Способ формирования защитного покрытия и устройство для его осуществления

Патент 917366

Авторы

Иллюстрации

Показать все

Реферат

Союз Советских

Социалистическими

Рвспублнн

ОП ИСАНИЙ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А6ТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

< о 917366 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 01.09.80. (21) 2980925/18-21 с присоединением заявки J%(23) Приоритет(51)М. Кл.

Н 05 К 3/00

le 05 О 7/24

1Ьеударстаквй кенктет

СССР аа лелэи «зобретеннк к открытки

Опубликовано 30,03.82, Бюллетень М 12 (53) УДК 621 382..002(088.8) Дата опубликования описания 30 .03 .82 (72) Авторы изобретения

Н. И. Ни кули н, 6 . С. Добашин и И. И. (71) Заявитель (54) CtlOCOt фОРИИРОВАНИЯ ЗАЩИТНОГО n0KPMTWR

И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ

Изобретение относится к производству полупроводниковых приборов и интегральных схем и может быть исполь:зовано для нанесения покрытий, зацищающих поверхность Фотошаблонов или полупроводниковых пластин, например, при межоперационном хранении.

Известны способ и устройство для нанесения покрытия, например фоторе" виста, лака, на пластины. Способ заключается в том, что на пластину наносят дозу Фоторезиста (или лана) н центрифугируют в течение определенного времени ".11.

Устройство для осуществления данного способа содержит сборник фоторезиста с установленным внутрн него валом центрифуги, имеющим ва- куумный держатель пластины 1.11.

Недостатком известного способа н устройства является то, что они не обеспечивают нанесение одинакового по толщине покрытия по всей площади пластины, так как в центре вращения

2 пластины. отсутствуют центробежные силы.

Наиболее близким к предлагаемому является способ формирования покрытия, включающий нанесение дозы материала покрытия на подложку и центрифугирование 523.

Также наиболее близким к изобретению является устройство, содержащее сборник покрытия и установленный внутри вал центрифуги с держателем подложек, размец енным в торце вала. Вап центрифуги снабжен направляющими, расположенными s плоскости, перпендикулярной оси

-вращения вала Г21 °

Недостатки известного способа и устройства для его реализации заключаются в том, что они не позво20 ляют сократить время технологичес.кого процесса на операции удаления защитного покрытия. Это связано с тем, что при нанесении равномерного тонкого слоя защитного покрытия

Формула изобретения

91736 известным способом требуется боль« шая трудоемкость, чтобы удалить это покрытие. Если же наносить утолщенный слой, то это требует перерасхода материала покрытия, например лака.

Цель изобретения - упрощение технологического процесса.

Поставленная цель достигается тем, что в известном способе Форми- 10 рования покрытия, включающем нанесение дозы материала йокрытия на подложку и центрифугирование, при центрифугировании по периметру подложки создают разрежение. 15

Кроме того, поставленная цель достигается тем что известное устройство для формйрования покрытия, со держащее центрифугу с валом и держатель подложки, размещенный на торце вала, снабжено кольцевым вакуумным соплом, наружный диаметр которого определяют из соотношения 0i

Устройство для нанесения покрытия (Фиг. l) содержит сборник 1 покрытия, внутри которого установлен вал 2 центрифуги с держателем 3 для подложек

4, камеру 5, подвижно установленную соосно над держателем пластин и выполненную с кольцевым соплом б. Каме35 ра 5 соединена с вакуумной системой

7, Наружный диаметр сопла определяют из соотношения 0<0, где 0 " наружный диаметр сопла, à d - диаметр подio ложки, Устройство работает следующим образом.

Подложку 4 устанавливают на держатель 3, закрепленный на валу 2 центрифуги, подают дозу лака на верхнюю

45 поверхность, опускают камеру 5 и включают электродвигатель (не показан) центрифуги. Одновременно с этим камеру 5 подключают к вакуумной системе 7.

За счет центробежных сил лак от цент- ра растекается в стороны, покрывая всю .поверхность подложки. При этом камера 5, установленная соосно с подложкой 4, удерживает часть сбрасываемого покрытия 8 по периметру подложки 4 за 5

6 4 счет создания разрежения концентрической зоны над поверхностью подложки с помощью кольцевого паза 6, выполненного в камере 5. При этом происходит уравновешивание сил внутреннего сцепления покрытия, образовавшихся за счет разреженной зоны над подложкой и центробежных сил. После этого сброс покрытия в сборник прекращается. Образуется утолщенный валик 9 по периметру покрытия 8. Затем по истечении определенного времени электродвигатель отключают,центрифуга останавливается.

Камеру 5 поднимают, отключая при этом от вакуумной магистрали. Подложку снимают с держателя и передают на следующую операцию..Цикл .повторяется. Полученный таким образом утолщенный валик

9 порядка 1-1,5 мм при снятии покрытия исключает разрыв пленки лака на краях подложки и способствует быстрому удалению защитной пленки с поверх-. ности подложки.

Использование изобретения позволит упростить технологический процесс и увеличить производительность на операции удаления защитного покрытия на

303

CnocoG Формирования защитного

4 покрытия, включающий нанесение дозы материала покрытия на подложку и центрифугирование, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью упрощения технологического процесса, при центрифугировании по периметру подложки создают разрежение.

2, Устройство для осуществления способа формирования защитного покрытия, содержащее центрифугу с валом и держатель подложек, размещенный на торце вала, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что оно снабжено кольцевым вакуумным соплом, наружный диаметр которого определяют из соотношения 0ф, где 0 - наружный диаметр. сопла; d диаметр подложки.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

N 358019, кл. В 04 В 5/00 1973.

2. Авторское свидетельство СССР и 660544, кл. В 04 S 5/00, 1975 (прототип):

917366

94г. f

Составитель А. Хохлов

Редактор В.Пилипенко Техред g. Рейвес Корректор Н.Стец

Заказ 1915/78 Тираж 856 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж"35, Раушская наб., д.4/5

Филиал ППП "Патент", г.ужгород, ул.Проектная, 4