой структуры 4, возникающее при протекании через «ее электрического тока, принимается фотоприемником 5 и регистрируется блоком 16 измерений.

Формула изобретения

1. Устройство для измерения квантовой эффективности излучения электролюминесцентных структур, содержащее фотоприемник, который подключен к блоку измерений, капиллярный микрозонд и предметный столик с омическим контактом, который подключен к l5 блоку питания, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью упрощения процесса измерения, омический контакт предметного столика выполнен в виде кольцевого электрода и размещен щ в пазу предметного столика, а в фотоприемнике выполнено сквозное отверстие, в котором установлен капиллярный микрозонд.

2. Устройство по п. 1, о т л и ч а ю ta е е с я тем, что кольцевой электрод выполнен из индия, покрытого слоем галлия.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Gazz W.N. Characteristics of а Gal. 5 . Percenet Е f f i c i eneg JEEE, Fraus, ED-12, 531, 1965.

2. Авторское свидетельство СССР

У 557701, кл. Н 01 L 21/66, 1976.

894821

Составитель И.Курчев

Редактор B.Ïèëèïåíêî Техред Т. Маточка Корректор М. Пожо

Заказ 11502/84 Тираж 787 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открнтий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4