Установка для напыления изделий из синтетической двуокиси кремния

Установка для напыления изделий из синтетической двуокиси кремния

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советсиик

Социапистическик

Республик

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Опубликовано 23.01.82. Бюллетень № 3

Дата опубликования описания 25. О1. 82 (5 t ) M. Кл.

03 С 3/06

)ЬВ7яарствеиный комитет

СССР ао делам изобретений н открытий (53) УДК 666.189 (088.8) (72) Авторы изобретения

Петр И. Стефаненко, Павел М. Стефаненко, Б В. ПойеФуи -;

Г.И. Сипаков, В.Д. Иартыиов и И.Г. К д коик,, >

ТГД f ) ., тв

ИЬЛИ 1Т ;,, I (7E ) заявители (54) УСТАНОВКА ДЛЯ НАПЫЛЕНИЯ ИЗДЕЛИЙ ИЗ СИНТЕТИЧЕСКОЙ

ДВУОКИСИ КРЕМНИЯ

Изобретение относится к устройствам для иэготовлено1:; методом напыления иэделий из синтетической двуокиси кремния и может найти применение на предприятиях по производству полупроводников.

Известна установка для напыления труб из синтетической двуокиси кремния, включающая раму, которая установлена на тележке с возможностью

10 перемещения в горизонтальной плоскости, вал для крепления оправы и горелок-распылителей, которые смонтированы с возможностью перемещения в вертикальной плоскости на штоке Г1 1.

Недостатком известной установки является то, что у нее возвратно-поступательное движение штока с горелками-распылителями в вертикальной плоскости осуществляется сложным для обслуживания кулачково-рычажным механизмом, требующим частого ремонта.

При приготовлении изделия сферической формы горелки-распылители, перемещаясь возвратно-поступательно в вертикальной плоскости параллельно оси вращения оправы иэделия, находятся на различных расстояниях от образующей оправы изделия: в нижнем положении — на оптимальном расстоянии, в верхнем положении — в несколько раз больше.

При нахождении горелок-распылителей в верхнем положении получается большой разброс напыленных материалов, s результате чего увеличивается время напыления изделия и повышается расход напыляемых материалов.

Цель изобретения - сокращение расхода материалов напыления и увеличения производительности процесса.

Эта цель достигается тем, что горелки-распылители снабжены устройством для перемещения их параллельно образующей оправы-формы изделия, а подъемник снабжен пневмоприводом.

Причем устройство для перемещения горелок-распылителей параллельно 39504 образующей оправы-формы изделия может быть выполнено в виде направляющей линейки с направляющим роликом, штанги, пружины с упором и отклоняю-i щего Г, образного рычага с отклоняющим роликом.

На чертеже представлена установка для напыления изделий из синтетической двуокиси кремния.

Установка состоит из стойки 1, 10 стойки 2 с направляющей линейкой 3, цилиндра пневматического подъемника

4, штока 5 пневматического подъемника, кронштейна 6, пластины 7, пластины 8, закрепленной к кронштейну 6, д стойки горелок-распылителей 9, оси

10, пружины 11 возврата, регулирующего сухаря 12, штанги 13 горелок-распылителей, горелок-распылителей 14, трубопроводов 15 подачи материалов о распыления, пружины 16, упора l7 пружины, направляющего ролика 18, штанги 19 рычага отклонения, рычага 20 отклонения горелок-распылителей, подвижных регулирующих сухарей И

21, ролика 22 отклонения, направляющего ролика 23, электропривода 24, редуктора 25 вала 26, оправы формы 27 для напыления изделия, стержня 28, закрепленного шарнирно к пластине др

8 и проходящего через отверстие в пластине 7.

Для изготовления изделия из синтетической,„вуокиси кремния методом напыления оправку-форму 27 вращают со скоростью околс 75 об/мин, а горелки-распылители перемещают возвратно-поступательно в вертикальной плоскости с переменной скоростью до

2 м/мин.

46

Регулирование скорости перемещения горелок распылителей производится автоматически специальным устройством (не показано).

Установка работает следующим образом.

Первым в работу включается электропривод 24, который через редуктор

25 и вал 26 сообщает оправе-форме 27 вращательное движение. Затем в нижнюю часть цилиндра пневматического подъемника 4 подается воздух, который перемещает шток 5 вверх. Одновременно со штоком 5 вверх перемещается кронштейн 6, стойка горелокраспылителей 9 вместе со штангами .13, горелками-распылителями 14 и рычагом 20. ф

Для возможности перемещения горелок-распылителей параллельно образующим оправы-формы изделия 27 к стойке 2 закреплена направляющая 3, которая имеет профиль аналогичный про1 филю образующей оправы-формы 27. На штанге 13 закреплен ролик 18 и пружина 16, которая размещена между сухариком 12 и упором 17. штанга 13 в сухарике 12 имеет не жесткое крепление. При движении штока 5 вверх, вместе с кронштейном 6 движется вверх и штанга 19, жестко закрепленная к оси 10, а с ней стойка 9, штанга 13 с горелками-распылителями

15. Пружина 16, все время действуя на упор 17, прижимает ролик 18 к направляющей 3, благодаря чему горелки-распылители 14 во время подъема и опускания перемещаются параллельно образующим оправам-формам 27.

Затем в трубопроводы 15 подаются продукты напыления при сгорании которых на выходе из горелок-распылителей 14 образуется двуокись кремния и напыляется на оправы-формы 27

J образуя заготовки иэделия 29, которые после остекловывания превращаются в кварцевое иэделие.

Для возможности напыления двуокиси кремния на верхнюю часть оправ-форм

27 на штанге 19 закреплен сухариком

21 рычаг 20 отклонения горелок-распылителей с загнутым концом в нижней части.

При перемещении вверх штока 5 с кронштейном 6 и штангой 19 вместе с ними перемещается вверх и рычаг 20 отклонения. Загнутый конец рычага 20, дойдя до ролика 22, поворачивает на оси l0 со стойкой горелок-распылителей 9, штангами 13 и горелками-распылителями 14. Наклоняя. под оправамиформами 27 горелки-распылители 14, напыляют двуокись кремния на верхнюю часть оправ-форм 27, образуя донышко в заготовках изделий 29.

При наклоне штанги 19, закрепленной жестко на оси 10, поворачивается ось 10, а вместе с ней закрепленная жестко пластина 7, которая сжимает пружину 11. Затем воздух подается в верхнюю часть цилиндра пневмоподъемника 4 и шток 5 подъемника опускается вниз, перемещая горелкираспылители 14 сверху вниз параллельно образующим оправ-форм 27. При выходе изогнутого конца рычага 20 от899504 клонения из зацепления с роликом 22 отклонения пружина 11 разжимается, воздействуя на пластину 7, поворачивает ось 10, а вместе с ней штангу 19, штанги 13 горелок-распылите- 5 лей> и горелки-распылители 14 в горизонтальное положение.

Возвратно-поступательное движение горелок-распылителей 14 в вертикальной плоскости продолжается до тех пор, пока не будет напылена тре" буемая толщина изделия. После этого производится остановка установки в следующей последовательности.

Прекращают подачу продуктов напыления в трубопроводы 15. Прекращают подачу воздуха в цилиндр пневмоподъемника и выключают электропри, вод 24. После остывания изготовленные изделия 29 снимают из оправ-форм 20

27 и направляют на остекловывание, а установку включают для напыления новых изделий.

Устройство ведения горелок-распылителей 14 по образующим оправ-форм 2S

27, состоящее из штанги 13, пружины

16 с упором 17 направляющего ролика 18, закрепленного с возможностью перемещения его по штанге 13 и направляющей 3, позволяет без измене- 36 ния конструкции установки устанавливать оптимальное расстояние между горелками-распылителями 14 и оправами-формами 27 любого размера и дает возможность при любом технологичес- у ком процессе добиваться минимального расхода дорогостоящих продуктов напыления на единицу продукции.

Узел наклона горелок, состоящий иэ оси 10, пластины 7, пружины 11, щ штанги 19 с загнутым концом в нижней части и ролика 22 отклонения, позволяет производить напыление верх ей части изделия без потерь продуктов напыления. 4S

Работающая установка имеет три оправы-формы . На каждую оправу-форму напыление производится двумя горелками-распылителями.

Применение пневматического подьемника позволяет производить плавный подъем и опускание горелок-распылителей при их возвратно-поступательном перемещении в вертикальной плоскости, а перемещение горелокраспылителей параллельно образующим оправам-формам изделий на оптимальном расстоянии от оправ-форм и наклон горелок-распылителей в верхней части иэделия позволяют сократить время напыления изделия, уменьшить расход, дорогостоящйх продуктов напыления (водород, кислород, трихлорсилан) на 24 и получить экономический эффект только на одном предприятии до 100 тыс.руб. в год.

Формула изобретения

Установка для напыления изделий из синтетической двуокиси кремния, включающая горелки-распылители, установленные на подъемнике с возможностью возвратно-поступательного перемещения в вертикальной плоскости и узел вращения оправы-Формы иэделия, отличающаяся тем, что, с целью сокращения расхода материалов напыления и увеличения производительности процесса, горелки-распылители снабжены устройством для перемещения их параллельно образующей оправы-формы изделия, а подъемник снабжен пневмоприводом.

2. Установка по п.1, о т л и ч аю щ а я с я тем, что устройство для перемещения горелок-распылителей параллельно образующей оправы-формы иэделия выполнено в виде направляющей линейки с направляющим роликом, штанги, пружины с упором и отклоняющего Г-образного рычага с отклоняющим роликом.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

N 361988, кл. С 03 С 3/06, 1971.

Составитель О. Самохина

Редактор Н. Данкулич Техред. M.Ãåðãåëü Корректор A. Дэятко

Заказ 12046/27 Тираж 506 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5 филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4