Способ изготовления трафарета для ориентации ферритовых сердечников

Способ изготовления трафарета для ориентации ферритовых сердечников

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗО6РЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик ()936024 (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 13.06.80 (21) 2940825/18-24 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (51) М. Кл.

G 11 С 5/02

Гввударствеллмй кемлтет (53) УДК 681.327..66 (088.8) Опубликовано 15.06.82. Бюллетень № 22

Дата опубликования описания 15.06.82 лв делам лзебратений и аткрмтий (72) Автор изобретения

П. Г. Василенко (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВ,ЛЕНИЯ ТРАФАРЕТА Д,ЛЯ ОРИЕНТАЦИИ

ФЕРРИТОВЫХ СЕРДЕЧНИКОВ

Изобретение относится к вычислительной технике, в частности к технологическим процессам, обеспечивающим изготовление запоминающих устройств на ферритовых сердечниках.

Известен способ изготовления трафаретов для ориентации ферритовых сердечников заключающийся в формировании сквозных отверстий в металлической пластине путем химического травления (1) .

Недостатками трафарета, полученного указанным способом, является наличие растравов в местах образования сквозных отверстий и низкая механическая прочность.

Наиболее близким по техническому решению к предложенному является способ изготовления трафарета для ориентации ферритовых сердечников, заключающийся в нанесении фоторезиста на поверхность металлической пластины, экспонировании через фотошаблон и проявлении экспонированного изображения с образованием в металлической пластине участков, свободных от фоторезиста, нанесении на эти участки защитного покрытия, например никелевого, удалении фоторезиста с поверхности металлической пластины, формировании сквозных отверстий в металлической пластине методом травления (2) .

Недостатком этого способа изготовления трафарета является образование нависающих слоев металла над отверстиями в областях растрава пластины, что снижает срок службы трафарета, и отсутствие в трафарете вертикальности стенок сквозных отверстий.

1О

Цель изобретения — повышение надежности трафарета.

Эта цель достигается тем, что согласно способу изготовления трафарета для ориентации ферритовых сердечников сформированные сквозные отверстия в металлической пластине заполняют, например, фоторезистом, а затем производят термообработку, превращая фоторезист в стеклообразное состояние.

На чертеже представлена последовательность технологических операций предложенного способа.

Способ изготовления трафарета заключается в следующем.

936024

Бронзовую фольгу 1 (опорную пластину), толщиною примерно 0,1 мм, обезжиривают и на обеих ее поверхностях формируют фоторезистивные слои 2ф, толщина которых равна толщине будущих никелевых слоев, 5 путем экспонирования и проявления создают фоторезистивный рельеф 3 (в), обнажая поверхность опорной пластины 1 в местах расположения перемычек 4 между отверстиями будущего трафарета. Затем производят гальваническое наращивание слоев никеля 5 1о (г) на вскрытых участках опорной пластины 1, т. е. в местах расположения перемычек.

После удаления фоторезистивного рельефа опорная пластина 1 защищена слоями никеля 5 в местах расположения перемычек и свободна от никеля в местах расположения 15 отверстий будущего трафарета (д) . Поэтому при последующем травлении опорной пластины 1 в травящем растворе, не действующем на никель, формируются сквозные отверстия 6 (е). В силу изотропии травления 20 сравнительно толстой опорной пластины 1 отверстия 6 имеют в сечении форму песочных часов, и участки 7 никелевых слоев нависают над отверстиями. При заполнении трафарета ферритовыми сердечниками тонкие никелевые слои на участках нависания 7 разрушаются и размеры ориентирующих отверстий трафарета определяются уже размерами отверстий в опорной пластине 1 из берилиевой бронзы, т. е. значительно отличаются от заданных. Практически из-за этого трафарет становится непригодным для дальнейшей эксплуатации после 2 — 3 заполнений ферритовыми сердечниками. После формирования отверстий в опорной пластине 1 производят их заполнение материалом 8 (ж), обладающим анизотропией травления, например З фоторезистом. Эта операция может быть выполнена путем окунания заготовки трафарета с предварительно сформированными отверстиями в .фоторезист. При этом фоторезист заполняет отверстия 6 и удерживается силами поверхностного натяжения. После 4в просушивания заготовку трафарета экспонируют через предварительно совмещенные фотошаблоны 9 (з). Экспонирование можно проводить и без фотошаблонов в случае, если контур ориентирующих отверстий в никелевых слоях четкий и размеры отверстий соответствуют заданным. Роль фотошаблонов при этом выполняют слои никеля.

После проявления, т. е. удаления проэкспонированных участков фоторезиста в проявляющем растворе, трафарет подвергают термообработке при 80 — 100 С в течение

10 — 15 мин. При этом неэкспонированный фоторезист под непрозрачными участками фотошаблона и под никелевыми слоями в областях растрава опорной пластины задубливается и принимает стеклообразное состояние.

Предложенный способ не содержит сложных операций и позволяет изготавливать трафареты без применения спецоборудования.

Формула изобретения

Способ изготовления трафарета для ориентации ферритовых сердечников, заключающийся в нанесении фоторезиста на поверхность металлической пластины, экспонировании через фотошаблон и проявлении экспонированного изображения с образованием в металлической пластине участков, свободных от фоторезиста, нанесении на эти участки защитного покрытия, например никелевого, удалении фоторезиста с поверхности металлической пластины, формировании сквозных отверстий в металлической пластине методом травления, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности трафарета, сформированные сквозные отверстия в металлической пластине заполняют, например, фоторезистом, а затем производят термообработку, превращая фоторезист в стеклообразное состояние.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент Японии № 52-4416, кл. 97 (7) G 11, опублик. 1978.

2. Патент Японии № 52-4136, кл. 97 (7) G 11, опублик. 1978 (прототип).

936024

Составитель В. Вакар

Редактор Л. Веселовская Техред А. Бойкас Корректор И. Муска

Заказ 4222/56 Тираж 622 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, )К вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4