Вакуумная установка

Вакуумная установка

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советскик

Соцмалистическмк

Республик

ri»901356 (6! ) Дополнительное к авт. свмд-ву— (22) Заявлено 25.01.80 (21) 2874182/18-21 (51)М. Кд.

С 23 С 13/10 с ирисоелмнеимем заявки 1тв

9шуларствевй кемктвт

CCCP ю аелам взевретвввВ н вткумтвв (23) Приоритет

Олублмковано 30.01 82. Бюллетень М 4

Дата омублмкованмя олмсанмя 30.01. 82. (53} УДК621. 793.

° 14.002.52 (088.8) (72) Автор изобретения

В.A.Ëîìîâöåâ (71) Заявитель (54) ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано для загрузки и выгрузки изделий в вакуумных установках со шлюзовыми системами и устройствами нанесения покрытий.

Известна вакуумная установка, содержащая шлюзовую камеру и корпус с размещенными в нем подложкодержателями, закрепленными на карусели с воэможностью герметизации в шлюзовой камере (1) .

В установке ненадежная система откачки шлюзовой камеры относительно карусели с подложкодержателями.

Наиболее близкой к предлагаемой по технической сущности является вакуумная установка, содержащая корпус с размещенными в нем цилиндрическими подложкодержателями, эакрепленныьет на карусели, фланец, расположенный между одним из цилиндрических подложкодержателей и основанием корпуса и кинематически соединенный

2 со штоком возвратно-поступательного перемещения и, откачной патрубок (21 .

Недостатком этого устройства яв.ляется обязательное наличие в шлюзовой камере или в системе его откачки клапана, имекщего отдельный, например, электромагнитный привод, на который необходимо подавать управляющий сигнал (команду) после герметизации шлюза для откачки и снимать этот сигнал перед разгерметизацией шлюза для загрузки-выгрузки изделий.

Это снижает надежность работы

15 установки, так как в случае отсутствия управляющего сигнала или выхода иэ строя привода клапана давление в шлюзовой камере не будет понижено до необходимого уровня и при соединении с корпусом резко повысит давление в нем, что приведет к браку при обработке изделий.

Цель изобретения — повышение надежности рабаты установки.

901356

1S

ЭО

ß0

4S

S0

Указанная цель достигается reM, что вакуумная установка, содержащая корпус с размещенными в нем цилиндрическими подложкодержателями, закрепленными на карусели, фланец, расположенный между одним из цилиндрических подложкодержателей и основанием корпуса и кинематически соединенный со штоком возвратно-поступательного перемещения, и откачной патрубок, снабжена сильфоном и пруяинами, размещенными коаксиально фланцу, выполненному V-образной формы, закрепленными на откачном патрубке и фланце, н двумя параллельными клапанами, жестко закрепленными на штоке, один из которых расположен в полости фланца, а другой - в полости откачного патрубка, причем в основаниях фланца и корпуса выполнены отверстия, соосные оси штока.

В установке управление откачной шлюзовой камеры осуществляется двумя параллельными клапанами, жестко закрепленными на штоке. При этом отпадает необходимость в отдельном приводе клапанов, что повышает надежность работы установки.

На фиг. 1 изображена установка при загрузке-выгрузке изделий; нафиг. 2 — то же, после. окончания загрузки изделий.

Установка содержит корпус 1 с крышкой 2, на которой размещена крышка 3 шлюза. На карусели 4, расположенной в корпусе 1, установлены на пружинах 5 цилиндрические подложкодержатели 6, которые могут герметизировать шлюз при помощи фланца 7

XJ-образной формы и прокладок 8 и 9. На днище корпуса l герметично закреплен откачной натрубок 10. В откачном патрубке 10 посредством сильфона 11 установлен фланец 7.

Для подъема фланца 7 в откачном патрубке 10 смонтированы пружины 12.

Через центральные отверстия фланца

7 и откачного патрубка 10 проходит шток 13 привода, на котором закреппены два параллельных клапана

14 и 15.

Установка работает следующим образом.

Для загрузки-выгрузки изделий шток 13 перемещается вверх и фланец

7 под действием пружин !2 поднимает цилиндрический подложкодержатель

6 и герметизирует при помощи прокладок 8 и 9 отверстие в крышке 2, при этом в верхнем крайнем положении штока 13 клапан 15 перекрывает отверстие в откачном патрубке 10 и прекращает откачку, шлюза. Затем напус" кается воздух и крышка 3 шлюза открывается. После загрузки-выгрузки изделий крышка 3 шлюза закрывается и подается сигнал (команда) на опускание штока 13, при этом скорость перемещения штока 13 и скорость откачки шлюза выбираются так, чтобы при перекрытии клапаном. 14 отверстия во фланце 7 давление снизилось до уровня, при котором возможно шлюзование.

Продолжая движение, шток 13 через клапан 14 перемещает фланец 7 в крайнее нижнее положение, а цилиндрический подложкодержатель 6 под действием пружин 5 устанавливается на карусель 4, которая поворачивается и устанавливает под отверстием в крышке 2 цилиндрический подложкодержатель 6 с изделием, прошедшим обработку. Затем цикл шлюзования повторяется.

Надежность работы предлагаемого устройства выше, так как в его конструкции отсутствует отдельный привод клапана, коммутирующего систему откачки шлюза, а следовательно, и количество сигналов команц в системе управления меньше.

Формула и з обр е т ения

Вакуумная установка, содержащая корпус с размещенными в нем цилиндрическими подложкодержателями, закрепленными на карусели, фланец, расположенный между одним из цилиндрических подложкодержателей и основанием корпуса и кинематически соединенный со штоком возвратно-поступательного перемещения, и откачной патрубок, о т л и ч а ю щ а я— с я тем, что, с целью повышения надежности работы установки, она снабжена снльфоиом и пружинами, размещенными коаксиально фланцу, выполненному U --образной форьы, закрепленными на откачном патрубке и фланце, и двумя параллельными клапанами, жестко закрепленными на штоке, один иэ которых расположен в. полости фланца, а другой в полости откачного патрубка, причем в основаниях флан901356

1 Авторское свидетельство СССР

1 = 60э845, кл. С 23 С 13/00, 1972.

2. Патент Швейцарии 9 573985, 23 Q 13/08 19 7 i поотзтил1.

ВНИИПИ Заказ 12309/27 Тираж 1048 Подписное

Филиал ППП "Патент", г, Ужгород, ул. Проектная,- ца и корпуса выполнены Отвеостнн, соосиые оси штока.

Источники информации, принятые во внимание пон экспер.пзе

2 11!":;

:. („ - (1 i

Е

5 t л l i i; --"! 1 / . 7 и !

Э

-з