Способ определения типа проводимости полупроводникового материала

Способ определения типа проводимости полупроводникового материала

Реферат

Способ определения типа проводимости полупроводникового материала, отличающийся тем, что, с целью его упрощения путем проведения бесконтактных измерений при исследовании вырожденных полупроводниковых материалов, измеряют спектральные зависимости эллипсометрических параметров анализируемого материала и эталонного невырожденного полупроводникового материала при длинах волн света, меньших длины волны, соответствующей красной границе полосы собственного поглощения эталонного материала, а о типе проводимости анализируемого материала судят по величине параметров при длинах волн, меньших длины волны, соответствующей точке пересечения спектральных зависимостей.