Способ травления титана и его сплавов
Иллюстрации
Показать всеРеферат
Союз Советскик
Социалистических
Республик
ОПИCAn@r.
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
<1ц 897895 (61) Дополнительное к авт. свид-ву(22) Заявлено 2804.78 (21) 2611141/22-02 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет
Опубликовано 1501.82, Бюллетень ¹2
Дата опубликования описания 150 М2
Р М g+ з
С 23 Р 1/02
Государственный комитет
СССР по делам изобретений и открытий (Щ УДК 620;197.4. .669, (088.8) (72) Авторы изобретения
Ю.С.Рускол, Н.Д.Эстрина, M H.Фокин, и Э.A. Трошина сова (71 ) Заявитель (54) СПОСОБ ТРАВЛЕНИЯ ТИТАНА И ЕГО СПЛАВОВ
Изобретение относится к химической обработке поверхности титана и сплавов и может быть использовано при очистке поверхности от окалины, удалении газонасыщенного слоя, химическом фрезеровании и т.п. в процессе производства различных полуфабрикатов.
Известны составы растворов типа смесей в различных концентрациях сер,ной и плавиковой кислот или солей плавиковой кислоты, предназначенные для травления титана и его сплавов, например раствор состава: 20% H SO4 (230 г/л при d=1,84 г/см ); 2-4В NH4F . (20-40 г/л) . Травление титана и его сплавов в подобных растворах осуществляется в одну стадию йутем погружения изделия в ванну с травильным раствором. Если скорость травления резко снижается, травильный раствор корректируется. После нескольких корректировок раствор направляется на регенерацию или на нейтрализацию,. Травление титана и его сплавов этим способом характеризуется тем, что после погружения металла в травильный раствор происходит активация и потенциал металла смещается в область значений
400 — 500 мВ (н.в.э.). При этом 30 происходит растворение титана в виде трехвалентных ионов Ti (III)Hl. Однако так как травильный раствор соприкасается с воздухом, в растворе обязательно присутствует растворенный кислород воздуха, который окисляет ионы Ti (III) до Ti (IV) . Это приводит к появлению и накоплению в растворе титанил-ионов Ti.(IV) которые являются
I сильнейшими пассиваторами титана и его сплавов.уже при небольшом содержании титанил-ионов Ti(IV) в растворе титан не активируется, остается в пассивном состоянии и практически не растворяется. Для воэможности дальнейшего травления раствор необходимо укреплять или регенерировать. Это приводит к снижению производительности травления, увеличению расхода реагентов и удорожанию процесса травления.
Целью изобретения является повышение производительности травления.
Поставленная цель, достигается тем, что титан и его сплавы предварительно подвергают кратковременной активации в том же растворе.
Активацию проводят погружением в свежеприготовленный раствор на 3060 с.
897895
Сос тав рас твора предлагаемом (б химической активацией) изв естном (без активавации) 0,003:
21,0 (0,001
20,65
23,35
23,40 (0,001 (0,001 (1,17
20,50
Содержание ионов (Ti ) не .менее 0,60 г/л.
Активацию проводят путем кратковременного контакта с протектором из углеродистой стали, Активацию проводят потенциостатическим наложением потенциала 200400 мВ (по нормальной водородной шка,ле) .
Активацию проводят гальваностатической поляризацией катодным током с плотностью 0,5-1,2 A/äì .
Активация мОжет осуществляться как химическим, так и электрохимическим способами, Химическая активация заключается в кратковременном (до 1 мин) погруже= ния титана и его сплавов в свежеприготовленный рас твор при температуре
15 работы основной ванны травления.
После активации титан и его сплавы переносятся в основную ванну травления, где подвергаются полному травлению.
В табл. 1 и 2 указана скорость травления титана и его сплавов по известному и предлагаемому способам.
Из табл. 1 и 2 видно, что скорость травления титана и его сплавов пос- 25 ле химической активации высокая.
Электрохимическая активация может проводиться тремя различными способами. Во всех случаях электрохимическая активация проводится в основ- 3Ц ной ванне травления. Электрохимическая активация может осуществляться путем контакта титана и его сплавов с протектором из углеродистой стали в течение < 10 мин. Электрохимичес- 35 кая активация может осуществляться также путем потенциостатического наложения на титан и его сплавы потенциала, равного (-200) — (-400) мВ (по нормальной водородной шкале), 40% Н $04+ 1 00 г/л (Ti )
40% Н $04+ 2,75 г/л (Ti )
40Ъ Н $04+ 5 5 г/л (Т1 1
40Ъ H>SO<+ 9,9 г/л (Т1 4 ) ОЪ Н $04+ Сработанный раст» зор с суммарным содержанием ионов ТР> и Ti 26 г/л" или путем гальваностатической поляризации титана и его сплавов катодным током плотностью 0,5-1,2 A/äì . В обоих случаях продолжительность активации не превышает 10 мин. Эффективность подобной активации представлена в табл. 3.
Установлено, что при травлении титана и сплавов титана по предлагаемому способу наводораживание не превышает значений, получаемых при травлении по известному способу.
Осуществлено травление сплава
OT-4 после отжига 30 мин при 800 С.
Производится обработка в щелочном расплаве в ванне состава 80%
NaOH и 20В NANO при 450 С. Затем травление в сработанном растворе
20% Н gS04 (230 г/л при /=1, 84 г/см) +
+ 2-4% NH F (20-40 г/л) + 3,35 г/л (Ti ) и (Т1 4 j, причем содержание (Ti+ ) не менее 8 r/ä при 60 С с предварительной химической активацией 60 с. Бремя травления 2 ч. Осветляют поверхность 15 с в растворе состава 2 )Н4 +10 HNO np 40 C. Cmмарная потеря металла составляет
230 мкм.
Как следует из приведенных данных первоначальная активность позволяет осуществлять эффективное травление титана и его сплавов в травильных растворах, содержащих 1,0-20 г/л ионов Tiff) . Предварительная активация позволяет не только осуществлять травление с высокой скоростью титана и его сплавов в травильных растворах со значительным содержанием ионов Ti(IV) но и уменьшить число корректировок. Раствор при этом корректируют после каждых 1920 ч работы, т.е. в 2-3 раза реже.
Таблица 1
Скорость растворения ВТ I -0 при способе травления, г/M1 ч
897895
Таблица 2
Сплав
Состав раствора
Скорость растворения прн способе травления, г/м ч известном (без активации) Предлагаемом (с химической активацией) 15Ъ Н БО
0,22
28 0
0,001
77,0
2% ЯН Г +
+ 90 г/л (Ti > ) 0
53,8 и (Ti+4 ) ф
Содержание ионов (Ti " ) в растворе не менее 3,0 г/л.
Т а б л и ц а 3
Способ электрохимической активации
Состав раствора
Скорость растворения
BTI-0 при способе травления, г/м1 ч известном предлагае(без акти- МОм (c aicвации) тивацией) Контактирование с протектором Сработанный растиз углеродистой стали. Ст.З при соотношении поверхностей
soP 1 5Ъ H SO4+
2% NH4F + 90 г/л (Ti ) + (Ti ) (Т1 4 )
3 г/л
ST> S = 4:1 в течение . стали
10 мин
IO, 22
27,10
Н БО4+10. г/л, (» l
Н БО4+15 г/л (Tz. )
H SO4+20 r/ë (Т1 4 ) Потенциостатическое наложе- 40% ние потенциала 0,2  — 0,4 В 40% (0,001
4 О,О01
1 ; 08001
40Ъ в течение 10 мин
H S 01+10 r/л (Ti )
H SO4+ 15 г/л (Ti ) Гальваностатическая поляри- 40% зация катодным током плот- 403
Г. костью 0,5-1,2 A/äì в течение
15,5
19,4
<О,001
<0,001
1 мин+
«С увеличением времени гальваностатической поляризации эффект травления возрастает ° травления, .титан н его сплавы предgQ варительно подвергают кратковременной активации в том же-растворе.
2. Способ по п. 1, о т л и ч аю шийся тем, что активацию проводят погружением в свежеприготовленный раствор на 30-60 с.
Формула изобретения
1. Способ травления титана и его сплавов в растворах на основе серной кислоты или серной и плавиковой кислот или солей плавиковой кислоты, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности
ВТ2 -0
OT-4
BT-14
27,8
28,1
31,9
897895
Составитель Л.Голубева
Техред А, Савка
Корректор Г.Решетник
Редактор И.Митровка
Заказ 11883/39 Тираж 1048 .
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений,и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб.,д.4/5
Подписное
3. Способ по и. 1, о т л и ч а юшийся тем, что активацию проводят путем кратковременного контакта с протектором из углеродистой стали.
4. Способ по п. 1 о, т л и ч а ю шийся тем, что активацию проводят потенциостатическим наложением потенциала 200-400 мВ (по нормальной водородной шкале).
5. Способ по п. 1, о т л и ч а юшийся тем, что активацию проводят гальваностатической поляризацией катодным током плотностью 0,51,2 А/д 1.
5 Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
1. Кушакевич С.A. и Канина 3.К.
Травление титана. Цветные металлы
1965, Р 12, с. 86-89.