Способ изготовления электродной системы газоразрядной индикаторной панели переменного тока

Способ изготовления электродной системы газоразрядной индикаторной панели переменного тока

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик ()900344 (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 27.05.80 (21) 2931164/18-21 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (51) М.К .

Н 01 J 17/48

Н 01 J 17/49

Государствеииый комитет

Опубликовано 23.01.82. Бюллетень №3

Дата опубликования описания 28.01.82 (53) УДК 621.387 (088.8) ло делан изобретений и открытий

В. П. Евдокимов, А. Е. Митрофанов, Л. Г. Сосновская и Л. С. Харитонова (72) Авторы изобретения

/ (71) Заявитель

Изобретение относится к области электронной техники и может быть использовано при изготовлении газоразрядных индикаторных панелей (ГИП);

Известны способы изготовления электродной системы ГИП, электроды которых изготовляются из различных металлов — золота или алюминия (1).

Недостатком данного способа являются использование дефицитного дорогостоящего материала — золота или высокое сопротивление электродов (в случае алюминия); наличие обрывов электродов из-за недостаточной адгезии пленки золота к стеклянной подложке или возможности окисления электродов при термообработке во время формирования изоляционного слоя.

Известен также способ изготовления электродной системы ГИП переменного тока путем нанесения на пластину с электродами изоляционного покрытия из легкоплавкого стекла и термической обработки при

500 †6 С (2).

Однако верхний слой хрома часто разрушается при изготовлении фотолитографическим способом.

Кроме того, пленка хрома не защищает медную основу электрода от окисления при формировании изоляционного слоя.

Цель изобретения — защита электродов от коррозии при термических обработках.

Указанная цель достигается тем, что согласно способу изготовления электродной системы газоразрядной индикаторной панели переменного тока, заключающемуся в нанесении на пластину с электродами изоля1о ционного покрытия из легкоплавкого стекла и термической обработке при 500 †6 С, перед нанесением изоляционного слоя из легкоплавкого стекла на электродную систему наносят слой окиси магния тол щи ной

0,15 — 0,5 мкм методом реакционного термического испарения в плазме.

На диэлектрическое основание, например стекло наносят пленочные электроды или электроды из неблагородного металла, например меди, которые наносят трафаретной

2о печатью, и контактные площадки.

На электродную систему методом реакционного термического испарения в плазме наносят защитный слой окиси магния, а за(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОДНОЙ СИСТЕМЫ

ГАЗОРАЗРЯДНОЙ ИНДИКАТОРНОЙ ПАНЕЛИ ПЕРЕМЕННОГО

ТОКА

900344 тем изоляционный слой легкоплавкого стекл а и проводят термообработку. Далее на пластину может быть нанесено стабилизирующее покрытие из окиси магния. Прибор собирают из двух электродных пластин, располагая при этом электроды ортогонально, герметизируют с помощью стеклокристаллического цемента при 400 — 500 С, а затем откачивают с прогревом прибора при 300-400 С.

На фиг. 1 приведен пример изготовления панели.

На стеклянную подложку 1 путем термовакуумного напыления наносят сплошную пленку 2 меди толщиной 3 — 4 мкм. Фотохимическим методом вытравливают электроды шириной 800 — 100 мкм. На конец каждого электрода методом трафаретной печати наносят составную контактную площадку 3.

Далее на электродную систему с контактной площадкой наносят (методом реакционного термического испарения в плазме) защитный слой 4 окиси магния толщиной 0,15-0,5мм.

Затем методом трафаретной печати наносят изоляционный слой 5 легкоплавного стекла, который оплавляют при 500 — 600 С.

Последним наносят дополнительный слой 6 из окиси магния. Проведено обследование защитных свойств покрытия из пленки окиси магния; изоляционого покрытия из легкоплавкого стекла и двухслойного покрытия окись магния — изоляционный слой.

Результаты показали, что первые два покрытия, каждое в отдельности, не защищают электроды от коррозии. Двухслойное покрытие защищает электроды от окисления при термообработке.

3а критерий оценки защитных свойств было выбрано сопротивление электродов, измеренное при различных температурах и выдержках обработки.

На фиг. 2 представлены зависимости сопротивления электродов от температуры обработки: 1 — использован изоляционный слой только из легкоплавкого стекла толщиной 40 мкм. Электроды окислялись в интервале 200 — 250 С; 2 — использовано покрытие только из окиси магния, окисление электродов происходит в интервале 500 — 550 С; 3— использовано двухслойное покрытие. Сопротивление не изменялось во всем исследуемом диапазоне температур до 600 С.

Предлагаемый способ изготовления элект-.

1О родной системы дает возможность использования в качестве материала электрода— медь, имеющую высокую электропроводность заменяется дифицитный материал — золото, следовательно снижается себестоимость способа.

1S

Формула изобретения

Способ изготовления электродной системы газоразрядной индикаторной панели переменного тока путем нанесения на пласти ну с электродами изоляционного покрытия из легкоплавкого стекла и термической обработки при 500 — 600 С, отличающийся тем, что, с целью защиты электродов от коррозии при термических обработках, перед нанесением изоляционного слоя легкоплавного стекла на электродную систему наносят слой окиси магния толщиной 0,15 — 0,5 мкм методом реакционного термического испарения в плазме. зе Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Бердичевский А. М. и Лакомкина Т.Н.

Индикаторные помехи за рубежом.— Обзоры по электронной технике. Серия 4. «Элект33 ровакуумные и газоразрядные приборы», М, ЦНИИ «Электроника», 1975.

2. Патент США № 3804609, кл. 65 — 59, опублик. 1974.

900344 тЕМПЕРаМУР 7, C фиг. Z

Составитель В. Александров

Редактор В. Иванова Техред А. Бойкас Корректор О. Билак

Заказ 12! 92 69 Т1ираж 757 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и от крытий

113035, Москва, )К вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4