Легкоплавкое стекло

Легкоплавкое стекло

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП ИСАНИЙ

ИЗОВРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

С еюз Советеник

Сециаяие тически в рееву баии

< ii91 2696 (61) Дополннтельное к авт. свнд-ву (22)Заявленоy3 07.80 (21) 2938030/29-33 (5t)M. Кл.

С 03 С 3/10

С 03 С 3/12 с присоединением заявки,ява

1ввударстимны11 квмктвт

СССР

N NNM пэобратеиий в аткрыткЯ (23) Прнорнтет

Опубликовано 15. 03. 82. Бюллетень М10 (53) УД,К, бб6.112. . 4 (088. 8) Ката опубликования описання 17.03. 82

Б. В. Тарасов, Э; Н. Каплина, Т. Н. Полов и A. И. Каменев (72) Авторы изобретения

Государственный научно-исследовательски стекла (7l) Заявнтель (54) ЛЕГКОПЛАВКОЕ СТЕКЛО

Изобретение относится к составам легкоплавких стекол, которые могут быть использованы в качестве изоли,-. рующих, монолитиэирующих, герметизирующих и других покрытий в полупроводниковой и радиоэлектронной проьвюаленностях.

Известно стекло 11) следующего -химического состава, вес.Ж:

РЬО 49" 61

SiO2 25-35

ZnO 1,57

Л1в.0 0 5"2

Мав0 1"5, К20 1-7 .СиО 0 5 4

Недостатком этого стекла является низкое,удельное объемное сопротивление которое не превышает порядка

10" Ом см, вследствие присутствия в составе щелочных окислов. Указан" ное стекло относится к легкоплавким составам, т.е. его температура оплавления не превышает 600 С.

2.

Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности и достигаемому результату является стекло 1, 2).. применяемое для спаивания полупроводниковых элементов, содержащее следующие компоненты, вес.ь:

PbO 10-70

В О 5-15 в1%03 . 1 10

SiOy. 1-10

А1 0 С30

TiO 0,4-4

Недостатками стекла являются низ". кое удельнов объемное сопротивление ф (не выше 10 Ом см), высокая температура оплавления (свыше 700 C), что не позволяет отнести это стекло к легкоплавким.

Цель изобретения - обеспечение объемного сопротивления не ниже

10 " Ом см.

Эта цель достигается тем, что стекло, включающее РЬО, В 0, В1 0, Ы02, A1@g дополнительно содержит

В качестве сырьевых материалов для варки стекла используют окись свинца, окись висмута, борную кислоту, окись кремния, окись алюминия, окись олова, окись лантана. Сырьевые материалы должны быть маркировки ч и хч. Варку стекла осуществляют в тигельной печи при 350-1050 С, выработку при 490-520 С.

Предлагаемое стекло может быть широко использовано в радиоэлектро" нике для создания плат, резисторов высокой точности, конденсаторов, фоль. говых резисторов на термостойких основаниях. В полупроводниковой промышленности предлагаемое стекло может широко использоваться для создания изолирующих герметизирующих покрытий, прецизионных делителей напря" жений для высокоточных цифро-аналоговых приборов. Вследствие достаточной химической устойчивости и высокого удельного объемного сопротивления стекло может наноситься электрофорезом.Оно может широко использоваться в фотолито-. графии.Ожидаемая. экономическая эффективность от внедрения предлагаемого легкоплавкого стекла во ВНИИЭП для производства фольговых резисторов и прецизионных делителей напряжения составляет соответственно 175 и

482 тыс. руб.

Таблица1

Состав стекла

1 ) Г ) Компоненты

68,2

65, 0 67,0

8,.0 16, 0

74,5

66 74

700 6

19 5 11

2 5

0,5 2

15,98 11,41 16

12,85

Si0

10,0

3,5

0 5

1,5

3,5

0,5

SnO

1.,О, 48 15 06

2 5

113

02 . 05

0,02

0,09

0,05

1,0

3 91269 пОд и а О, при .следующем соотношении указанных компонентов, sec,Ф:

PbO 65-75

В О 6-16

В1аоз 11-20 5

SiOy 1-10

Al 0 0,5-3,5

ЯпОа 0 5-5 QO3 0,02-1

Присутствие в составе стекла SnO Ю в указанном количестве повышает удель ное объемное сопротивление, так как модифицирует сетку стекла, способст- ° вуя более плотной упаковке. Связывая кислородные связи борокислородных группировок, SnOg повышает изоляционные свойства. Кроме того, SnOg предотвращает восстановление PbO u тем самым стабилизирует электрические характеристики стекла во времени. щ

Введение SnOy в стекло также положительно сказывается на повышении химической устойчивости стекла и снижении налетоопасности поверхности Г23.

23

Присутствие в составе стекла La<0 повышает удельное объемное сопротив ление стекла и снижает тангенс угла диэлектрических потерь. Кроме того, введение Ia Og в указанном количест-, ве в данный состав стекла, улучшает оптические свойства и повышает его химическую устойчивость, что в свою очередь улучшает электрические свойства стекла во времени и дает возможность при нанесении стекла на подложку использовать электрофорез.

6 ф

В табл. 1 представлены составы предлагаемых стекол.

В табл. 2 представлены физико-хи-. мические свойства стекол.

912696

Таблица2

ФЗЭФей 3

Состав

1 ) (Г Г

Свойства стекла

Удельное объемное со щотивление 10 Ом см

Диэлектрическая проницаемость

8,5 - 8,1

9,5 10

520 ". 520 . 500 500 490 490

° ЮЮ

Температура оплавления, С

Формула изобретения

11-20

1-10

0,5-3 5

О, 5" 5

0,02"1

Составитель С. Кузнецов

Редактор И. Иитровка Техред T. Маточка Корректор С Шекмар

Заказ 1303/32 Тираж 507 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035 Москва Ж-35 Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Легкоплавкое стекло, включающее

PbO Ве0 ВВОЗ, $ С А) 0 о т - го л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью обеспечения удельного объемного сопротивления не ниже 10 Ом-см, оно

1Ъ

;дополнительно содержит SnO@ и Op при следующем соотношении компонентов, вес.Ж:

Pb0 65-75

Во, 6-16

Вь О

SiO<

Al>0

SnOa. &03

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе.

1. Авторское свидетельство СССР и 550350, кл. С 03 С 3/10, 1977.

2. Патент Японии М 49-31238, кл. 2IA296, опублик. 1974.