Способ очистки диметилформамида от фоторезиста на основе красителя нафталинового ряда и фенолформальдегидной смолы

Способ очистки диметилформамида от фоторезиста на основе красителя нафталинового ряда и фенолформальдегидной смолы

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

(72) Авторы изобретения (7I) Заявитель (54) СПОСОБ ОЧИСТКИ ДИМЕТИЛФОРМАМИДА ОТ ФОТОРЕЗИСТА

НА ОСНОВЕ КРАСИТЕЛЯ I ÀÔÒÀËÈHÎÂOÃÎ РЯДА

И ФЕНОЛФОРМАЛЬДЕГИДНОЙ СМОЛЫ

Изобретение относится к усовершенствованному способу очистки диметилформамида (ДМФА) от фоторезиста на основе красителя нафталинового ряда и фенол-формальдегндной смолы и может быть использовано для утилизации отходов производства с целью повторного использования их в технологических процессах.

Известен способ очистки ДМФА от фотореэиста на основе красителя нафталинового

16 ряда и фенолформапьдегндной смолы адсорбцией активированным углем в присутствии воды, взятой в количестве 5 — 10 вес.%, при весовом соотношении примеси: активированный уголь, равном 1:10 — 20 !12.

Этот способ позволяет достигнуть высокой степени очистки (80 — 97,5%) ДМФА от фоторезиста, но в то же время растворитель загрязняется водой (5 — 10 вес.%), поэтому требуется дополнительная стадия осушки ДМФА. 1

Осушку продукта осуществляют цеолитами в статических и динамичсскнх условиях. Однако поглощение воды неолитом составляет .

20% от веса сорбента, при этом требуется значительный его расход (250 г цеолита на

1 л ДМФА) и необходим дополнительный технологический прием. Но н это не позволяет осушить растворитель полностью.

Так, при осуществлении процесса в присутствии 5 вес.% воды после осушки ДМФА цеолнтом содержание влаги в целевом продукте составляет 1,0 — 1,5%. В то же время некоторые операции снятия фотореэиста требуют применения растворителя высокой степени чистоты и несодержащего влаги. Кроме того, ждержание влаги в очищенном ДМФА по

ГОСТУ 20289 — 74 составляет 0,1%, т.е. в

10 — 15 раз меньше, чем позволяет получать известный способ.

Цель изобретения — повышение качества целевого продукта.

Поставленная цель достигается способом очистки ДМФА от фоторезиста на основе красителя нафталинового ряда и фенолформальдегидной смоли адоорбцией на активиро; ванном угле, модифицированном минеральным маслом в количестве 1 — 5% от веса сорбента при 400 — 450 С. Степень очистки

В. Я. Ахмадеев, И. С. Темнова, Н. Ф. Трескова, Е. И. - .Коэлфрр (а и Т. М. Жмакина

ЗЭДЯ /AT,",j>II0„,, (1

I, A с г.3 937446 4 составляет 85-97%. Влага в целевом про- прессорное, соляровое, вазелиновое, трансфордукте отсутствует. маторное и другие, которые имеют в основе

Модификацию угля проводят следующим следующие соединения: нафтены — 45%, арообразом.

Ф магические углеводы — 33% и парафий .

В раствор, содержащий 400 мл ацетона» Пример l. В колбу на 200 мл помеи 5 г минерального масла, помещают 100 г шают 100 мл ДМФА, содержащего 0,3 г/л предварительно отмытого от пыли и вы- фоторезиста и 5 r угля АР-3, модифициросушенного угля AP-3, выдерживают при ванного минеральным маслом в количестве комнатной температуре при периодическом . 1% от веса сорбента и выдерживают при помешивании 1 ч. Избыток растворителя 14 комнатной температуре беэ перемешивания удаляют на водяном бане при постоянном в течение 50 ч. Степень очисткй составляет помешивании, затем выдерживают в муфель- 85%. Влага отсутствует. ной печи при 400 — 450 С в течение 2 ч. Аналогично осуществляют очистку ДМФА

Для модификации могут быть иснользова- с использованием различных количеств масны минеральные масла различных. марок: ком » ла, результаты использованы в таблице.

Сорбент Количество масла, Концентрация примеси, г/л Степень нанесенное на сор- очистки, бент, % До очистки После очистки %

АР— 3

0,3

0,09

AP-3-модифициро- 0,5 ванный маслом 1 р

5,0

0,3

0,3

0,3

0,08

0,04

0,01

75,0

85,0

97,0

I ряда и фенолформальдегидной смолы адсорбцией на пористом сорбенте, содержащем активированный уголь, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью повышения качества целевого продукта, в качестве пористого сорбента используют активированный уголь, модифицированный минеральным маслом в количестве 1 — 5% от веса сорбента при 400—

450 С.

Пример 2. Опыт осуществляют аналогично примеру 1, используя утоль АР-З, модифицированный компрессорным маслом, З4 в количестве 1% .от веса сорбента.

Степень очистки составляет 86%. Влага отсутствует.

Таким образом, предлагаемый способ очистки позволяет получать ДМФА высокой степени очистки 85-97%, несодержащий влаги;

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР N 829623, кл. С 07 С 103/36, 1979.

Формула из о бретения

Способ очистки диметилформамида от фоторезиста на основе. красителя нафталинового 44

Составитель М. Бибикова

Техред Ж. Кастелевич Корректор И. Муска

Редактор Н. Рогулич

Тираж 445 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий!!3035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Закаэ 4370/31

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4