Способ изготовления трафарета для ориентации ферритовых сердечников

Способ изготовления трафарета для ориентации ферритовых сердечников

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П И С А Н И Е 898501

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советскик

Социапистичесиин

Респубиии (6l) Дополнительное к авт. свид-вуэ (22)Заявлено27.05.80 (21) 29З1095/18 24 (Ы ) М. Кл.

G 11 G 5/02 с присоединением заявки М (23) ПриоритетГоеударетааеыб квинтет

СССР аа делан изебретеннй и атнрнтвй (53) УЮК681.827..66 (088.8) Опубликовано 15.01.82. Бюллетень М 2

Дата опубликования описания 15.01,82

П, Г. Василенко и П. П. Мягконосов (72) Авторы изобретения (73) Заявитель (54} СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТРАФАРЕТА ДЛЯ ОРИЕНТАЦИИ

ФЕРРИТОВЫХ СЕРДЕЧНИКОВ

Изобретение относится к вычислитель- ной технике, в частности к изготовлению устройств дпя формирования матриц из ферри товых сердечников.

Известен способ изготовления трафаретов ориентации ферритовых сердечников, 5 эаключаюшийся в том, что на ппастине иэ светочувствительного стекла формируют контактную маску нз фоторезиста, в которой вскрыты сквозные окна" в местах распопожения ориентируюших отверстий

1О будушего трафарета. Пластину экспонируют в потоке интенсивного ультрафиолетового излучения. При этом в результате взаимодействия излучения с материалом

tS пластины в объеме пластины под сквозными окнами" контактной фотореэистив ной маски возникают центры кристаллизации. Путем последуюшей термообработки при 500-600 С в течение 1,5-2 ч в экспонированных объемах пластины формируется кристаппизованная фаза стекла.

В неэкспонированных объемах кристап« пизованная фаза отсутствует. При последуюшем травлении термообработанной пластины в 10-15%-ном растворе ппавиковой кислоты в течение 20-50 мин формируют сквозные отверстия постоянного сечения по высоте пластины, используя разницу скоростей травления экспонированных и неэкспонированных объемов пластины из светочувствительного стекла (1) .

Недостатком известного способа явля» ется невысокая механическая прочность изготавливаемых с его помошью трафаре- тов с высокой плотностью расположения ориентируюших отверстий иэ-за того, что ширина перемычек между соседними отверстиями трафарета остается постоянной по топшнне ппастины, Кроме того, способ требует проведения операций по созданию и удалению контактной фоторезистивной маски, что успожняет технопогический процесс изготовления трафарета.

Наиболее близким техническим решением к изобретению является способ иэгоI товпения трафарета дпя ориентации ферритовых сердечников, закпючаюшийся в том, 898501 что пластину из светочувствитепьного материала, например светочувствительного стекла, экспонируют с обеих сторон в потоке ультрафиолетового света через предварительно совмещенные фотощаблоны пазов, предназначенных для ориентации ферритовых сердечников и каналов вакуумной фиксации, расположенных в центрах пазов и соединяющих полости пазов с противоположной стороной пластины. Са О отношение экспозиций через фотошабпон пазов и каналов выбирают таким образом, чтобы после операции проявления термообработкой при травлении пластины в

10-15%-ном растворе плавиковой кислоты пазы для ориентации сердечников и каналы для вакуумной фиксации формировались одновременно (2 .

Недостатком известного способа является возможность разрушения тонких перемычек между соседними ориентируюшими отверстиями при рассовмещении ри, сунка каналов и пазов, что снижает дол1 говечность трафарета.

Бель изобретения — упрощение техноло-д гическаго процесса изготовления и повышения надежности изготовления трафарета.

Поставленная цепь достигается тем, . что согласно способу изготовления трафарета для ориентации ферритовых сердечников, заключающегося в экспонировании пластины из светочувствительного стекла через фотошаблон с прозрачными участками с образованием в пластине областей кристаллизации, проявлении экспонирован35 ного изображения термообработкой и травпении пазов и каналов в пластине из светочувствительного стекла, при экспонировании пластины из светочувствительного стекла в ней образуют области кристаллизации различной плотности.

На фиг. 1 изображен фотошаблон 1, представляющий собой стеклянную пластину прозрачную для ультрафиолетового света, на поверхности которой фотолитографией сформированы расположенные в мат45 ричном порядке прозрачные области 2, окруженные частично прозрачными дпя ультрафиолетового света областями 3, разделенными полностью непрозрачными для ультрафиолетового света областями 4. о

На фиг. 2 изображена схема экспонирования пластины 5 из светочувствительного ст кла через фотошаблон 1 °

На фиг. 3 — экспонированная пластина 5 после операции термообработки. Обпасти 6 имеют большую степень кристаллизации по сравнению с областями 7.

На фнг. 4 изображено сечение фрагмента трафарета, содержащего пазы 8 для сердечников, каналы 9, вакуумной фиксации.

Фотошаблон 1, представляющий собой стандартную плоскопараллепьную стеклянную пластину, на поверхности которой фотолитографическим способом сформирована матричная система прозрачных областей 2, окруженных частично прозрачными для ультрафиолетового света областями

3, разделенных полностью непрозрачными областями 4 (фиг. 1 ), устанавливают над пластной 5 (фиг. 2) из светочувствительного стекла и экспонируют ее с одной стороны через фотошаблон 1.

В результате облучения пластины ульттрафиолетовым светом происходит образование центров кристаллизации в гех ее областях, которые расположены под участками 2 и 3 фотошаблона, В областях пластины-, расположенных под непрозрачными участками 4 фотошаблона, центры кристаллизации не образуются. Плотность центров кристаллизации пропорциональна экспозиции пластины и в областях пластины, расположенных под прозрачными участками 2 фотошаблона 1, преР вышает экспозицию пластины в областях, расположенных под частично прозрачными для ультрафиолетового света областями

3 фотошаблона. Далее проявляют экспонированное изображение путем высокотемпературной обработки пластины при 500600 С в течение 1,5-2 ч. При этом происходит образование кристаллизованной фазы вокруг центров кристаллизации.

Степень кристаллизации пластины определяется плотностью центров кристаллизации и в областях 6 пластины 5 (фиг. 3 ) она выше,чем в областях 7.

Поскольку скорость травления экспонированной и термообработанной пластины находится в прямой зависимости от степени кристаллизации, то при последующей обработке пластины в 10-15%-ном растворе плавиковой кислоты скорость вытравливания пластины в областях 6 выше, чем в областях 7 в 5-20 раз в зависимости от степени прозрачности областей 3 фотошаблона, соответствующих па- . зам будущего трафарета. Поэтому сквозные каналы 9 и ориентирующие пазы 8 формируются при травлении пластины одновременно.

Предложенный способ позволяет создавать трафареты в более толстой пластине светочувствительного стекла, чем

8985 фиг.8 /игЯ

ВНИИПИ Заказ 1 1958/69 Тираж 623 Подписное

Филиал ППП Патент", г. Ужгород. ул. Проектная, 4 обеспечивается высокая механическая прочность трафарета.

При этом не требуется проведения операции двустороннего совмещения фотошаблонов пазов и каналов. При совмещении из-за влияния толщины пластины светочувствительного стекла неизбежны погрешности совмещения, в результате чего при плотной упаковке пазов и каналов возможны смещения прозрачных областей 10 каналов на непрозрачные области перемычек и их разрушение в процессе травления.

Кроме того, предложенный способ позволяет создавать в пластине из светочув- S ствнтельного стекла, твердость и прозрачность которого сравнима с твердостью феррита, лазы, профиль которых ловтояет форму кольцевых ферритовых сердечников.

Для этого достаточно использовать при 20 экспонировании фотошаблон, у которого от границы прозрачной области, соответ ствуюшей каналу, к границе полностью непрозрачной области, соответствующей перемычке, ло. плошади каждого паза on- 25 тическая плотность меняется ступенчато

01 4 с требуемой дискретностью или меняется ло квадратичной зависимости ф орму ла изобретения

Способ изготовления трафарета для ориентации ферритовых сердечников, заключающийся в экспонировании пластины из светочувствительного стекла через фо тошаблон с прозрачными участками с образованием в пластине областей кристаллизации, проявлении экспонированного. изображения термообработкой и травпении пазов и каналов в пластине, о т и и ч а ю ш и и с я тем, что, с цепью упрощения технологического процесса изготов пения и повышения надежности изготовления трафарета,> при экспонировании ппас тины из светочувствительного стекла в ней образуют области кристаллизации разпичной плотности.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

No 702409, кл. G 11 (Э 5/02, 1978.

2. Авторское свидетельство СССР по заявке M 2744709/18-24, G 11 С 5/02, 1979 (прототип)