Способ измерения толщины слоев

Способ измерения толщины слоев

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИК

ИЗОБРЕТЕИИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

929998 (61) Дополнительное к авт. свид-ву(И) М. Кд.з (22) Заявлено 12.11. 80 (21) 3002833/18-28 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет

G 01 В 7/06

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий (33) УДК 531. 717.. l l (088. 8) Опубликовано 2305,82. Бюллетень ¹ 19

Дата опубликования описания 23.05. 82 (72) Авторы изобретения

В.Г.Брандорф, В.П.Власов и Ю.Н.Кизилов

{71) Заявитель

Львовский лесотехнический институт (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ СЛОЕВ

15

25

Изобретение относится к средстваь, размерометрии физическими методами и может быть использовано для контроля толщины слоев многослойных материалов.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности является способ измерения толщины слоев многослойных изделий, заключающийся в том, что при изготовлении изделия между его слоями размещают диэлектрические цилиндрические трубки по которым перемещают шарик с заданными электромагнитными свойствами, и расположенным на поверхности изделия электроиндуктивным преобразователем фиксируют экстремум сигнала (11 .

Однако точность измерения толщины этим способом недостаточна, так как шарик является пассивным элементом, поскольку он выполнен из электропроводного материала, для фиксации положения которого требуется относительно сложный преобразователь с пара1кетрами, нестабильными во времени.

Бель изобретения — повышение точности контроля.

Эта цель достигается тем, что согласно способу измерения толщины слоев многослойных изделий, заключа-, ющемуся в том, что при изготовлении изделия между его слоями размещают. диэлектрические цилиндрические трубки, по которым перемещают шарик с заданными электромагнитными свойствами, и расположенным на поверхности изделия электроиндуктивным преобразователем фиксируют экстремум сигнала, шарик выполняют из магнитотвердого материала, который намагничивают до заданного уровня.

На чертеже представлен эскиз устройства для реализации сцособа. устройство содержит гидроцилиндр

1, установленный в нем поршень 2, рабочую среду 3, реверсивный привод 4, преобразователи 5 и б, полые контуры 7 и 8, сообщающиеся диэлектрическими цилиндрическими трубками

9-13, размещенными между слоями 1419 контролируемого многослойного материала, шарик 20, перемещающийся по трубкам 9-13, выполненный из магнитотвердого материала и намагниченный до заданного уровня, электроин.— дуктивный преобразователь 21, контактирующий с контролируемым материалом.

Устройство работает следующим об" .разом.

929998

Формула изобретения

Составитель А.Духанин

Техред Ж. Кастелевич

Редактор T. Кугрыаев а.Корректор В.СиницкаЯ

Зак зз 3447/49 Тираж 614

ВНИИПИ Государственноню комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Подписное филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Под действием реверсивного приво:да 4 поршень 2 совершает возвратно,поступательные перемещения в рабочей среде 3 гидроцилиндра 1. Эта среда,перемещаясь в трубках 9-13 увлекает шарик 20, который "обегает" все 5 укаэанные трубки. Команды на перемену направления движения шарика получают, когда последний взаимодейст-. вует с преобразователями 5 и 6, выдающими соответствующие управляющие 10 сигналы на привод 4.

Так как намагниченный до определенного уровня шарик является постоянным магнитом, то при перемещении последнего относительно электроиндуктивного преобразователя 21 в нем возбуждается сигнал, значение которого пропорционально расстоянию между шариком 20 и указанным преобразователем. Это расстояние определяется толщиной слоев 14-19 контролируемого.многослойного материала. Поэтому проградуировав соответствующим образом индикатор сигналов (не показан), можно однозначно контролировать толщину слоев материала.

Точность контроля повышается в несколько раз, поскольку значение сигнала преобразователя 21 может быть достаточным для использования простых индикаторов сигналов без применения относительно сложных и нестабильных во времени электронных усилителей.

Способ измерения толщины слоев многослойных изделий, заключающийся в том, что.при изготовлении изделия между его слоями размещают диэлектрические цилиндрические трубки, по которым перемещают шарик с заданными электромагнитными свойствами, и расположенным на поверхности изделия электроиндуктивным преобразователем фиксируют экстремум сигнала, о т л и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения точности измерения, шарик. выполняют из магнитотвердого материала, который намагничивают до заданного уровня.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

Р 807043, кл. G 01 В 7/06, 1979 (прототип) °