Высоковакуумный маслоуловитель диффузионного насоса

Высоковакуумный маслоуловитель диффузионного насоса

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

< 907316

Ф

-Ф (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 09.07.80 (21) 2958481/25-06 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (51) М. Кл, з

F 04 F 9/06

Государственный комлтетт

СССР ло делан нзобретеннй н открытий

Опубликовано 23.02.82. Бюллетень № 7

Дата опубликования описания 28.02.82 (53) УДК 621.527..1 (088.8) (72) Авторы изобретения

Ю. П. Степанов и И. Ф. Шмелев (71) Заявитель (54) ВЫСОКОВАКУУМНЫИ МАСЛОУЛОВИТЕЛЬ

ДИФФУЗИОННОГО НАСОСА

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к устройству маслоуловителей диффузионных вакуумных насосов.

Известен высоковакуумный маслоуловитель диффузионного насоса, содержащий охлаждаемый корпус с расположенным в нем испарителем титана (1) .

Однако устройство имеет недостаточную эффективность улавливания обратного потока паров рабочей жидкости из насоса.

Цель изобретения — предотвращение обратного потока паров рабочей жидкости из насоса.

Указанная цель достигается тем, что испаритель выполнен в виде тигля и установленной в нем с возможностью перемещения

15 вдоль оси диафрагмы с центральным отверстием, и над тиглем соосно с диафрагмой расположен выпуклый отражатель, снабженный нагревателем. При этом отражатель имеет диаметр, не превышающий диаметра испарителя. 20

На чертеже представлен маслоуловитель, разрез.

Высоковакуумный маслоуловитель диффузионного насоса 1 содержит охлаждаемый корпус 2 с расположенным в нем испарителем титана, причем испаритель выполнен в виде тигля 3 и установленный в нем с возможностью перемещения вдоль осп диафрагмы 4 с центральным отверстием 5.

Над тиглем 3 соосно с диафрагмой 4 расположен выпуклый отражатель 6, снабмкенный нагревателем 7 и имеющий диаметр, не превышающий диаметра испарителя.

Маслоуловитель работает следующим образом.

При включении испарителя образуется молекулярный поток титана, формируемый отверстием 5 диафрагмы 4, который направляется на выпуклый отражатель 6. Температура отражателя 6 поддерживается нагревателем 7 на уровне, при котором все атомы титана волкоггью отражаются от него.

Форма отражателя 6 дает возможность сформировать из отраженного молекулярного потока титана преграду для обратного потока паров рабочей жидкости из диффузионного насоса.

Кроме того, за счет диффузии откачпваемого газа в поток испаряемого вещества и создания титановой пленки на охлаждае907316

Формула изобретения

Выход

РхОд

Роды

Составитель В. Кряковкин

Редактор А. Шишкина Техред А. Бойкас Корректор Н. Степ

Заказ 554 46 Тираж 671 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4 мой поверхности, увеличивается и быстрота действия откачной системы.

1. Высоковакуумный маслоуловитель диффузионного насоса, содержащий охлаждаемый корпус с расположенным в нем испарителем титана, отличающийся тем, что, с целью предотвращения обратного потока паров рабочей жидкости из насоса, испаритель выполнен в виде тигля и установленной в нем с возможностью перемещения вдоль оси диафрагмы с центральным отверстием, и над тиглем ссосно с диафрагмой расположен выпуклый отражатель, снабженный нагревателем.

2. Маслоуловитель по п. 1, отличающийся тем, что отражатель имеет диаметр, не превышающий диаметра испарителя.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР № 166994, кл. F 04 F9/06,,1963.