Способ изготовления фольговых тензорезисторов

Способ изготовления фольговых тензорезисторов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ц 928426

Союз Соввтсинк

Соцналнстнчвскна

Ресниублнк

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (5I ) Дополнительное к авт. свид-ву (5l }NL. Кл. (22) ЗаЯвленО 26.12.79 (21) 2885975/18-21 о с присоединением заявки М

Н 01 С 17/00

1оаударстеенныН квинтет

СССР (23) Приоритет (53} УДК 621.316. .8 (088.8) пп делан изебретеннк и открытий

Опубликовано 15.05.&2., Бюллетень М 18

Дата опубликования описания 15.05.82

С. А. Николаева, Ф. А. Гордеева, Ю. М. Базжин, В. А. Ольша, О. Е. Конева, В. Я. Агароник и В. М. Розонова (72) Авторы изобретения

1 Научно-исследовательский и конструкторский институт испытательных

1 машин, приборов и средств измерения масс (7I) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОЛЬГОВЫХ ТЕНЗОРЕЗИСТОРОВ

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в производстве фольговых тензорезисторов.

Известен способ изготовления фольговых тенэорезисторов, включающий отжиг фольги иэ железохромоалюминиевого сплава и фотолитографическое изготовление на ней топологии тензореэистора (1) .

Недостатки известного способа изготовления фольговых тенэорезисторов состоят в сложности технологии и низкой термостабильности тензорезнсторов в диапазоне, .не охватывающем низких температур.

Наиболее близким к изобретению-техническим решением является способ изготовления фольговых тензорезисторов, включающий отжиг фольги из сплава платины, палладия и иридия и фотолитографическое изготовление на ней топологии тензорезистора (2).

Недостаток этого способа изготовления тензореэисторов заключается в низкой термостабильности тенэорезисторов.

Цель изобретения — повышение термостабильности тензореэисторов в диапазоне температур от — 200 до +700 С.

Цель достигается тем, что согласно способу изготовления фольговых тензорезисторов, 3 включающему отжиг фольги и фотолитографическое изготовление на ней топологии тен- ° зореэистора, используют фольгу из ннкельмолнбденового сплава, легированного 1,8—

;2,2 вес.% алюминия и .2,5 — 2,9 вес.% хрома, а отжиг проводят в вакууме при 440 — 480 С в течение 2 — 3 ч.

Способ изготовления фольговых тензорезисторов осуществляется следующим образом.

Три партии фольги из ннкельмолибденового сплава, легированной 1,8 — 2,2 вес.% алюминия и 2.5-2,9 вес.% хрома, обезжиривают в бензине и отжигают в вакуумной печи первую партию при 480 С в течение 2 ч, вторую партию при 460 С s течение 2,5 ч и третью партию при 440 С в течение 3 ч.

Подготовленную фольгу затем подвергают процессом фотолитографии, формируя на

3 ней рисунок тензорезисторов, н наклеивают на стальные пластины.

Изобретение позволяет упростить технологию изготовления фольговых тензорезисторов, повысить термостабильность тензореэисторов.в диапазоне температур от -200 до

+700 С и повысить надежность и воспроизводимость характеристик фольговых тенэореэис торов.

Способ изготовления фольговых тензорезисторов, включающий отжиг фольги и фотолиСоставитель ?0. Герасичкин

Техред Ж. Кастелевич Корректор В. Бутяга

Редактор О, Персиянцева

Заказ 3250/65

Тираж 758 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета CCCP по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб,, д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Формула изобретения

928426 4 тографическое изготовление на ней топологии тенэореэистора, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью повышения термостабильности тенэореэисторов в диапазоне температур от -200 до +700 С, используют фольгу иэ никельмолибденового сплава, легированного 1,8 — 2,2 вес% алюминия и 2,5—

2,9 вес.% хрома, а отжиг проводят в вакууме при 440-480 С в течение 2-3 ч.

1О Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР Н 185528, кл. Н 01 С 17/00, 1960.

2. Патент Великобритании И 1047412, кл. Н 01 С 17/00, ?966 (прототип).