Установка для сушки фоторезистивного покрытия на изделии

Установка для сушки фоторезистивного покрытия на изделии

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

»896351 (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 09.07.79 (21) 2790570/24-06 с присоединением заявки №вЂ” (51) М, Кл,з

F26 В 17/20

F 26 В 5/08

Государственный комитет (23) Приоритет— (53) УДК 66.047. .45 (088.8) Опубликовано 07.01.82. Бюллетень № 1

Дата опубликования описания 07.01.82 по делам изобретений и открытий (72) Авторы изобретения

Ю. К. Анисимов, Е. В. Мурашева и А.. Рутберг ..,» ь М&дцтт7ртгл (7l ) Заявитель (54) УСТАНОВКА ДЛЯ СУШКИ

ФОТОРЕЗИСТИВНОГО ПОКРЫТИЯ НА ИЗДЕЛИИ

Изобретение относится к сушильной технике и может быть использовано в радиотехнической промышлености.

Наиболее близкой к предлагаемой является установка для сушки фоторезистивного покрытия на изделии, содержащая сушильную камеру и размещенную в ней платформу с приводом, на валу которого соосно закреплено изделие (1).

Недостатками известной установки являются низкое качество сушки и неравномерность толщины пленки фоторезиста на поверхности изделия конической формы.

Цель изобретения — получение одинаковой толщины покрытия на изделии конической формы и повышение качества сушки.

Указанная цель достигается тем, что платформа установлена в камере с возможностью ее поворота в вертикальной плоскости, причем вал привода наклонен к горизонту под углом 8 — 25 .

На чертеже схематически показана установка для сушки фоторезистивных покрытий на изделиях конической формы.

Установка состоит из сушильной камеры 1, в которую помещено устройство для вращения изделия, состоящее из основания 2 и поворотной платформы 3, на которой закреплен привод 4. Поворотная платформа 3 имеет шкалу 7 с конусом. Винт 8 предназначен для фиксации поворотной платформы 3 под определенным углом в вертикальной плоскости.

Установка работает следующим образом.

Фоторезист наносится на коническое изделие 6 методом окунания, после чего изделие 6 закрепляется на валу 5 привода 4.

При этом поворотная платформа 3 фиксируется под оптимальным углом наклона. Изделие 6 с помощью привода 4 приводится во вращение со скоростью. 70 — 80 об/мин при температуре в сушильной камере 50 — 60 С

15 в течение 5 — 6 мин. Затем снимаются натеки фоторезиста с конического изделия 6 у его основания с помощью влажного тампона, после чего осуществляют досушивание фоторезистивного покрытия при указанных выше скорости вращения изделия и температуре

20 в сушильной камере в течение 8 — 10 мин.

Просушенное изделие 6 снимают с вала 5 для последующего фотоэкс пои и рова н и я.

896351

Формула изобретения

Составитель А. Железнов

Редактор И. Николайчук Текред А. Бойкас Корректор Ю. Макаренко

Заказ 11672/24 Тираж 737 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская на 6., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4

При углах при вершине конического изделия 8 — 20 оптимальный угол подъема оси вращения составляет 25, а при больших значениях угла при вершине угол подъема оси вращения необходимо уменьшать.

Предлагаемая установка для сушки фоторезистивных покрытий на изделиях конической формы позволяет получать качественное равномерное по толщине покрытие для изготовления конических спиральных антенн.

Установка для сушки фоторезистивного покрытия на изделии, содержащая сушильную камеру и размещенную в ней платформу с приводом, на валу которого соосно закреплено изделие, отличающаяся тем, что, с целью получения одинаковой толщины покрытия на изделии конической формы и повышения качества сушки, платформа установлена в камере с возможностью ее поворота в вертикальной плоскости, причем вал привода наклонен к горизонту под углом

8 — 25 .

to

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Московкин Л. Н., Ошарин В. И. Фотохимическое фрезерование. М., «Машиностроение», 1978, с. 48.