Устройство для ориентации подложек

Устройство для ориентации подложек

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП ИСАЙИ Е

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ, СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Сеюз Севетсиии

Социалистические

Республик

<и>917365. (61) Дополнительное к авт. свид-ву(22) Заявлено 29.05. 80(2I ) 2933361/18-21 с присоединением заявки,%— (23) Приоритет "

Опубликовано 30.03 ° 82 Бюллетень ¹ 12

Дата опубликования описания 30 .03 . 82 (5! )М. Кл.

Н 05 К 3/00

Н 01 (21/66

Гееударотееиимй комитет

СССР ао делам иеебретеиий и открытий (53 ) УД К 621. 396.. 6-181. 48 (088.8) (S4) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОРИЕНТАЦИИ ПОДЛОЖЕК

Изобретение относится к технологи. ческому оборудованию для ориентации, .„ подложек при изготовлении ИС и может быть использовано в прецизионных координатных столах.

Известно устройство ориентации, которое содержит основание, координатый стол, установленный на основании, и механизм ориентации коордйнатного стола, закрепленного на платформе. Механизм ориентации выполнен

1о в виде магнитострикционных движителей, которые попарно установлены с, двух сторон стола перпендикулярно друг другу. Одним концом они жестко

I5 закреплены на основании, а другим упираются в координатный стол 513, Недостатком данного устройства является то, что оно потребляет большие величины токов, вызывающие дополнительные температурные деформации элементов конструкции стола. Кроме этого, оно.имеет небольшие поля перемещений.

Известно устройство ориентации, содержащее платформу, координатный стол, установленный на платформе посредством упругих пластин, и механизм ориентации координатного стола, который выполнен.в виде пьезокерамических пластин t 2 1.

Недостатком известного устройства является то, что у него небольшие поля перемещения„ кроме этого, биморфные пьезокерамические пластины развивают незначительные усилия.

Вся конструкция является упругой системой, которая не позволяет получать большие точности перемещения.

Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является устройство для ориентации подложек, которое содержит основание, координатный стол и механизм ориентации координатного стола. Координатный стол установлен на основании посредством упругих пластин, один конец которых жестко закреплен на основании, 3 9173 а другой - на столе, Механизм ориентации выполнен в виде пьезокерами,ческой пластины, в центре которой перпендикулярно к ее плоскости уста" новлен упор, взаимодействующий со столом, причем пьезокерамическая пластина подсоединена к выходу усилителя постоянного тока t3 1 °

Недостатком устройства является потребление больших величин напряже" щ ний, что уменьшает точность переме. щения за счет остаточных деформаций ат нагрева. Данная конструкция не может обеспечить перемещение стола по линейным и угловым координатам.в одной плоскости.

Цель изобретения - повышение точ/ ности ориентации.

Указанная цель достигается тем, что в устройстве.для ориентации подложек, содержащем координатный стол, установленный на основании на упругих опорных элементах., и пьезоэлектрические вибраторы для перемещения коор.динатного стола, пьезоэлектрические д вибраторы установлены попарно с двух смежных сторон координатного стола, причем каждый пьезоэлектрический вибратор жестко закреплен @дним концом на основании с обра4ованием зазора между своим торцом и координатным столом, выполнен в виде набора пьезокерамических секций и снабжен концентратором колебаний, установленным на свободном конце пьезоэлектрического

5 вибратора.

На фиг. 1 изображено,.устройство, общий вид; на фиг.2 - та же, вид сверху; на фиг.3 - конструкция пьезоэлектрического вибратора.

Устройство содержит основание ) и координатный стол 2, установленный на основании 1 посредством упругих цилиндрических опорных элементов 3, один конец которых жестко закреплен на основании 1, а другой - на координатном столе 2. Для ориентации последнего устройство снабжено пьезокерамическими вибраторами 4"7, которые установлены попарно с двух сторон5О координатного стола 2 и перпендикулярны друг другу. Вибраторы 4-7 подключены к выходам высокочастотных генераторов 8- 11. Один конец вибраторов жестко укреплен на основании l, а другой установлен с зазором по отношению к координатному столу 2.

Вибратары Й-7, состоят из отдельных

65 ф пьезокерамических секций 12 и 13, а на свободных концах вибраторов 4-7 установлены концентраторы 14 колебаний.

Устройство работает следующим образом.

При подаче высокочастотного элек. трического сигнала от генераторов

8 и 9 на резонансной частоте пьезоэлектрических вибраторов 4 и 5, пос.ледние начинают колебаться с опреде ;ленной амплитудой. Между концентра тором 14 колебаний, закрепленным на

",конце вибратора, и боковой поверх ностью координатного стола 2 всасывается и сжимается газ из окружающей среды, создавая при этом сжатую газовую вибропленку, которая и перемещает координатный стол 2 на упругих опор-, ных элементах 3 по оси X на заданную величину. Чем больше амплитуда колебаний и ее частота, тем сильнее сжимается всасываемый газ, а значит уве-, личивается и толщина газовой виброленты. Поэтому, регулируя амплитуду и частоту колебаний вибраторов, можно изменять отклонение координатного стола 2 от первоначального положения.

Перемещение по оси У осуществляется аналогично описанному выше для оси X.

I для осуществления поворота координатного стала 2, например, вправо подается высокочастотный электрический сигнал на вибраторы 4 и б, а для поворота влево - на вибраторь1 5 и 7.

Применение упругих элементов в качестве направляющих и газовой сжатой вибропленки повышает надежность и точность работы устройства.

Формула изобретения

Устройство для ориентации подложек содержащее координатный стоп, установленный на основании на упругих опорных элементах, и пьезоэлектрические вибраторы для перемещения координатного стола, о т л и ч а ю щ е— е с я тем, что, с целью повышения точности ориентации, пьезоэлектрические вибраторы установлены попарно с двух смежных сторон координатного стола, причем каждый пьезоэлектрический вибратор жестко закреплен одним концом на основании с образованием

917365

5 зазора между своим торцом и коорди»,натным столом, выполнен в виде набора пьезокерамических секций и снабжен концентратором колебаний, установленным на свободном, конце пьезо-. электрического вибратора, Источники информации, принятые во внимание лри экспертизе

1. Обзоры по электронной технике."

"Миктроэлектроника", вью.5(263),1975, с. 14, рис.6.

2. Авторское свидетельство СССР

М 497551, кл. Н 05 K 3/00, 26.06.73.

3. Авторское свидетельство СССР

У1 379065, кл. Н 05 К 3/00 13.05.70 (прототип)

Составитель Г Падучин

Редактор В.Пилипенко Техред Т.Маточка Корректор Н. Стец

Заказ 1915/78 Тираж 856 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, W-35, Рауаская наб., д.4/5 филиал ППП "Патент", r.Óærîðîä, ул.Проектная, 4