Зондовая головка
Иллюстрации
Реферат
ОПИСАНИЙ
ИЗОВРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советсинк
Социалистические
Рвсттубттни
<и>917363 (61) Доволиительиое к авт. свид-ву (22) Заявлено 05.05.80 (21) 2921665/18" 21 (51) М. Кл. с грисоедииеииею заявки МН 05 К 1/18
С .01 В 1106
9Вударстеаае3 «емвтат
COCP ао делан взебретеей
g открытки (23}йриоритетОвубликоваио30.03 82. Бюллетень J% 12 (53) УДК 621. 315..684(088Л) Дата опубликования описания 30.03.82 (72) Авторы изобретения
Л.А.Серопян и О.A.×àë. (7!) Заявитель (543 ЗОНДОВАЯ ГОЛОВКА
Изобретение относится к производству изделий электронной техники и предназначено для зондового контро- . ля и измерения параметров микроэлек.тронных приборов на пластине.
Известны зондовые головки, в которых зонды выполнены с несколькими коленообразными изгибами и расположе. ны на плоских пружинах, размещенных в пазах корпуса и служащих для регулирования зондов по высоте, а неконтактирующие концы зондов, выступающие в виде упоров, связаны ключом с неподвижными упорами корпуса для регулирования зондов по плоскости 513 .
1: Данная конструкция зонда обеспе.чивает контактирование с площадкой лишь в одной точке, что не позволяет повысить точность измерения из-за влияния переходного -сопротивления.
Использование подобных зондов по два на каждую контактную площадку увеличивает габариты устройства вширь и неприемлемо пои многоконтактных (на2 пример, при числе площадок, равном 48) структурах.
Наиболее близкой по технической сущности к предлагаемой является зондовая .головка в установке для поэлементной лазерной подгонки резистивных матриц, содержащая корпус, зонды, каждый из которых выполнен в виде пары изогнутых контактов, рас1О положенных один над другим, и механизм фиксации зондов, включающий кронштейн, связанный с помощью пружин с узлом юстировки контактов. Свободные концы контактов заострены и
15 сорентированы нв одну контактную площадку. Контакты изолированы один от другого C2).
Недостатком устройства является низкая надежность контактирования.
Контакты ориентируются один относител ь но. дру гого при сбор ке и в слу чае необходимости при эксплуатации не могут быть доюстированы, т.е. универсальность устройства HpgocTRToчна.
3 9173
Цель изобретения - повышение универсальности устройства и надежности контактирования.
Указ анная цел ь дости гает ся тем, что в эондовой головке, содержащей корпус,. зонды, каждый иэ которых выполнен в виде пары изогнутых контактов, и механизм фиксации зондов, один иэ контактов пары снабжен диэлектрической трубкой, размещенной 10 на нем с возможностью осевого перемещения, а каждый контакт расположен в У-образном пазу, выполненном .в корпусе.
На фиr.1 изображена эондовая го- 1
1 ловка, разрез; на фиг.2 - то же, вид сверху; на фиг.3 - разрез A-A на фиг.1; на фиг.4 - разрез Б-Б на фи г. 1.
Зондовая головка содержит зонды 1 в виде пары изогнутых заостренных
20 контактов, размещенных в диэлектрических трубках 2, и расположенных в
У-образных пазах корпуса 3 и основания 4.
Корпус 3 выполнен из пружинного материала и благодаря вырезам и встроенному в него винту 5 образует узел качания вокруг горизонтальной оси - упругого шарнира 6. Верхней частью корпус 3 прижат к кольцу 7 с
Зо помощ ью ви нт а 8.
Контакты зондов 1 выполнены с двумя изгибами и, кроме заострения в конечной части, сужены в горизонтальной плоскости от места задела до ост-З5 рия. У-образные пазы в корпусе 3 и основании 4 выполнены сходящимися на некотором расстоянии, соответствующем местоположению остриев контактов таким образом, что в нерабочем положении острия касаются друг друга.
На один из контактов насажена с возможностью осевого перемещения диэлектрическая, Например фторопластовая, трубка 9, которая в своей перед- 5 ней части может быть вырезана для прилегания к плоским участкам контакта по большим поверхностям.
Наладка зонда осуществляется следующим образом. Манипулированием 50 задним изгибом контактов острия контактов совмещают друг с другом, затем фиксируют их в таком положении с
63 4 помощью винта 10, и полость между У-образными лазами и контактами эа" полняют компаундом. Трубка 9 при этом снята.
Работа с зондом осуществляется следующим образом.
При ослабленном винте 8 с помощью съемного манипулятора зонд перемещают вдоль и поворачивают вокруг оси винта 8, затем фиксируют с его помощью. Поворотом винта 5 устанавливают положение остриев контактов в вертикальном направлении.
Продольным смещением трубки 9 вдоль одного из контактов острия раздвигаются. Таким образом можно устанавливать в каждом отдельном случае оптимальное для каждой контактной площадки расстояние между остриями, что повышает надежность контактирования.
Кроме того, предлагаемая конструкция обеспечивает относительно большой диапазон регулирования расстояния между остриями (от 0 до 1 мм), Это позволяет каждый контакт испольэовать в качестве отдельного зонда, что при применении в блоке зондовых о головок с одиночными контактами значительно уменьшает габариты устройства и упрощает процесс юстирования.
Формула изобретения
Зондовая головка, содержащая корпус, зонды, каждый из которых выполнен в виде пары изогнутых контактов, и механизм фиксации зондов, о т л ичающаяся тем, что, сцелью повышения у ни версал ьности устрой ст ва и надежности контактирования, один из контактов пары снабжен диэлектрической трубкой, размещенной на нем с возможност ью осевого перемещения, а . каждый контакт расположен в У-образном пазу, выполненном в корпусе, Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
1. Авторское. свидетельство СССР
h 364049, кл..Н 01 L 21/66, 1971.
2. Установка для поэлементной лазерной подгонки резистивных матриц
ЦАП и АЦП Ф1 У 26.579 (прототип) °
9173б3
А-А
Составитель Л. Прокопенко
Редактор B.Ïèëèïåíêo Техред Т.Маточка Корректор Н. Стец
Заказ 1915/78 Тираж 856 Подписное
ВНИИ!ПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, N-35, Раушская наб., д.4/5
Филиал ППП "Патент", г.ужгород, ул.Проектная, 4