Способ измерения давления в отпаянных вакуумных конденсаторах

Способ измерения давления в отпаянных вакуумных конденсаторах

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

(72) Авторы изобретеиия

В.О.Пахомов, Н.С.Куззминов и В.П.ВаВ н 1 °

В в

1 (71} Заявитель (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ДАВЛЕНИЯ В ОТПАЯННЦХ

ВАКУУМНЫХ КОНДЕНСАТОРАХ

Изобретение относится к производству электровакуумных приборов и может быть использовано для измерения давления остаточных газов в вакуумных конденсаторах выключателях и пере- .

Э

5 ключателях.

Известен способ определения давления в отпаянных электроаакуумных приборах, основанный на том, что прибор помещают в магнитное поле и к электродам прикладывают электрический потенциал, а о давлении в приборе судят по величине ионного тока (1).

Однако во время измерения в резуль1$ тате откачивающего действия манометрической схемы значительно изменяется давление в приборе.

Известен способ измерения давления s отпаянных вакуумных конденсаторах, включающий определение давле" ния по амплитуде разрядного -тока, возникаЮщего в скрещенных магнитом и электрическом полях, при подаче на

2 электроды конденсатора импульса высокого напряжения 2).

Использование укаэанных способов для измерения давления остаточных газов в вакуумных конденсаторах, выключателях и переключателях при давлении ниже 10 тор, практически невозможно, а при давлениях порядка

10 - 2 ° 1(Г тор связано с болыаими погрешностями, что объясняется трудностью возбуждения разряда в высоком вакууме, а также влиянием токов автоэлектронной эмиссии, утечки и других, не связанных с давлением.

Известные способы возбуждения разряда в высоком вакууме, например использование трансформатора Тесла или введение вспомогательного подогрев ного катода, для вакуумных коденсаторов мало эффективны или вообще неприемлемы. Так трансформатор Тесла возбуждает разряд локально эа счет десорбции газа с внутренней поверхности оболочки изделия, а не в ва898537 куумном зазоре, введение вспомогательного катода связано с изменением конструкции приборов и может привести к снижению их надежности.

Целью изобретения является расширение предела измерений в сторону низких давлений и повышение точности измерений, Поставленная цель достигается тем, что согласно способу измерения давления в отпаянных вакуумных конденсаторах, включающему Определение давления по амплитуде разрядного тока, возникающего в скрещенных магнитном и электрическом полях, при подаче на электроды конденсатора импульса высокого напряжения, увеличивают давление в конденсаторах путем их выдержки при максимальной рабочей температуре и по экспериментальной зависимости давления от температуры судят о давлении в конденсаторах при заданной температуре.

На фиг. 1 приведена градуировочная зависимость разрядного тока вакуум- 2$ ного конденсатора типа КП1-3 емкостью

15-30 пф от давления в нем; на фиг.2— семейство градуировочных зависимостей давления от температуры и графически показана методика определения давле- др ния в конденсаторе.

Способ измерения давления заключается в следующем.

Прибор вместе с соленоидом помещают в камеру тепла и выдерживают в ней при максимальной рабочей температуре, причем градиент температуры направляют в рабочую зону межэлектродного зазора для повышения стабильности возбуждения разряда. При этом в течение некоторого времени (0,51 ч) за счет десорбции адсорбированных газов с поверхности электродов и оболочки приборов давление в них повышается и достигает какого-то определенного для каждого прибора значения. После этого в скрещенных магнитном и электрическом полях у приборов измеряют разрядный ток и по градуировочной зависимости разрядно- 50 го тока от давления (фиг. 1), снимаемой R каждого THfl8 приборов, oflpe вселяют давление в них. Затем, пользуясь семейством градуировочных зависимостей давления от температуры, снятых также для каждого типа приборов (фиг. 2), определяют давление в них при заданной температуре.

Повышение давления в приборах перед измерением разрядного тока путем их выдержки при максимальной рабочей температуре позволяет улучшить условия ионизации остаточных газов за счет чего увеличивается амплитуда разрядного тока, что, е свою очередь, приводит к повышению точности измерений, а использование семейства градуировочных зависимостей давления от температуры позволяет оценить давление при низких температурах, в том числе и давление, измерение которого при температуре, например, +20 С неосуществимо известными споО собами, т. е. расширит ь предел измере ний в сторону низких давлений. формула изобретения

Способ измерения давления в отпаянных вакуумных конденсаторах, включающий определение давления по ампли туде разрядного тока, возникающего в скрещенных магнитном и электрическом полях, при подаче на электроды конденсатора импульса высокого напряжения, отличающийся тем, что, с целью расширения предела измерений в сторону низких давлений и повышения точности измерений, увеличивают давление в конденсаторах путем их выдержки при максимальной рабочей температуре, до момента окончания повь шения давления, определяют давление при этой температуре и по экспериментальной зависимости давления от температуры судят о давлении в конденсаторах при заданной температуре.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

Минкин A.M. Измерение вакуума в отпаянных передающих телевизионных трубках "Электронная техника",сер.4, вып. 2 ° 1970, с. 80-86.

2. Авторское свидетельство СССР

8 641539, кл. Н 01 J 9/42, 1979, (прототип).

898537

Jp Q5

Р7ар

Редактор М. Петрова

Ф

Заказ 11961/71 Тираж 757 Под пи сное

8НИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва,Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент",г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Рз С (0

Составитель В. Авдоаин

Техред А. Дц Корректор Л. Шеньо