Способ определения типа проводимости вырожденных полупроводниковых материалов
Патент 913793
Авторы
Классы МПК
Способ определения типа проводимости вырожденных полупроводниковых материалов
Реферат
1. Способ определения типа проводимости вырожденных полупроводниковых материалов, преимущественно с различными эффективными массами электронов и дырок, основанный на сравнении параметров, измеренных на исследуемом материале и эталоне, отличающийся тем, что, с целью упрощения и обеспечения бесконтактного определения типа проводимости приповерхностных слоев, в качестве эталона используют невырожденный полупроводниковый материал, образец и эталон освещают поляризованным светом с длиной волны, не превышающей длины волны красной границы поглощения кр.эт эталона, плавно перестраивают длины волн и находят наименее отстоящие друг от друга и от кр.эт значения длин волн 1 и 2, для которых равны значения эллипсометрического параметра образца и эталона, в интервале длин волн 1-2 снимают и сравнивают зависимости параметров образца л и эталона o от длины волны и определяют тип проводимости по знаку разности () = л-o:() < 0 - n-тип, () 0 - p-тип.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что параметры л и o измеряют на одной длине волны, лежащей в интервале 2 1.