Устройство для изготовления фотоэлектронных приборов

Устройство для изготовления фотоэлектронных приборов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕTHlbCÒÂÓ (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 07.03.80 (21) 2891638/18-21 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (51) М. Кл.

Н 01 J 9/12

Н 01 J 31/50

Государственный комлтет

Опубликовано 23.01.82. Бюллетень №3

Дата опубликования описания 28.01.82 (53) УДК 621.385 (088.8) по делам нэобретений н открытий

Б. П. Андреев, Н. И. Воронин и Г. Г. Константинов

1 !

)

l (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) УСТРОИСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОТОЭЛЕКТРОННЫХ

ПРИБОРОВ

Изобретение относится к области электровакуумного производства, в частности к оборудованию для изготовления фотоэлектронных приборов (ФЭП).

Известно устройство для изготовления

ФЭП, содержащее вакуумную рабочую камеру, внутри которой смонтирована неподвижная камера формирования с соосно размещенными в ней обрабатываемыми заготовкой фотокатода и корпусом ФЭП, снабженными уплотнительными элементами. Камера формирования снабжена подвижной перегородкой с отверстием и автивировочным узлом, которая разделяет обрабатываемые части фотоэлектронного прибора. Вакуумноплотное сочлен ние узла фотокатода с корпусом прибора осуществляется запрессовкой через индиевую прокладку (1).

Недостатками этого устройства являются низкая надежность герметизации оболочки

ФЭП, невысокая производительность, вызванная однопозиционностью устройства, кроме того, отсутствует возможность изготовления фотоэлектронных приборов, отдельные части которых по технологии обрабатывают в обособленных отсеках (например фотоэлектронные умножители с микроканальными пластинами).

Известно также устройство для изготовления электронно-оптических приборов (ЭОП), содержащее вакуумную камеру с отсеком активации, в котором расположены держатель заготовки фотокатода и активировочный узел и отсеком герметизации с расположенным в нем подвижным держателем корпуса ЭОП с механизмом перемещения и механизм переноса заготовок, который выполнен в виде двух расположенных друг над другом соосных и синхронно вращающихся каруселях. Герметизация прибора осуществлялась в результате соединения уплотнительных элементов (2) .

Недостатком данного устройства является низкое качество приборов и недостаточная эксплуатационная надежность устройства, вызванная наличием в высоковакуумной камере двух вводов вращения каруселей.

Цель изобретения — повышение качества изготовления фотоэлектронных приборов и эксплуатационной надежности устройства.

900343 закрепленный на шарнирном параллелограм-ЭЮ

Подвижный держатель 6 снабжен откачным гнездом 11 с одной стороны вакуумно40 плотно сочлененным при помощи штенгеля

12 с корпусом 7 прибора, а с другой стороны он вакуумноплотно сочленен при помощи гибкого шланга 13 с дополнительным электроразрядным вакуумным насосом 14.

Указанная цель достигается тем, что в устройстве, содержащем вакуумную камеру с отсеком активации, в котором расположены держатель заготовки фотокатода и активировочный узел, и отсеком герметизации

ФЭП с расположенными в нем подвижным держателем корпуса ФЭП с механизмом перемещения, и механизм переноса заготовки, отсек герметизации ФЭП снабжен коаксиально расположенными наружным и внутренним колпаками, прозрачными для лучей лазера, размещенными соосно держателю корпуса ФЭП, который снабжен автономной системой вакуумной откачки и установлен с возможностью перемещения во внутренний колпак, при этом вакуумная камера установлена с возможностью вращения относительно оси держателя ФЭП. Кроме того, механизм перемещения держателя корпуса ФЭП выполнен в виде шарнирного параллелограмма, размещенного в сильфоне.

На чертеже показана предлагаемая установка в продольном сечении, общий вид.

Установка содержит горизонтально расположенную вакуумную камеру 1, в заднюю стенку которой встроен управляемый извне механизм 2 переноса заготовки фотокатода

3. Этот механизм с сильфонной герметизацией и оснащен электромагнитным захватом.

К одному нижнему фланцу камеры I пристыкованы отсек герметизации, а к другому— активировочный узел 5. Отсек 4 и активировочный узел 5 разнесены на определенные расстояния друг от друга и являются технологическими позициями изготовления фотоэлектронного прибора. В отсеке 4 размещен подвижный держатель 6 корпуса 7 обрабатываемого фотоэлектронного прибора, ме 8 с приводом 9. Шарнирный параллелограмм 8 и привод 9 находятся вне вакуумной зоны камеры и отделены от нее сильфоном 10

К верхнему фланцу 15 камеры 1 вакуумплотно пристыкован наружный стеклянный колпак 16, оснащенный внутренним стеклянным колпаком 17, продолжающим объем отсека герметизации, прозрачными для лучей лазера и смонтированными соосно подвижному держателю 6. Назначение внутреннего стеклянного колпака 17 — экранировка наружного стеклянного колпака от испарения и всплесков свариваемых в вакууме металлических кромок частей фотоэлектронного прибора.

Активировочный узел 5 содержит стеклянный цилиндр 18, на верхний торец которого устанавливается подлежащая обработ40

1S го

2S

j0 ке заготовка фотокатода 3. Внутренняя полость цилиндра 18, обособленная от основного объема камеры 1, а также объем камеры 1 соединены вакуумопроводом 19 с основным электроразрядным насосом 20. В активировочном узле 5 проводится один из основных технологических процессов — формирование на стеклянной подложке фотокатода прибора. На фланце 21 активировочного узла 5 размещены испарители 22, токовводы 23, датчики. Имеется система разогрева 24 и охлаждения 25, смонтированная на правом боковом фланце 26 камеры 1 и вверху окно 27 для подсветки. Слева камера 1 снабжена смотровым окном 28. Камера

1 вместе с отсеком 4, насосами 14, 20 смонтирована на шарикоподшипниковых опорах

29 поворотного стола 30, расположенного в атмосфере. При этом ось вращения опоры 29 совмещена с геометрической осью 0 — 0 обрабатываемого фотоэлектронного прибора.

На верхнем торце внутреннего стеклянного колпака 17 установлена пружина 31, взаимодействующая с узлом фотокатода 3 при его подъеме в зону колпака на позицию лазерной сварки прибора. Слева от стеклянного колпака 16 размещен неподвижно источник 32 лазерного излучения.

Установка работает следующим образом.

Заготовка фотокатода 3 устанавливается на верхний торец стеклянного цилиндра 18, а корпус 7 обрабатываемого прибора при помощи штенгеля 12 вакуумноплотно соединяют с откачным гнездом 11 и закрепляют в подвижном держателе 6. При этом держатель 6 находится в нижнем исходном положении (на чертеже показано штрих-пунктиром), а механизм 2 переноса находится в среднем промежуточном положении. Затем камеру 1 вместе с активировочным узлом 5 и вакуумопроводом 19 сочленяют по ее нижнему фланцу с отсеком 4 и с насосом 20.

После откачки и обезгаживания камеры 1, отсека 4 и активировочного узла 5 производится формирование фотокатода путем нанесения компонентов на заготовку фотокатода 3 и активирование ее. Готовый фотокатод 3 при помощи механизма 2 переноса, оснащенного электромагнитным захватом (заготовка фотокатода имеет коваровое кольцо), поднимается над торцом стеклянного цилиндра 18 и переносится в зону расположения отсека 4 (на позчцию сборки) до совмещения с осью 0 — 0 прибора, где сочленяется с корпусом 7 фотоэлектронного прибора, установленного в держателе 6.

Держатель 6 вместе с собранными частями прибора (узлом фотокатода 3 и корпусом 7 прибора) при помощи механизма шарнирного параллелограмма 8, управляемого извне приводом 9, поднимается вверх в зону внутреннего стеклянного колпака 17, на позицию лазерной заварки. Здесь узел фотокатода 3 поджимается пружиной 31 к корпусу 7 прибора.

900343

Луч лазера от неподвижного источника

Выделяющиеся при лазерной сварке газы откачиваются основным насосом 20 (камерная откачка) и дополнительным насосом

14 (штенгельная откачка) через штенгель 12, откачное гнездо 11 и гибкий шланг 13, поддерживая давление внутри прибора на уровне 5 10 9 — 10 8 мм рт. ст. После окончания сварки насос 20 выключается, нижний фланец камеры 1 снимается с фланца отсека 4, а обработанный прибор вынимается из камеры путем перекусывания металлического штенгеля 12. го

Использование предлагаемого устройства позволит повысить надежность и долговечность ФЭП за счет герметизации корпуса лазерной сваркой и возможностью визуального контроля за ее качеством.

Исключение герметичных . выводов вращательного движения повысит эксплуатационную надежность устройства. зо

31 фокусируется через стеклянные колпаки

16 и 17 на свариваемые металлические кромки прибора, включается вращение поворотного стола 30, размещенного в атмосфере, и происходит автоматическая вакуумоплотная сварка в импульсном режиме.

Для получения вакуумноплотного шва достаточно повернуть стол 30 (а значит и обрабатываемый прибор) на один оборот вокруг геометрической оси 0 — 0 со скоростью

-20 мм/мин. При повороте стола 30 на один

1О оборот, поворачиваются также камера 1 и насосы 14, 20, смонтированные на его подвижной платформе.

Формула изобретения .Устройство для изготовления фотоэлектронных приборов, содержащее вакуумную камеру с отсеком активации, в котором расположены держатель заготовки фотокатода и активировочный узел, и отсеком герметизации фотоэлектронного прибора с расположенными в нем подвижным держателем корпуса фотоэлектронного прибора с механизмом перемещения, и механизм переноса заготовки, отличающееся тем, что, с целью повышения качества изготовления фотоэлектронных приборов и эксплуатационной надежности устройства, отсек герметизации фотоэлектронного прибора снабжен коаксиально расположенными наружным и внутренним колпаками, прозрачными для лучей лазера, размещенными соосно держателю корпуса фотоэлектронного прибора, который снабжен автономной системой вакуумной откачки и установлен с возможностью перемещения во внутренний колпак, при этом вакуумная камера установлена с возможностью вращения относительно оси держателя фотоэлектронного прибора.

2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что механизм перемещения держателя корпуса фотоэлектронного прибора выполнен в виде шарнирного параллелограмма, размещен Ho го в сил ьфоне.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР № 696557, кл. Н 01 J 9/12, Н 01 J 31/50, 1977.

2. Авторское свидетельство СССР

Юо 476621, кл. H Ol J 9/12, 1972.

900343

Составитель В. Псаломщиков

Редактор В. Иванова Техред А. Бойкас Корректор Г. Решетник

Заказ 12192/69 Тираж 757 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4