Способ изготовления фольговых резисторов

Способ изготовления фольговых резисторов

Реферат

Способ изготовления фольговых резисторов, включающий соединение металлической фольги с подложкой, нанесение маски на металлическую фольгу и ее травление через маску потоком ионов при напряжении потока ионов 1 2 кВ и плотности потока ионов 0,5 - 5 мА/см² в течение 2 ч, отличающийся тем, что, с целью повышения стабильности параметров и снижения температурного коэффициента сопротивления, после операции травления металлической фольги через маску осуществляют дополнительную обработку металлической фольги потоком ионов с напряжением потока ионов 3 - 6 кВ и плотностью потока ионов 6 - 10 мА/см² в течение 1 - 6 ч.