Турбомолекулярный вакуумный насос

Турбомолекулярный вакуумный насос

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОе.СКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз COBOTCNHI

Соцналистнчесинк

Республик в 918551 (6l ) Дополнительное к авт. санд-ву{22) Заявлено 29.. 06. 79 (21) 2790713/25-06 с присоединением заявки №{23) Приоритет"

Опубликовано 07.04.82 Бюллетень №13 (51)lN. Кл.

F 04 О 19/04

1Ъвудврстеевй квинтет

CCCP ве делаи взебуетеняВ и открытий. (53) УД) 621. 527 .8(088.8) Дата опубликования описания

Ю.М.Тузанкин, Л.А.Беляев и А.Л.Лебедев .

"; :. г;

1 » -, 1 =- » (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) ТУРБОИОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ

НАСОС

Изобретение относится к вакуум ной технике, а именно к устройству турбомолекулярных вакуумных насосов.

Известны турбомолекулярные вакуумные насосы, содержащие размещенные в корпусе роторы встречного вращения (1) .

Недостатком этих насосов является консольное расположение роторов относительно опор, что в значительной мере снижает надежность работы насосов.

Известны также турбомолекулярные вакуумные насосы, содержащие корпус и установленные в нем на валу внеа" ний и внутренний роторы встречного вращения, снабженные приводными двигателями, причем внешний ротор установлен на валу посредством опор, выполненных в виде подшипников качения и расположенных по обе стороны от внутреннего ротора (2j .

Недостатками данного насоса являются невысокая надежность и большие габариты.

Целью изобретения является повышение надежности и уменьшение габаритов насоса.

Указанная цель достигается тем, что вал закреплен на корпусе, внут" ренний ротор установлен на валу посредством опор в виде подшипников качения и приводной двигатель внут" реннего ротора размещен между его опорами.

На чертеже изображен вертикаль" ный разрез насоса.

Турбомолекулярный вакуумный насос содержйт корпус 1 и установленные в нем на валу 2 внешний и внутренний роторы 3 и 4 встречного вращения, снабженные приводными двига20 телями 5 и 6, причем внешнии ротор

3 установлен на валу 2 посредством опор 7, выполненных в виде подшипников качения и расположенных по

Составитель В Кряковкин

РедактоР А.Долинич ТехРедА. Бабинец КоРРектоР С,Шекмар

Заказ 2090/13 Тираж 671 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Филиал ППП "Патент", г.ужгород, ул.Проектная, 4

3 918551 обе стороны от внутреннего ротора 4,, : при этом вал 2 закреплен на корпусе

1, внутренний ротор 4 установлен на валу 2 посредством опор 8 в виде подшипников качения, и приводной 5 двигатель 6 внутреннего ротора

4 размещен между его опорами 8.

Насос работает следующим образом.

1О

Приводные двигатели 5 и 6, установленные на неподвижном валу 2, приводят во вращение в противоположных направлениях соответственно

15 внешний и внутренний роторы 3 и 4.

Газ, поступающий из откачиваемого объема, направляется от периферии к центру насоса и далее удаляется при помощи. форвакуумного на20 соса.

Размещение приводного двигателя между опорами внутреннего ротора приводит к значительному уменьшению

2$ .габарита насоса. ф

Формула изобретения

1. Турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий корпус и установленные в нем на валу внешний и внутренний роторы встречного вращения,снабженные приводными двигателями, причем внешний ротор установлен на валу посредством опор, выполненных в виде подшипников качения и расположенных по обе стороны от внутреннего ротора, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности и уменьшения габаритов, вал закреплен на корпусе, а внутренний ротор уста" новлен на валу посредством опор в виде подшипников качения.

2. Насос по п.1, о т л и ч à ешийся тем, что приводной двигатель внутреннего ротора размещен между его опорами.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство CCCP к 174314, кл. F 04 D 19/04, 1964.

2. Авторское свидетельство СССР

N 175166, кл. F 04 D 19/04, 1964.