Узел подложкодержателя

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

3. (72) Авторы изобретения

В. П. Гончар, А. Ф. Хнхлач и И. П. Немиров (71) Заявитель (54) УЗЕЛ ПОДЛОЖКОДЕРЖАТЕЛЯ. Изобретение относится к электронной технике и может быть испольэовано при производстве резисторов.

Известно устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее кассеты со стержневыми подложкодержателя5 ми, установленными с возможностью вращения (1) .

Недостатками устройства является низкая производительность и надежность работы.

Бель изобретения — повышение производительности и надежности узла в работе.

Поставленная пель достигается тем, что в узле подложкодержателя, содержащем кассеты со стержнями, установленными с возможностью вращательного перемещения, кассета выполнена в виде .двух параллельных пластин, в одной иэ которых выполнены отверстия, причем одни концы стержней жестко закреплены-на одной пластине, а другие свобод но размещены в отверстиях другой пластины.

Привод вращения стрежней выполнен в виде эксцентрикового механизма.

На фиг. 1 изображено устройство, общий вид; на фиг. 2 -. сечение А-А на фиг. 1 (диск - водило в.плане); на фиг. 3 - сечение Б-Б на фиг. 2 (экспентриковый валик с фиксатором спицы) °

Устройство содержит вакуумную ка-, меру 1, кассету 2 с верхней пластиной 3 и нижней пластиной 4, экспентриковые валики 5, стержни 6 с буртом 7, керамические трубки (подложки) 8, направляющие отверстия 9, приводной кривошипный вал 10, диск - водило 11, испарители 12, токоподводы 13, атмосферный клапан 14, вакуумную систему 15, прижимную пружину 16 и винт 17.

Устройство работает следующим образом.

Стержни 6, снабженные буртом 7 с загруженными керамическими трубками 8, подлежащими покрытию токопроводящим слоем, вставляют в гнезда - фиксаторы ексцентриковых валиков 5, расположенных в верхйей пластине 3 группами по окружности, где в центре каждой группы расположен испаритель 12. Стержни 6 с керамическими трубками 8 всталяются верхним концом в гнездо - фиксатор эксцентриковых валиков 5 и прижимаются пружиной 16, а нижний конец спицы всталяется в наппавляюшие отверстия 9 нижней пластины 4.

После полной загрузки кассеты 2 колпак вакуумной камеры 1 опускают и включают вакуумную систему 15.

По достижении высокого вакуума включают вращение приводного кривошипного вала 10. Приводной вал в свою очередь посредством кривошипа сообщает вращательное колебание" в горизонтальной плоскости диску — водилу 11, который через ексцентриковые валики 5 с равными эксцентриситетами с приводным валом 10. осуществляет вращение одновременно всех загруженных стержней 6. Затем на испарители 12 подают напряжение от токоподводов 13 для испарения токопроводяшего слоя, После обработки керамических трубок 8 отклю;чают вакуумную систему 15 и откры:вают атмосферный клапан 14, поднимают колпак вакуумной камеры 1 и производят, разгрузку.

После очередной загрузки стержней 6 пикл нанесения токопроводящего слоя повторяется. Винт 17 служит для крепления и регулировки усилия пружины 16, служащей для защемления загруженных стержней 6.

Каждая группа ексцентриковых валиков 5, окружающих испаритель, образует

10839 4 своеобразную кассету. Так как эксцентриковые валики дают возможность уменьшить межосевое расстояние, то можно при небольших габаритах установок увеличить количество обрабатываемых подложек. Кроме того, верхнее крепление стержней позволяет избежать их раскачивания что также позволяет уменьшить расстояйие между стержнями, увеличить

lO количество подложек, загружаемых на стержни, и повысить надежность работы установки за счет уменьшения амплитуды колебания стержня.

Формула изобретения

1. Узел подложкодержателя, содержащий кассеты со стержнями, установ1а ленными с возможностью вращательного перемещения, отличающийся тем, что, с целью повьпнения производительности и надежности узла в работе, кассета выполнена в виде двух па2S раллельных пластин, в одной иэ которых выполнены отверстия, причем одни концы стержней жестко закреплены на одной пластине, а другие свободно размещены в отверстиях другой пластины.

2.Уэелноп, 1, отличаю шийся тем, что привод вращения стержней выполнен в виде эксцентрикового механизма.

3$

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1, Блинов И, Г. и др. Вакуумное оборудование для нанесения тонких пленок. М., Электроника", 1969, с. 96- 107 (прототип).