Газопоглотитель геттерного насоса для откачки водорода

Газопоглотитель геттерного насоса для откачки водорода

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОГ ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

„„918510

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву — . (22) Заявлено 31.07.80 (21) 2969828/25-06 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (51) М.К .

F 04 В 37/02

Государственный комлтет

СССР

Опубликовано 07.04.82. Бюллетень №13

Дата опубликования описания 17.04.82 (53) УДК 621.528..3 (088.8 ) по делам нзобретений и открытий

С. Е. ГоРдеев, .Н. А. демидов и Е. М. Ежов„,. о ...„ I о (72) Авторы изобретения р

Г Хе

\ . 1 д 1

1 (71) Заявитель (54) ГАЗОПОГЛОТИТЕЛЬ ГЕТТЕРНОГО НАСОСА

ДЛЯ ОТКАЧКИ ВОДОРОДА

Формула изобретения

Изобретение относится к вакуумной технике.

Известно применение прессованного . порошка активного металла в качестве газопоглотителя геттерного насоса для откачки водорода. Газопоглотитель, выполненный в виде таблеток из прессованного порошка активного металла, обладает большой удельной поверхностью и поглощает водород из откачиваемого объекта при комнатной температуре (1) .

Однако при поглощении газопоглотителем водорода происходит образование гидридов металла, из которого изготовлен газопоглотитель, имеющих меньшую плотность и, соответственно, больший объем. Это приводит к разрушению поверхностного слоя газопоглотителя, выражающемся в том, что гранулы спеченного порошка теряют связь между собой и запыляют откачиваемый объем.

Цель изобретения — увеличение ресурса работы газопоглотителя.

Эта цель достигается применением прессованной стружки активного металла в качестве . газопоглотителя геттерного насоса для откачки водорода.

Газопоглотитель, выполненный в виде таблеток из прессованной стружки, имеет волокнистую структуру, в связи с чем увеличение объема поверхностного слоя газопоглотителя не приводит к его разрушению и запылению объема.

Срок службы газопоглотителя из прессованной стружки активного металла боль ше, чем у известных газопоглотителей, и составляет более 25000 ч.

Предложенный газопоглотитель может

1О найти применение в установках, где требуется откачка больших потоков водорода.

Применение прессованной стружки активного металла в качестве газопоглотителя геттерного насоса для откачки водорода.

Источники информации, 20 принятые во внимание при экспертизе

1. Лысогоров О. С. Пористые газопоглотители. — Научно-технический сборник

«Электронная техника», сер. 1, Электроника

СВЧ, вып. 3, М., «Электроника», 1970.